杜婧

作品数：3被引量：6H指数：2
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供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文主题：镜片投影光刻机镜筒掩模铰链更多>>
发文领域：电子电信机械工程理学轻工技术与工程更多>>
发文期刊：《光学学报》《激光与光电子学进展》《光电工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金四川省科技支撑计划更多>>
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光刻投影物镜畸变检测中的位移测量误差分析被引量：2
《光电工程》2023年第2期88-100,共13页杜婧 刘俊伯 全海洋 胡松 
国家重点研发计划(2021YFB3200204);中国科学院青年创新促进会(2021380)。
在光刻投影物镜的畸变检测中,位移测量误差是光刻投影物镜畸变检测的重要误差源之一,深度分析误差源并减小误差项,可提高光刻投影物镜的畸变检测精度。本文将运动台的定位与测量技术相结合,着重分析利用夏克-哈特曼波前传感器对投影物...
关键词：畸变检测 波前检测 位移测量 投影物镜 
基于差动调制度解析的同轴检焦方法被引量：3
《光学学报》2021年第6期133-139,共7页冯金花 唐燕 谢仲业 杜婧 龚健文 
国家自然科学基金(61705232,61675206,61845201,61975211);四川省科技支撑计划(18ZDZX0164,2020JDJQ0005)。
针对现有同轴检焦方法如临界角法、博科刀口法、针孔法以及像散法等容易受光强变化的影响,且对系统装调有较高要求的问题,提出一种基于差动调制度解析的同轴检焦方法。通过物理光栅对成像空间进行编码,并采用傅里叶变换解析经基片高度...
关键词：测量 同轴检焦 光刻 傅里叶变换 调制度 
基于非对称入射和偏振调制的四光束干涉光场被引量：1
《激光与光电子学进展》2020年第19期250-256,共7页彭伏平 严伟 李凡星 王思沫 杜佳林 杜婧 
中科院关键技术创新团队项目(YA17K014);微电子装备四川青年科技创新团队(J17S006)。
建立了多光束干涉场的光强分布数学模型,利用Matlab仿真计算了基于方位角、入射角和偏振角联合调制的四光束干涉光场。分析了光束方位角、入射角和偏振态的变化对多光束干涉的影响,阐释了非对称入射时光场中隔离带现象的生成原因。基于...
关键词：激光干涉 非对称入射 偏振调制 跨尺度结构 
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