国家重点基础研究发展计划(2011CB706700)

作品数：16被引量：58H指数：4
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相关机构：天津大学东北大学西南交通大学天津计量监督检测科学研究院更多>>
相关期刊：《光子学报》《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》《光学精密工程》《光学学报》更多>>
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微透镜阵列超精密切削正弦过渡路径优化设计被引量：3
《纳米技术与精密工程》2017年第4期239-245,共7页张效栋 王志诚 曾臻 刘现磊 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2011CB706700);国家自然科学基金资助项目(51375337)
微透镜阵列由于具有质量轻、结构小、视场大、分辨率高等优点,被广泛应用于光学领域.微注塑成型是实现其低成本批量生产的主要方法.如何高效、高精度、低成本加工模芯一直是研究的重点与难点.本文在传统微透镜阵列加工路径基础上,提出...
关键词：超精密加工 微透镜阵列 模芯 正弦过渡 路径优化 
基于EBSD技术的单晶硅纳米切削研究被引量：1
《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》2017年第1期99-104,共6页徐宗伟 赵兵 刘红光 刘冰 国晨 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2011CB706700);国家自然科学基金资助项目(51275559;51575389)~~
切削加工产生的表面和亚表面损伤会影响零件的物理力学性能和使用寿命.对目前存在的主要的表面/亚表面损伤检测技术进行了阐述,指出了目前检测方法的优缺点,提出了一种基于电子背散射衍射技术(EBSD)检测方法,作为现有检测技术的补充.基...
关键词：电子背散射衍射 亚表面损伤 应力应变 相变 
旋转超声加工光纤预制棒预应力深孔被引量：1
《纳米技术与精密工程》2016年第2期130-133,共4页段巍 宫虎 王羿 房丰洲 
国家自然科学基金资助项目(51320105009);国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2011CB706700)
熊猫型保偏光纤(PANDA PMF)由于性能优越而得到广泛应用,但其光纤预制棒预应力深孔的加工一直是光纤生产过程中的难点.为避免传统预应力孔加工方式中的缺陷,本文采用自行研制的加工装置进行非接触式旋转超声加工,并进行了对比实验.共设...
关键词：熊猫型保偏光纤 旋转超声加工 光纤预制棒 深孔 
面向Ga^+和惰性离子的聚焦离子束加工机理的研究
《电子显微学报》2016年第1期63-69,共7页贾瑞丽 徐宗伟 王前进 
国家重点基础研究发展计划(973计划)项目资助(No.2011CB706700);国家自然科学基金资助项目(No.51275559;No.51511130074)
聚焦离子束(FIB)技术越来越广泛地应用于纳米加工等领域,其加工机理的研究是该技术发展的重要基础。本文针对纳米结构加工过程中聚焦离子束对加工精度的影响规律,基于蒙特卡罗法的SRIM程序,对离子轰击硅、金、铬等典型基底进行了仿真分...
关键词：聚焦离子束(FIB) 纳米加工 能量损伤 横向离散 
微透镜阵列加工误差对光学性能的影响被引量：4
《光学学报》2016年第2期178-186,共9页田霏 刘现磊 张效栋 房丰洲 
国家973计划(2011CB706700);国家自然科学基金面上项目(51375337)
研究了微透镜阵列加工误差对光学系统成像性能的影响规律,寻求利于改善光学性能的面形误差分布。对面形误差与波前像差之间的转换矩阵进行建模,使仿真与计算的波前像差达到纳米级的误差精度,选用具有正交性的Zernike多项式作为光学和机...
关键词：光学设计 成像性能 影响规律 误差分布 干涉图 转换矩阵 
聚焦离子束加工微锥形结构的制造误差分析被引量：2
《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》2015年第9期827-833,共7页徐宗伟 申雪岑 李云涛 李康 林枫 贾瑞丽 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2011CB706700);国家自然科学基金资助项目(51275559)
聚焦离子束(FIB)纳米制造技术已经成为微纳米尺度功能器件加工的一种重要方法,利用聚焦离子束直写加工可实现复杂二维微纳结构的高精度制造.然而由于离子溅射产额随入射角度非线性变化规律、再沉积现象及离子束能量分布特性的综合影响,...
关键词：聚焦离子束 微纳制造 直写加工 三维结构加工 高斯分布 溅射产额 
金刚石刀具的圆柱母光栅微加工基础研究被引量：2
《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》2015年第5期455-462,共8页兀伟 陈津平 徐宗伟 刘婷 曹克雄 李万里 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2011CB706700);国家自然科学基金资助项目(51275559;50935001);中物院超精密加工技术重点实验室开放基金资助项目(KF13008)
精密长光栅作为高档数控机床中的核心部件,其制造能力和精度直接影响着数控机床的制造水平.针对纳米滚压印技术制备长光栅中的核心部件即圆柱母光栅的制造开展了深入研究,探讨了母光栅刻划用金刚石刀具的聚焦离子束(FIB)制备技术,以及...
关键词：微纳制造 聚焦离子束 微刻划 金刚石刀具 沟道效应 
大尺寸自由曲面铝反射镜超精密抛光工艺被引量：7
《纳米技术与精密工程》2015年第2期108-112,共5页潘龙 宫虎 房丰洲 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2011CB706700);国家自然科学基金资助项目(51275344);高等学校学科创新引智计划资助项目(B07014)
针对大尺寸自由曲面铝反射镜在单点金刚石车削(SPDT)后出现的划伤、波纹等缺陷,研究了抛光介质和加工参数对自由曲面铝合金超精密抛光结果的影响.利用Wyko NT9300白光干涉仪和VHX500超景深显微镜对AA6061铝合金抛光表面进行了检测,将抛...
关键词：超精密抛光 抛光工艺 自由曲面 铝反射镜 镜面 
基于光楔阵列产生光学涡旋阵列的研究被引量：7
《光子学报》2015年第4期71-75,共5页柴忠洋 王祺昌 曾臻 张效栋 房丰洲 
国家重点基础研究发展计划项目(No.2011CB706700)资助
在研究光楔衍射法产生单涡旋的基础上,基于长条形光楔阵列,提出了利用光束阵列衍射产生涡旋阵列的方法.该方法要求光束阵列在平行于光楔边缘方向上的光束间距等于光束直径的整数倍.利用超精密机床采用一体化加工法加工了光楔阵列元件,...
关键词：物理光学 光学涡旋 光楔衍射法 光楔阵列 光束阵列 空间光调制器 达曼光栅 
聚焦离子束加工单晶体金刚石刀具实验研究被引量：2
《纳米技术与精密工程》2014年第6期424-428,共5页徐宗伟 李万里 兀伟 贾瑞丽 徐博良 
国家重点基础研究发展计划(973计划)赞助项目(2011CB706700);国家自然科学基金资助项目(51275559);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室开放基金资助项目(KF13008)
作为超精密切削加工刀具的理想材料,单晶体金刚石材料的加工制造方法直接决定了刀具切削加工表面的精度和质量.由于金刚石材料具有明显的各向异性,在传统的金刚石刀具机械刃磨法中需要综合考虑制备工艺和刀具性能的协同关系,主要包括不...
关键词：金刚石刀具 聚焦离子束 晶面晶向 
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