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检索条件:"关键词=氢等离子体处理 "
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Si离子注入和H等离子体处理对单晶Si中空腔生长的影响研究
《高能物理与核物理》2004年第9期1013-1016,共4页刘昌龙 E.Ntsoenzok D.Alquier 
天津大学留学回国人员启动资金资助~~
室温下首先采用 16 0keVHe离子注入单晶Si样品到剂量 5× 10 16 ions/cm2 ,部分样品再接受80keVSi离子辐照到较高的剂量 5× 10 15ions/cm2 或接受高密度H等离子体处理 .应用透射电镜观测分析了 80 0℃高温退火引起的空腔的形成形貌 ....
关键词:单晶硅 离子注入 等离子体处理 空腔 透射电镜 高能物理实验 
等离子体处理——一种有效提高碳纳米管场发射性能的方法被引量:1
《光散射学报》2003年第1期6-9,共4页张继华 冯涛 于伟东 王曦 柳湘怀 
国家 97 3计划资助项目 (G2 0 0 0 0 6 72 0 7 2 )
研究了经等离子体处理后多壁碳纳米管的场发射性能。测量了处理前后样品的电流电压特性和表面形貌。结果表明经等离子体处理后,发射性能明显改善,发射点密度由未经处理的104/cm2提高到106/cm2。发现了一种新的碳纳米管结构,称之为...
关键词:碳纳米管 场发射性能 等离子体处理 电流电压特性 表面形貌 场发射阴极 
等离子体处理对类金刚石膜场发射性能的影响
《新型炭材料》2010年第4期317-320,共4页赵立新 彭鸿雁 陈玉强 罗玉杰 陈宝玲 徐闰 黄健 王林军 夏义本 金曾孙 
基金项目:黑龙江省科技攻关项目(GC06A213);牡丹江市科技攻关项目(G2008G0037)~~
采用大功率、高重复频率、准分子激光溅射热解石墨靶制备了类金刚石膜,研究了直流辉光等离子体处理对类金刚石膜的场发射性能的影响。结果表明:等离子体处理后,类金刚石膜的场发射性能明显提高,其发射阈值电场由26V/μm下降到19V/μ...
关键词:类金刚石膜 等离子体处理 场发射 
快速热退火和等离子体处理对富硅氧化硅薄膜微结构与发光的影响被引量:3
《物理学报》2002年第7期1564-1570,共7页王永谦 陈维德 陈长勇 刁宏伟 张世斌 徐艳月 孔光临 廖显伯 
国家自然科学基金 (批准号 :699760 2 8和 2 9890 2 17);国家重点基础研究发展计划项目 (批准号 :2 0 0 0 0 2 82 0 1)资助的课题
采用micro Raman散射、傅里叶变换红外吸收谱和光致发光谱研究了快速热退火及等离子体处理等离子体增强化学气相沉积法 2 0 0℃衬底温度下生长的富硅氧化硅 (SRSO)薄膜微结构和发光的影响 .研究发现 ,在 30 0—6 0 0℃范围内退火 ,S...
关键词:等离子体处理 富硅氧化硅薄膜 微结构 发光 快速热退火 
等离子体处理钝化层对高效晶硅异质结太阳电池性能的影响被引量:1
《太阳能学报》2022年第7期140-144,共5页刘欢 由甲川 赵雷 王文静 曲铭浩 徐希翔 
国家自然科学基金面上项目(61674151);中国科学院战略性先导科技专项A类项目课题(XDA21060500)。
研究不同时间等离子体处理(HPT)化非晶硅a-Si:H(i)钝化层对高效晶硅异质结太阳电池(效率>23%)性能的影响。发现适当时间的HPT可改善钝化效果提升电池性能,但过长时间的HPT可导致薄膜钝化效果变差,有效少数载流子寿命降低。分析认为...
关键词:晶硅异质结 太阳电池 PECVD 等离子体处理 钝化 
钛基纳米金刚石涂层场发射阴极的工艺改进被引量:1
《华中科技大学学报(自然科学版)》2007年第S1期34-36,40,共4页翟春雪 张志勇 王雪文 秦坤 
陕西省科技发展计划资助项目(2001K07-G4)
钛基纳米金刚石涂层场发射阴极适于大面积制备,但原始工艺制备出的样品场发射性能较低.为提高样品的性能,对原始工艺进行了改进:首先,改变分散液成分,在原分散液中加入表面活性剂以改善金刚石纳米粉的分散效果;其次,改变真空热处理(HFC...
关键词:场发射阴极 纳米金刚石涂层 表面活性剂 处理 等离子体处理 
用逐层淀积法制备a-Si∶H薄膜
《电子学报》1995年第5期77-79,共3页潘广勤 廖显伯 王燕 刁宏伟 孔光临 
国家自然科学基金
本文用逐层淀积法制备了a-Si:H薄膜,研究了生长速率、子层厚度及等离子体处理对薄膜性质的影响,结果指出:不同条件下的等离子体处理不仅可以使淀积的样品发生从非晶到微晶的相变,而且可以使费米能级的位置向上或者向下移...
关键词:等离子体处理 稳定性 薄膜 
新型催化剂可将CO2高效转化成乙烯
《国际纺织导报》2016年第8期68-68,共1页
德国波鸿鲁尔大学的研究人员发现,经过氧和等离子体处理后,铜箔表面的特性会发生改变。经处理的铜作为催化剂具有高度选择性,会将“精力”主要集中在促进CO2向乙烯的转化上,大大减少副产物。乙烯的生产率较使用传统铜催化剂时有...
关键词:新型催化剂 CO2 乙烯 转化 等离子体处理 研究人员 铜催化剂 副产物 
高选择性转化二氧化碳为乙烯的催化剂
《天然气化工—C1化学与化工》2016年第4期37-37,共1页王熙庭 
用于电化学方法将二氧化碳转化为有用化学品的传统催化剂没有足够的效率,选择性低,副产物多。来自德国波鸿市实验物理学IV研究所的博士生Hemma Mistry,使用氧或等离子体处理过的铜膜作为催化剂,宣称比传统的铜催化剂具有更高的乙...
关键词:二氧化碳转化 铜催化剂 高选择性 乙烯 等离子体处理 电化学方法 实验物理学 生产速率 
基于等离子体处理改善化非晶硅/晶硅界面钝化效果的工艺研究
《人工晶学报》2019年第10期1912-1919,共8页王楠 钟奇 周玉琴 
国家重点基础研究发展计划(973)项目(2011CBA00705);天津市自然科学基金(18JCYBJC41800);天津市科技计划项目(18ZXJMTG00300)
薄层a-Si∶H钝化技术对于提高硅异质结太阳能电池的效率至关重要,通常有三类工艺可显著改善a-Si∶H薄膜的钝化效果:晶硅表面湿化学处理(薄膜沉积前);等离子体处理(薄膜沉积过程中);后退火处理(薄膜沉积后)。该论文基于等离子增强型化...
关键词:等离子体处理 化非晶硅/晶硅界面钝化 后退火处理 钝化机理 
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