湖北省自然科学基金(2005ABA011)

作品数：11被引量：25H指数：3
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R_2O-Al_2O_3-SiO_2系微晶玻璃析晶动力学研究被引量：3
《武汉理工大学学报》2009年第22期40-43,47,共5页熊德华 程金树 
国家自然科学基金(50472039);湖北省自然科学基金(2005ABA011)
通过对R2O-Al2O3-SiO2(R2O为Li2O,Na2O和K2O)系微晶玻璃DTA、XRD、SEM等测试分析,系统地对其析晶行为和析晶动力学进行了研究。该组分基础玻璃DTA曲线上有2个析晶放热峰,选取相应的热处理制度,可获得主晶相为Li2Si2O5和Li2SiO3的微晶玻...
关键词：DTA 微晶玻璃 R2O-Al2O3-SiO2 析晶动力学 
阳极键合后基片呈现黑斑原因及影响因素
《武汉理工大学学报》2009年第22期66-70,共5页李宏 章钊 王倩 熊德华 
国家自然科学基金(50472039);湖北省自然科学基金(2005ABA011)
半导体硅与玻璃的阳极键合技术是微机电系统(Micro Electronic Mechanical System简称MEMS)的关键封装技术,微晶玻璃相比传统的阳极键合用玻璃,具有键合温度低、键合强度高、键合质量好等优点。实验采用二步热处理法,制备了热膨胀系数...
关键词：阳极键合 硅片 微晶玻璃 黑斑 
硅/微晶玻璃阳极键合工艺对键合强度的影响被引量：1
《武汉理工大学学报》2009年第24期5-8,共4页章钊 李宏 杜芸 程金树 
国家自然科学基金(50472039);湖北省自然科学基金(2005ABA011)
半导体硅与玻璃的阳极键合技术是微机电系统的关键封装技术,国内外普遍采用硼硅酸盐玻璃作为与硅片封装的阳极键合基片材料,封装温度高达500℃。实验采用Li2O-Al2O3-SiO2（LAS）系统微晶玻璃代替传统的硼硅酸盐玻璃,在200-400℃温度条...
关键词：硅片 微晶玻璃 阳极键合 键合强度 
阳极键合用Li_2O-Al_2O_3-SiO_2微晶玻璃电学性能被引量：3
《硅酸盐学报》2009年第10期1735-1739,共5页李宏 章钊 王倩 杜芸 程金树 
国家自然科学基金(50472039);湖北省自然科学基金(2005ABA011)资助项目
采用合适的组分和二步热处理法制备了热膨胀系数与硅片匹配的Li2O-Al2O3-SiO2(LAS)微晶玻璃,并在满足键合所要求的热膨胀系数的基础上,通过调节成分和控制热处理制度,研究了微晶玻璃的导电和介电性能。结果表明:采用不同的热处理制度进...
关键词：阳极键合 硅片 微晶玻璃 电学性能 
阳极键合用微晶玻璃的组成与析晶性能
《武汉科技大学学报》2007年第6期584-587,共4页李宏 曹欣 何粲 程金树 
国家自然科学基金资助项目(50472039);湖北省自然科学基金资助项目(2005ABA011)
以Li2O-Al2O-SiO2（LAS）系统微晶玻璃为研究对象，目的是开发新型微晶玻璃以代替现有的阳极键合用耐热玻璃。采用传统熔体冷却方法，研究以TiO2，ZrO2和P2O3为晶核剂，以Sb2O3为澄清剂，以含Na20，MgO，ZnO的Li20—Al2O3-SiO2系微晶玻...
关键词：阳极键合 微晶玻璃 组成 晶核剂 析晶 
无机膜材料研究应用现状及展望被引量：7
《国外建材科技》2007年第4期7-11,共5页李宏 熊德华 
国家自然科学基金(50472039);湖北省自然科学基金(2005ABA011)
膜材料作为膜分离技术的核心越来越受到人们的关注。简要概述了膜技术的应用现状,重点介绍了无机膜材料的分类、制备以及无机膜材料的应用。分别列举了各类典型的无机膜材料及其制备方法,并对无机膜材料今后研究的方向进行了展望。
关键词：无机膜材料 分离 应用 制备 
阳极键合用微晶玻璃的热处理温度研究被引量：1
《玻璃与搪瓷》2007年第4期1-5,共5页李宏 曹欣 程金树 
国家自然科学基金资助项目(50472039);湖北省自然科学基金资助项目(2005ABA011)
阳极键合技术在几十年来得到了很大的发展。随着其使用范围的扩大和对键合强度要求的提高，对基片材料提出了新的要求。微晶玻璃是一种性能优异的材料，如果能与不锈钢进行键合，将在微机电系统得到广泛的应用。论文在前期工作的基础上...
关键词：微晶玻璃 阳极键合 核化温度 晶化温度 
稀土掺杂对LAS系统微晶玻璃粘度的影响被引量：7
《武汉理工大学学报》2007年第7期10-12,17,共4页李宏 郑勇 程金树 
国家自然科学基金(50472039);湖北省自然科学基金(2005ABA011)
实验以Li2O-Al2O3-SiO2(LAS)系统微晶玻璃为研究对象,根据LAS系统玻璃三元相图设计玻璃组成,并在基础组分不变的前提下,选择了La2O3等5种稀土氧化物采取外加法进行掺杂,应用高温粘度仪测试分析了玻璃液的高温粘度。通过调整稀土氧化物...
关键词：LI2O-AL2O3-SIO2 微晶玻璃 稀土氧化物 粘度 
低温阳极键合用微晶玻璃的研究
《国外建材科技》2007年第2期37-39,共3页李宏 程金树 曹欣 杜芸 
国家自然科学基金(50472039);湖北省自然科学基金(2005ABA011)
概括了微机电系统的发展状况,分析了各种键合技术方法的优缺点及阳极键合技术今后的发展方向。探讨了微晶玻璃作为良好的封装材料或键合材料的可行性,同时介绍了课题的研究内容、研究目标以及技术路线。课题的实施对于拓展阳极键合技术...
关键词：微晶玻璃 阳极键合 微机电系统(MEMS) 低温 
热处理时间对阳极键合用微晶玻璃性能的影响被引量：3
《武汉理工大学学报》2007年第5期20-22,共3页李宏 曹欣 程金树 
国家自然科学基金(50472039);湖北省自然科学基金(2005ABA011)
实验采用Li2O-ZnO-SiO2(LZS)系统微晶玻璃代替传统的耐热玻璃,在前期工作的基础上对该微晶玻璃的热处理时间进行了系统研究,通过相关的测试手段,分析讨论了热处理时间对主晶相、晶粒尺寸大小、析晶程度及其相关性能的影响。实验结果表明...
关键词：微晶玻璃 阳极键合 晶化时间 核化时间 
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