国家自然科学基金(61223002)

作品数:17被引量:74H指数:5
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Photoelectric properties ofβ-Ga_(2)O_(3) thin films annealed at different conditions被引量:6
《Rare Metals》2022年第4期1375-1379,共5页Tuo Sheng Xing-Zhao Liu Ling-Xuan Qian Bo Xu Yi-Yu Zhang 
the National Natural Science Foundation of China(No.61223002);the Research Foundation for the Doctoral Program of Higher Education of China(No.2012018530003)。
In this work,metal–semiconductor–metal solar-blind ultraviolet photoconductors were fabricated based on theβ-Ga_(2)O_(3) thin films which were grown on the c-plane sapphire substrates by molecular beam epitaxy.Then...
关键词:Molecular beam epitaxy β-Ga_(2)O_(3)thin fllms ANNEALING PHOTOCONDUCTOR 
Al2O3保护层对高温下Pt/ZnO/Al2O3电极导电稳定性的影响被引量:1
《无机材料学报》2019年第6期605-610,共6页刘兴鹏 彭斌 张万里 朱俊 
国家自然科学基金重点项目(61223002)~~
本工作研究了Al2O3保护层的厚度对高温下声表面波器件电极导电稳定性的影响,采用激光分子束外延方法在Pt/ZnO/Al2O3电极上制备了不同厚度的Al2O3保护层。通过测量样品高温环境中的实时电阻,发现Al2O3缓冲层的厚度对电极在高温下的导电...
关键词:高温 导电稳定性 Al2O3保护层 硅酸镓镧 
聚酰亚胺覆盖层对LGS声表面波谐振器的影响
《压电与声光》2018年第6期880-883,共4页谢小伟 彭斌 喻恒 李凌 张万里 
国家自然科学基金资助项目(61223002)
该文在硅酸镓镧(LGS)声表面波(SAW)谐振器上沉积了不同厚度的聚酰亚胺薄膜,研究了聚酰亚胺覆盖层对LGS声表面波谐振器的影响。结果表明,SAW谐振器表面沉积了聚酰亚胺薄膜后,器件的谐振频率向低频移动,且随着聚酰亚胺层厚度的增加,谐振...
关键词:聚酰亚胺 声表面波 机电耦合系数 温度频率特性 硅酸镓镧(LGS) 
LGS声表面波双模温度传感器研究被引量:1
《压电与声光》2018年第5期650-652,656,共4页喻恒 彭斌 李凌 张万里 
国家自然科学基金资助项目(61223002)
该文研究了基于硅酸镓镧(La3Ga5SiO14,LGS)压电衬底的声表面波(SAW)谐振器的瑞利波模式谐振频率和体声波模式谐振频率的温度特性,并利用这两种模式构建了一种宽温度范围的具有线性输出特性的温度传感器。研究结果表明,基于LGS衬底的谐...
关键词:声表面波 体声波 双模 温度传感器 线性输出特性 
Enhanced thermoelectric property and stability of NiCr–NiSi thin film thermocouple on superalloy substrate被引量:12
《Rare Metals》2017年第6期512-516,共5页Xiao-Hui Zhao Yi-Ran Wang Yin-Zhi Chen Hong-Chuan Jiang Wan-Li Zhang 
financially supported by the National Natural Science Foundation of China (No.61223002);Sichuan Youth Science and Technology Innovation Research Team Funding (No.2011JTD0006);Program for Cooperation of Industry, Education and Academy of Guangdong Province, China (No.2013B090400001)
Thin film thermocouples(TFTCs) can provide fast and accurate surface temperature measurement with minimal impact on the physical characteristics of the supporting components. In this study, NiCr and NiSi films were ...
关键词:NiCr-NiSi Thin film thermocouple Vacuumanneal Thermoelectric property 
谐振型SAW无线无源传感器的测试系统研究被引量:7
《压电与声光》2016年第4期566-569,共4页王睿 张万里 彭斌 邓森洋 邓言文 姜建英 
国家自然基金资助项目(61223002)
采用一种低成本、高效率的电路系统实现对谐振型无线无源声表面波(SAW)传感器的测试。该电路利用直接数字频率合成(DDS)技术产生不同频率的射频信号用以激励SAW传感器。在接收端采用功率探测器检测回波信号的包络,通过包络的变化得到待...
关键词:谐振型声表面波(SAW)传感器 无线无源 直接数字频率合成 功率探测器 
兰姆波型谐振器的制备与测试
《压电与声光》2016年第3期401-404,共4页邓言文 彭斌 张万里 陈鹏 王睿 姜建英 
自然科学基金资助项目(61223002)
采用磁控溅射、光刻、腐蚀、电子束蒸发等工艺,在AlN薄膜表面设计和制备了兰姆波(Lamb)型谐振器。研究了Lamb谐振器频率特性与频率-温度特性,并与传统的瑞利波(Rayleigh)型谐振器进行对比。测试结果表明,Rayleigh谐振器的谐振频率为305....
关键词:兰姆波型谐振器 谐振频率 温度特性 ALN薄膜 
AlN-based surface acoustic wave resonators on platinum bottom electrodes for high-temperature sensing applications被引量:3
《Rare Metals》2016年第5期408-411,共4页Chuan Li Xing-Zhao Liu Bin Peng Lin Shu Yan-Rong Li 
financially supported by the National Nature Science Foundation of China (No. 61223002);Sichuan Youth Science and Technology Innovation Research Team Funding (No. 2011JTD0006)
Surface acoustic wave(SAW) resonators with Pt/AlN/Si and Pt/AlN/Pt/Si configurations were fabricated by lift-off photolithography techniques. High-temperature performances of both configurations were investigated fo...
关键词:AlN film High temperature Platinum Temperature coefficient of frequency Surface acoustic wave 
Characterization of vertical Au/β-Ga_2O_3 single-crystal Schottky photodiodes with MBE-grown high-resistivity epitaxial layer被引量:1
《Chinese Physics B》2016年第1期757-761,共5页刘兴钊 岳超 夏长泰 张万里 
supported by the National Nature Science Foundation of China(Grant No.61223002);the Science and Technology Commission of Shanghai Municipality,China(Grant No.13111103700);the Specialized Research Fund for the Doctoral Program of Higher Education of China(Grant No.2012018530003)
High-resistivity β-Ga203 thin films were grown on Si-doped n-type conductive β-Ga203 single crystals by molecular beam epitaxy (MBE). Vertical-type Schottky diodes were fabricated, and the electrical properties of...
关键词:gallium oxides thin films Schottky diode ultraviolet photodetector 
TC4钛合金上制备c轴取向AlN薄膜研究
《压电与声光》2015年第2期280-282,共3页王瑜 彭斌 李川 张万里 刘兴钊 
自然科学基金资助项目(61223002);四川省青年科技创新团队基金资助项目(2011HTD0006)
采用中频磁控反应溅射,提出了在TC4钛合金基片上制备c轴取向AlN薄膜的两步法工艺。利用扫描电镜分析(SEM)、X线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)对薄膜的表面及断面形貌、晶体结构、表面粗糙度进行了表征。研究结果表明,利用该文提出的两...
关键词:TC4钛合金 中频磁控反应溅射 两步法 ALN薄膜 声表面波(SAW)器件 
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