杨光

作品数：5被引量：10H指数：1
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供职机构：电子科技大学微电子与固体电子学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室更多>>
发文主题：反应离子刻蚀二氧化硅刻蚀速率NIFE2O4NIFE更多>>
发文领域：理学电子电信电气工程更多>>
发文期刊：《微处理机》《化工科技》《电子科技大学学报》《高等学校化学学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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一种高配位钨酸盐体系Sr_3WO_6:Eu红色荧光粉的制备与发光性能研究
《化工科技》2015年第3期39-42,共4页谢程益 唐先忠 王毅 杨光 曾忱 
采用简单的柠檬酸络合法合成了一系列具有高配位钨酸盐体系Sr3WO6：Eu红色荧光粉,该体系红色荧光粉在近紫外光区域具有较强的吸收能力,发射峰主要位于～616nm处,来源于Eu3＋的5 D0-7F2跃迁,具有高的色纯度,适合应用在近紫外LED上。研究...
关键词：红色荧光粉 电荷补偿 白光LED 高配位钨酸盐 
β-MnO_2和α-Mn_2O_3纳米棒的自牺牲模板法制备、表征和应用
《高等学校化学学报》2015年第3期436-441,共6页赵红远 刘兴泉 张峥 吴玥 杨光 陈炳 熊伟强 
国家自然科学基金(批准号:21071026);电子科技大学杰出人才引进项目(批准号:08JC00303)资助~~
在150℃下,仅以高锰酸钾溶液和无水乙醇为原料,通过水热反应合成前驱体γ-Mn OOH纳米棒.以γ-Mn OOH纳米棒为自牺牲模板,分别在350和600℃下煅烧90 min,制备出高纯度的β-Mn O2和α-Mn2O3纳米棒.采用X射线粉末衍射（XRD）、扫描电子显...
关键词：β-MnO2 α-Mn2O3 纳米棒 自牺牲模板法 
锂离子负极材料NiFe_2O_4/Graphene复合材料的制备和电化学性能被引量：1
《化工科技》2014年第5期16-19,共4页杨光 陈野川 薛卫东 赵睿 
通过水热法合成了NiFe2O4/Graphene纳米复合材料,采用XRD和SEM对其晶相结构和形貌进行了表征,并将其作为锂离子电池活性材料组装成模拟电池,考查电化学性能。结果表明NiFe2O4/Graphene复合材料在100mA/g的电流密度下首次放电容量达970mA...
关键词：NiFe2O4/Graphene 锂离子电池负极 水热合成 循环性能 
二氧化硅的反应离子刻蚀工艺研究被引量：9
《微处理机》2012年第3期1-3,6,共4页杨光 苟君 李伟 袁凯 
采用CHF3、CF4、CHF3+CF4、CHF3+O2和CF4+O2五种工艺气体体系对二氧化硅(SiO2)作反应离子刻蚀实验,在确定最优刻蚀气体基础上,研究射频功率和气体流量配比对刻蚀速率、均匀性和选择比等主要刻蚀参数的影响。通过对实验结果比较分析,确...
关键词：反应离子刻蚀 二氧化硅 刻蚀速率 优化工艺 
气体压强对n型a-Si:H薄膜光学性能的影响
《电子科技大学学报》2009年第5期730-733,共4页李伟 陈宇翔 金鑫 姜宇鹏 杨光 蒋亚东 
部级基金(DZ0241)
用射频等离子增强化学气相沉积(RF-PECVD)制备磷掺杂氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜,研究了辉光放电气体压强(20～80Pa)对薄膜折射率、消光系数、光学带隙以及氢含量的影响;用激光拉曼光谱研究了气体压强对a-Si:H薄膜微结构的影响,并与薄膜的...
关键词：傅里叶变换红外光谱 气体压强 氢化非晶硅 光学性能 拉曼光谱 
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