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宽比梳齿结构刻蚀工艺
《微纳电子技术》2025年第1期137-143,共7页康建波 商庆杰 宋洁晶 
梳齿结构刻蚀是制备电容加速度计芯片的重要工序步骤。在梳齿结构刻蚀过程中,采用快速切换阀代替质量流量控制器(MFC)开关气体解决了梳齿侧壁弯曲问题;将Bosch工艺中物理轰击步骤和化学刻蚀步骤移到沉积步骤之前解决了梳齿顶部损伤问题...
关键词:梳齿结构 电容加速度计 Bosch工艺 选择比 宽比 侧壁倾角 
Q345E-Z25焊缝裂纹分析及控制措施
《现代焊接》2015年第11期57-59,共3页石南辉 
本文针对大庆和平牧场3.0兆瓦风电机组塔架基础环制造过程中,在环焊缝反面清根后第一层焊缝中心出现的纵向裂纹特征进行分析;为了能对风电塔架基础环焊缝中心位置纵向裂纹产生的主要原因有更清楚的认识,通过对该焊缝的材质、焊缝坡口型...
关键词:Q345E-Z25钢 纵向裂纹 厚壁焊缝 宽比 渗碳层 碳当量 
硅基微通道板微孔结构形貌的实验研究
《激光与光电子学进展》2012年第5期160-164,共5页吕文峰 周彬 罗建东 雷耀虎 郭金川 牛憨笨 
国家自然科学基金(11074172);圳市科技研发资金重点实验室提升发展项目(CXB201005240011A);圳市科技计划基础研究重点项目(JC200903130326A)资助课题
硅基微通道板(MCP)的重要技术挑战之一就是如何在硅基上制作高宽比的微孔阵列结构。采用光助电化学刻蚀方法研究硅基高宽比微孔阵列制作技术。考虑到实际反应条件下的物质输送、刻蚀液浓度、光照条件、温度等因素的影响都体现在刻...
关键词:光学器件 微孔阵列 光助电化学刻蚀 空间电荷区 宽比 探测器 
太赫兹金属双光栅超厚胶光刻工艺被引量:4
《强激光与粒子束》2014年第5期201-205,共5页单云冲 阮久福 杨军 邓光晟 吕国强 
中央高校基本科研业务费专项资金项目(2012HGQC0007)
介绍了制备某太赫兹频率真空辐射光栅的超厚胶光刻工艺,针对工艺中的难点(大厚度和高宽比)展开了入分析。实验分析了基片处理、涂胶、前烘、曝光、后烘、显影等工艺过程对光刻的影响,通过优化工艺参数,解决了胶膜脱落、开裂,不同胶...
关键词:双光栅 太赫兹 光刻 超厚胶 宽比 
水导激光加工CFRP槽微观形貌特性被引量:6
《航空学报》2022年第4期521-533,共13页张旖诺 乔红超 曹治赫 梁金盛 赵吉宾 
国家自然科学基金(51875558)。
碳纤维增强塑料(CFRP)中树脂基体和纤维增强相两种异质材料的性能存在巨大差异,使得其在航空航天领域的广泛应用受到现有加工能力的制约。因此,具有热损伤小、加工度能力强等优势的水导激光加工技术在特种加工领域展现出优越的加工能...
关键词:水导激光加工技术 碳纤维增强塑料(CFRP)  微观形貌 宽比 
表面自然腐蚀后带缺陷管钢的力学性能研究被引量:3
《河北工程大学学报(自然科学版)》2022年第2期25-30,共6页卢召红 韩璐泽 徐艳 王尊策 
国家自然科学基金资助项目(51578120);国家自然科学青年基金资助项目(11402051)。
针对腐蚀对管道钢的力学性能的影响问题,对不同腐蚀程度的管道钢进行拉伸试验,研究不同腐蚀程度的管道钢其力学性能与腐蚀损失度之间的关系。并基于试验结果建立数值分析模型,分析腐蚀坑处应力状态。轴向拉力作用下,带腐蚀缺陷管道钢的...
关键词:腐蚀管钢 等效弹性模量 应力集中 宽比 力学性能 
采用CHF_3和O_2等离子体刻蚀PI的各向异性研究被引量:1
《微纳电子技术》2012年第10期683-687,共5页吴峰霞 王文赫 
研究了一种有效刻蚀聚酰亚胺(PI)的干法刻蚀方法,以金属铬为掩膜,刻蚀经涂胶并亚胺化而得到具有一定厚度的PI薄膜。利用反应离子刻蚀设备(RIE)将O2和CHF3按一定比例混合,适当调节刻蚀压力、气体比例、功率、时间等因素,可以得到侧壁和...
关键词:聚酰亚胺(PI) 各向异性 微掩膜 宽比 钝化膜 
输电线路钢筋混凝土独立基础的优化设计被引量:1
《露天采矿技术》2013年第11期81-83,共3页刘彦东 汪涛 王芬 
针对输电线路中最常见的钢筋混凝土独立基础,考虑相同的上拔稳定系数会对应不同的基础埋及基础大小。文中以满足上拔稳定为设计控制指标,以造价最低为优化设计的标准,以基础埋与基础大小的比值(宽比)K为最终优化结果,分几种不同...
关键词:输电线路 钢筋混凝土独立基础 宽比 优化设计 
AZ31镁合金A-TIG焊的研究被引量:6
《宇航材料工艺》2006年第6期42-45,共4页徐杰 刘子利 沈以赴 刘仕福 
南京航空航天大学科研创新基金资助(Y0485061)
文摘针对AZ31镁合金,研究了在A-TIG焊中单一成分的活性剂和涂敷量对焊缝成形的影响。结果表明,与无活性剂的焊缝相比,活性剂TiO2、SiO2、Cr2O3、CdC l2和CaC l2能够有效地增加镁合金焊缝的熔宽比。但涂敷有氟化物的镁合金焊缝熔...
关键词:A—TIG焊 AZ31  宽比 
宽比、控制道对射流切换性能影响的试验研究被引量:6
《凿岩机械气动工具》2005年第4期20-25,共6页熊青山 王小建 秦亮 张小春 
液动射流冲击器是解决井、硬岩钻进难题的一种有效工具。但是,它存在核心部件易损坏、寿命低等问题。原因在于其内部结构设计不合理,尤其是喷嘴的过水断面设计不合理。解决的办法是增大喷嘴过水断面,而增大喷嘴过水断面势必会影响射...
关键词:双稳元件 液动射流冲击器 控制道 喷嘴 宽比 
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