于浩

作品数：3被引量：1H指数：1
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供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
发文主题：磷化铟铟镓砷集电区异质结界面MOCVD更多>>
发文领域：电子电信金属学及工艺更多>>
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10 Gbit/s InGaAs/InP雪崩光电二极管被引量：1
《半导体技术》2017年第7期516-520,共5页尹顺政 郝文嘉 张宇 于浩 李庆伟 赵润 车相辉 
基于InGaAs/InP吸收区、渐变区、电荷区和倍增区分离雪崩光电二极管(SAGCM APD)器件结构,利用数值计算方法,模拟了各层参数对器件频率响应特性的影响。模拟结果表明,吸收层、倍增层厚度及电荷层面电荷密度可影响器件的-3dB带宽;随增益...
关键词：INGAAS/INP 吸收区、渐变区、电荷区和倍增区分离雪崩光电二极管(SAGCM APD) 雪崩 频率响应 光通信 
InP基光电探测器材料的MOCVD锌扩散
《半导体技术》2017年第4期300-304,共5页张宇 于浩 郝文嘉 车相辉 尹顺正 齐利芳 赵润 陈宏泰 
锌(Zn)扩散是制作InP基光电探测器(PD)的重要工艺过程。分析了锌扩散的机制,利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)设备对InP基PD及雪崩光电探测器(APD)材料进行了锌扩散,由于MOCVD设备具有精确的温度控制系统,所以该扩散工艺具有简单、均匀...
关键词：锌扩散 金属有机化学气相沉积(MOCVD) INP 光电探测器 扩散速率 
GaAs平面掺杂势垒二极管
《半导体技术》2017年第1期27-31,共5页张宇 车相辉 于浩 宁吉丰 杨中月 杨实 陈宏泰 
二极管是定向检波器的重要组件,提高定向检波器的检波灵敏度,需要降低二极管的开启电压。而平面掺杂势垒(PDB)二极管具有极低的势垒高度,适合制作定向检波器。设计了GaAs平面掺杂势垒二极管的材料结构,并采用金属有机化合物气相淀积(MOC...
关键词：平面掺杂势垒(PDB)二极管 金属有机化合物气相淀积(MOCVD) 开启电压 I-V特性 定向检波器 检波灵敏度 
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