国家自然科学基金(60572022)

作品数：5被引量：19H指数：3
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相关作者：吴亚明徐静高翔刘玉菲赵本刚更多>>
相关机构：中科院上海微系统与信息技术研究所中国科学院中国科学院研究生院更多>>
相关期刊：《电子元件与材料》《中国电机工程学报》《光电子．激光》《功能材料与器件学报》更多>>
相关主题：光学电流传感器温度补偿微电子机械系统MEMS微机电系统更多>>
相关领域：电气工程自动化与计算机技术理学更多>>
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Pyrex玻璃的湿法深刻蚀及表面布线工艺被引量：6
《功能材料与器件学报》2007年第6期566-571,共6页许晓昕 高翔 徐静 吴亚明 
国家自然科学基金项目资助(No.60572022)
高表面质量的pyrex玻璃对提高MEMS器件尤其是光学器件性能至关重要。本文采用TiW/Au+AZ4620厚胶作为多层复合刻蚀掩模,重点研究了玻璃湿法深刻蚀工艺中提高表面质量的方法,并分析了钻蚀和表面粗糙度产生的机理。结果表明,采用TiW/Au+AZA...
关键词：微机电系统(MEMS) Pyrex玻璃 湿法刻蚀 表面质量 
基于微电子机械系统的光学电流传感器原理与设计被引量：9
《中国电机工程学报》2007年第3期89-94,共6页赵本刚 徐静 高翔 刘玉菲 吴亚明 
国家自然科学基金项目(60572022)~~
光学电流传感器解决了传统电流互感器的缺点,但仍然存在生产困难、性能易受环境温度影响等不足,MEMS作为一种新兴技术,可批量生产各种性能良好的微电子器件,该文提出了将MEMS技术用于检测高压交流电的光学电流传感器。高压侧的传感装置...
关键词：光学电流传感器 微电子机械系统 扭转微镜 温度补偿 耦合损耗 
SOI基光学电流传感器的设计与仿真被引量：1
《光电子．激光》2006年第12期1447-1452,共6页赵本刚 刘玉菲 穆参军 徐静 吴亚明 
国家自然科学基金资助项目(60572022)
将光纤与微电了机械系统（MEMS）技术相结合，设计了一种新颖的检测50Hz高压交流电的光学电流传感器（OCS）。用ANSYS软件分析了器件的模态、动态响应与热膨胀特性，并通过Matlab软件模拟了器件的工作性能。模拟计算表明：ANSYS与理论...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 光学电流传感器(OCS) 绝缘体上的Si(SOI) 扭转微镜 温度补偿 
微机电光学电流传感器的设计
《电子元件与材料》2006年第12期27-30,共4页赵本刚 徐静 高翔 刘玉菲 吴亚明 
国家自然科学基金资助项目(60572022)
提出了一种检测50Hz交流电的微机电光学电流传感器。通过电磁学、微机电与光学方法说明了传感器的敏感原理与光学转换原理，结合工艺条件给出了器件的设计要求，并利用matlab软件模拟分析了传感器的仿真测试结果。计算表明，器件可以测...
关键词：电子技术 微机电系统 光学电流传感器 扭转微镜 双光纤准直器 
新型MEMS光学电流传感器的设计被引量：3
《半导体光电》2006年第5期534-538,共5页赵本刚 刘玉菲 徐静 高翔 吴亚明 
国家自然科学基金资助项目(60572022)
提出了一种用于检测50Hz高压交流电的新型MEMS光学电流传感器。详细介绍了器件的敏感与光学检测原理，给出了器件结构、温度补偿、滤波和工艺的设计过程，并模拟分析了器件在交流电100～3600A下的性能。结果表明：滤波后可得到稳定的测...
关键词：微电子机械系统 光学电流传感器 扭转微镜 双光纤准直器 滤波 温度补偿 
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