戚红英

作品数：3被引量：8H指数：2
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供职机构：中国电子科技集团公司第四十六研究所更多>>
发文主题：锗抛光片湿法清洗硅晶片硅单晶片更多>>
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硅晶片电阻率测量技术的研究被引量：2
《电子工业专用设备》2018年第5期45-49,共5页秦伟亮 常耀辉 戚红英 窦连水 
分析了硅晶片电阻率测试的重要性并介绍了国内外常用的电阻率测试方法,并对使用最广泛的工艺检测手段-四探针技术的原理、测准条件及发展状况进行了详细的介绍。
关键词：硅单晶片 电阻率 四探针测试法 
锗抛光片干燥技术研究被引量：4
《电子工艺技术》2012年第2期114-117,共4页戚红英 王云彪 
在锗加工工艺中,干燥技术对于加工的成品率和抛光片表面质量有着重要的影响。介绍了异丙醇脱水干燥技术的原理,分析了异丙醇脱水技术对超薄锗抛光片的适用性。采用湿法清洗技术,有效去除了表面沾污和抛光后的表面氧化产物,控制了抛光片...
关键词：异丙醇脱水 湿法清洗 表面沾污 
高频光电导衰减法测试Ge单晶少数载流子寿命被引量：2
《半导体技术》2010年第11期1102-1105,共4页佟丽英 王俭峰 史继祥 张继荣 邢友翠 戚红英 李亚帅 
高频光电导衰减法是测量Ge单晶少数载流子寿命常用的方法,高频脉冲信号照射到单晶表面时,产生非平衡载流子,非平衡载流子的复合时间长短反映了少数载流子寿命的大小。电阻率越低,少数载流子寿命越小,仪器就难以测试。介绍了电阻率为0.03...
关键词：高频光电导 锗单晶 禁带宽度 光注入 少子寿命 
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