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检索条件:"关键词=薄膜晶体管 "
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非晶ZnTiSnO薄膜的溶液燃烧法制备与TFT器件性能被引量:2
《材料科学与工程学报》2017年第2期177-180,共4页冯丽莎 江庆军 叶志镇 吕建国 
国家自然科学基金资助项目(51372002)
本文采用溶液燃烧法,在较低温度下成功制备出非晶ZnTiSnO(ZTTO)薄膜,用作沟道层制备薄膜晶体管(TFT)。研究了Ti掺入对薄膜的结构、光学性能、元素化学态以及对TFT器件电学性能影响。研究结果表明,所制得的ZTTO薄膜均为非晶结构,可见光...
关键词:溶液燃烧法 ZnTiSnO薄膜 非晶态 薄膜晶体管 
面板厂商向大尺寸转移 2015年LCD电视面板增长目标仅为3%
《消费电子》2014年第23期82-82,共1页
根据Display Search LCD TV液晶电视价值链&分析季度报告和大尺寸TFT(薄膜晶体管)面板出货量季度报告,电视面板厂商2015年的出货目标为2亿5,700万片,仅比2014年的2亿4,900万片增长3%Y/Y。但另一方面,2015年大尺寸面板出货量...
关键词:LCD电视 大尺寸 面板 厂商 Display 薄膜晶体管 液晶电视 TFT 
TFT液晶屏的内部结构是怎样的被引量:1
《家电检修技术》2014年第3期1-1,共1页刘祝军 
TFT(薄膜晶体管)液晶屏由光扩散体、存储电容、行电极、列电极、玻璃底板、偏振玻璃板、TFT、透明显示电极、透明公共电极、彩色滤光片等构成,如图1所示。液晶则位于透明显示电极与透明公共电极之间。其各部件作用如下:
关键词:TFT液晶屏 内部结构 薄膜晶体管 彩色滤光片 玻璃底板 电极 扩散体 玻璃板 
磁控溅射法制备纳米铜膜及其电学性能研究被引量:5
《电子元件与材料》2018年第6期23-29,共7页刘飞 朱昊 张勋泽 朴祥秀 
实验通过控制镀膜温度、功率、压力和时间的工艺条件,采用磁控溅射法在玻璃基板表面沉积纳米Cu膜,利用XRD、SEM和四探针测试议测试分析研究了其晶体结构、形貌结构和电阻率。结果表明:随着镀膜温度的升高,薄膜内部晶界增多,导电性能基...
关键词:薄膜晶体管 磁控溅射 铜膜 电阻率 择优取向 工艺条件 
低温氢化非晶硅薄膜晶体管研究被引量:4
《电子器件》2008年第3期766-769,共4页易茂祥 毛剑波 陈向东 
低温薄膜晶体管(TFT)的研究是开发大面积柔性衬底集成电路的基础。采用底栅TFT结构并引入刻蚀阻挡层和钝化保护层,通过工艺参数和工艺流程的设计,研制了100℃低温氢化非晶硅TFT。实验对氢化非晶硅活性层、氮化硅介质层薄膜以及TFT特性...
关键词:薄膜晶体管 低温沉积 底栅 刻蚀阻挡 迁移率 
薄膜晶体管电路与系统
《国外科技新书评介》2014年第2期18-19,共2页Reza Chaji 宁圃奇 
本书介绍了许多综合、可靠的原则来设计大面积电子电路,全面揭示了以薄膜晶体管构建电路与系统的各种设计挑战。面对薄膜晶体管的主要类型及其广泛应用,作者描述了其架构、制造及设计方法。
关键词:薄膜晶体管 晶体管电路 系统 设计方法 电子电路 
高性能钆铝锌氧薄膜晶体管的制备被引量:3
《液晶与显示》2017年第5期339-343,共5页董俊辰 郁文 李慧津 韩德栋 张盛东 张兴 王漪 
国家自然科学基金(No.61275025)~~
本文研究并制备了钆铝锌氧薄膜和以钆铝锌氧为有源层的薄膜晶体管。钆铝锌氧薄膜材料的光致发光光谱和透过率说明钆铝锌氧薄膜在透明显示方向的应用潜力。透射电子显微镜揭示了钆铝锌氧薄膜的非晶态微观结构。钆铝锌氧薄膜晶体管显示了...
关键词:钆铝锌氧 薄膜晶体管 有源层 
绝缘层材料及结构对薄膜晶体管性能的影响被引量:5
《液晶与显示》2017年第5期344-351,共8页李欣予 王若铮 吴胜利 李尊朝 
国家自然科学基金项目(No.51271140;No.61275023)~~
基于半导体仿真软件Silvaco TCAD对薄膜晶体管(TFT)进行器件仿真,并结合实验验证,重点分析不同绝缘层材料及结构对TFT器件性能的影响。仿真及实验所用薄膜晶体管为底栅电极结构,沟道层采用非晶IGZO材料,绝缘层采用SiN_x和HfO_2多种不同...
关键词:半导体器件仿真 薄膜晶体管 绝缘层 氮化硅 二氧化铪 叠层结构 
湿法刻蚀条件对TFT中Cu电极坡度角和均一性的影响及工艺参数优化
《表面技术》2024年第2期213-220,共8页刘丹 陈国良 黄中浩 方亮 李晨雨 陈启超 吴芳 张淑芳 
重庆市自然科学基金项目(cstc2019jcyj-msxmX0566);重庆京东方光电科技有限公司科技攻关项目(212927);重庆大学大型仪器开放基金项目(202203150041)。
目的 在高世代薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)产线的栅极刻蚀制程,明确大气压等离子体(Atmosphere Pressure Plasma,APP)清洗功率、清洗时间及刻蚀时间对刻蚀性能(关键尺寸偏差、均一性、坡度角)的影响规律,并获得最佳工艺条件,...
关键词:薄膜晶体管 湿法刻蚀 CU电极 刻蚀均一性 坡度角 正交试验 
OLED器件中TFT阵列基板专利技术综述
《电子世界》2017年第12期75-75,共1页亢心洁 
有机发光二极(OLED)显示装置是未来最具有前景的显示技术,采用薄膜晶体管(TFT)的主动矩阵式(AM)驱动是主流的显示驱动技术。本文从专利视角出发,通过检索、统计和分析国内外相关专利,梳理了OLED器件中TFT阵列基板的专利技术发展脉络。
关键词:有机发光二极 薄膜晶体管 显示 阵列基板 专利 
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