王嘉欣

作品数：1被引量：2H指数：1
导出分析报告
供职机构：河北工业大学更多>>
发文主题：CMP化学机械抛光蓝宝石衬底温度控制去除速率更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《河北工业大学学报》更多>>
所获基金：河北省自然科学基金国家级大学生创新创业训练计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
蓝宝石衬底CMP中温度控制对速率的影响被引量：2
《河北工业大学学报》2015年第5期19-22,共4页牛新环 黄雅欢 王嘉欣 王建超 
河北省自然科学基金(E2013202247);国家级大学生创新创业训练计划项目(201310080022)
化学机械抛光(CMP)是固体物质表面超精密加工最重要的方法之一,温度是影响CMP过程中化学反应快慢及材料去除速率的重要因素之一.本文重点研究了蓝宝石衬底CMP过程中抛光前期温度上升时间对最终抛光效果的影响,并采用原子力显微镜观察表...
关键词：蓝宝石衬底 化学机械抛光 温度控制 去除速率 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部