罗晓英

作品数：3被引量：19H指数：3
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发文主题：硅片SI半导体材料砂浆超声清洗更多>>
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初始埚位对单晶少子寿命的影响被引量：3
《半导体技术》2011年第10期782-785,共4页任丽 罗晓英 李宁 王倩 
在KX260晶体生长系统上装备24英寸(1英寸=2.54 cm)热场,装料量为120 kg。采用5种不同的初始埚位(-50,-60,-70,-80,-90 mm),其他工艺参数相同的晶体生长工艺,拉制了5根200 mm、p型、晶向〈100〉、电阻率2Ω.cm的单晶硅棒。待硅棒冷却后...
关键词：直拉硅单晶 初始埚位 少子寿命 氧含量 硅棒 
Si片多线切割技术与设备的发展现状与趋势被引量：9
《半导体技术》2010年第4期301-304,387,共5页任丙彦 王平 李艳玲 李宁 罗晓英 
介绍了Si片的多线切割宏观切割机理与微观切割机理,指出控制钢线张力减少钢线震动是切割工艺的重要指标。讨论了切割过程主要影响因素,钢线的外包Cu会造成Si片表面金属残留,钢线磨损影响Si片厚度,砂浆喷嘴和线网角度在形成水平薄膜层时...
关键词：多线切割 硅片 半导体材料 钢线张力 砂浆 
太阳能级Si片清洗工艺分析被引量：7
《半导体技术》2010年第4期309-312,共4页任丽 王平 李艳玲 王安平 褚世君 张兵 李宁 罗晓英 
在实验基础上对太阳能级Si片碱性清洗工艺进行了分析,指出碱性清洗液在适宜的工艺环境下,配合超声清洗和表面活性剂的使用可以获得良好的清洗效果。结果表明,表面金属浓度分别达到Cu元素小于1.3×10^(14)atoms/cm^2,Fe元素小于5×10^(13...
关键词：硅片 碱性清洗 表面活性剂 超声清洗 对太阳能级 
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