国家自然科学基金(60506003)

作品数:49被引量:155H指数:6
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相关作者:张晓丹赵颖孙建魏长春耿新华更多>>
相关机构:南开大学天津大学河北工业大学天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室更多>>
相关期刊:《Chinese Physics B》《发光学报》《物理学报》《人工晶体学报》更多>>
相关主题:微晶硅薄膜VHF-PECVD微晶硅太阳电池P型ZNO更多>>
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氢气、氢气/硅烷等离子体时间分辨光发射谱的研究被引量:1
《发光学报》2019年第4期528-534,共7页张发荣 张晓丹 AMANATIDES E 赵颖 
国家自然科学基金(60506003);天津市自然科学基金(05YFJMJC01600);天津职业大学校基金项目(20171101)资助~~
为了加深对等离子体增强化学气相沉积的认识,采用增强型电荷耦合器件(ICCD)研究了氢气及氢气/硅烷混合气体在不同气压条件下的时间分辨光发射谱,获得了辉光放电等离子体瞬态微观动力学过程的清晰图像。纯氢气辉光条件下,在一个射频周期...
关键词:等离子体 光发射谱 微观动力学 
PVP对染料敏化太阳电池特性的影响被引量:1
《太阳能学报》2010年第8期979-982,共4页杨振华 张晓丹 纪伟伟 张存善 赵颖 
国家重点基础研究发展(973)计划(2006CB202602;2006CB202603);国家高技术研究发展(863)规划(2007AA05Z436);天津科技支撑项目(08ZCKFGX03500);国家自然科学基金(60506003);南开大学博士启动基金(J02031);科技部国际合作重点项目(2006DFA62390);教育部新世纪人才计划
以聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为成膜剂,采用刮涂的方法制备染料敏化太阳电池光阳极中的TiO_2薄膜。将一定量的PVP溶解到无水乙醇中与0.5g P25以及其它有机小分子物质混合,搅拌均匀后研磨制成TiO_2胶体,将其均匀涂覆在导电玻璃上(膜厚度约为14...
关键词:染料敏化太阳电池 刮涂法 TIO2薄膜 PVP 
大面积VHF-PECVD反应室喷淋式平板电极间电场和流场数值模拟被引量:4
《真空》2010年第2期40-43,共4页葛洪 张晓丹 赵静 赵颖 
国家重点基础研究发展计划项目(批准号:2006CB202602和2006CB202603);国家自然科学基金(批准号:60506003);南开大学博士启动基金(批准号:J02031);科技部国际合作重点项目(批准号:2006DFA62390);国家高技术研究发展计划(批准号:2007AA05Z436);教育部新世纪人才计划(批准号:60506003NCET)资助的课题
以大面积喷淋式平板电极甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)反应室为研究对象,利用FlexPDE和CFD-ACE+商业软件,对反应室电极间的电场和流场分布进行了数值模拟。根据数值模拟结果可知:对于大面积喷淋式平板电极VHF-PECVD反应室...
关键词:甚高频等离子体增强化学气相沉积 喷淋式平板电极 数值模拟 CFD-ACE+ 
a-Si/μc-Si叠层电池中间层材料SiOx:H制备研究被引量:2
《光电子.激光》2010年第2期231-234,共4页岳强 张晓丹 张鹤 郑新霞 魏长春 孙建 张建军 耿新华 熊绍珍 赵颖 
国家高技术研究发展规划资助项目(2007AA05Z436,2009AA050602);国家重点基础研究发展规划资助项目(2006CB202602,2006CB202603);国家自然科学基金资助项目(60506003);科技部国际合作重点资助项目(2006DFA62390);天津科技支撑资助项目(08ZCKFGX03500);教育部新世纪人才计划资助项目;南开大学博士启动基金资助项目(J02031)
为提高a-Si/μc-Si叠层太阳电池的效率,采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术,制备了系列n型掺磷硅氧(SiOx:H)薄膜作为中间层,研究了CO2/Si H4气体流量比、沉积功率和PH3掺杂浓度等工艺参数对材料光电特性的影响,获得了折射...
关键词:a-Si/μc-Si叠层太阳电池 中间反射层 SiOx:H薄膜 
腔室长时间使用造成的工艺漂移对微晶硅薄膜性质的影响被引量:1
《科技导报》2009年第20期19-21,共3页张鹤 戴志华 张晓丹 魏长春 孙建 耿新华 赵颖 
国家重点基础研究发展计划(973计划)项目(2006CB202602;2006CB202603);国家自然科学基金项目(60506003);国家科技计划配套项目(07QTPTJC29500)
考查了等离子体增强化学气相沉积(PECVD)高压制备微晶硅(μc-Si:H)薄膜过程中,系统长时间使用造成的微晶硅薄膜特性的漂移情况。实验中,控制沉积条件,使薄膜的沉积速率达到约0.5nm/s;保证硅薄膜具有一定的晶化程度(40%~80%),由不同探...
关键词:微晶硅薄膜 等离子体增强化学气相沉积 工艺漂移 硅粉末 
Research on the boron contamination at the p/i interface of microcrystalline silicon solar cells deposited in a single PECVD chamber
《Chinese Physics B》2009年第10期4558-4563,共6页张晓丹 孙福和 魏长春 孙建 张德坤 耿新华 熊绍珍 赵颖 
Project supported by Hi-Tech Research and Development Program of China (Grant No 2007AA05Z436);Science and Technology Support Project of Tianjin (Grant No 08ZCKFGX03500);National Basic Research Program of China (Grant Nos 2006CB202602 and 2006CB202603);National Natural Science Foundation of China (Grant No 60506003);Starting Project of Nankai University (Grant No J02031);International Cooperation Project Between China-Greece Government (Grant No 2006DFA62390);Program for New Century Excellent Talents in University of China (NCET)
This paper studies boron contamination at the interface between the p and i layers of μc-Si:H solar cells deposited in a single-chamber PECVD system. The boron depth profile in the i layer was measured by Secondary ...
关键词:boron contamination single chamber microcrystalline silicon solar cells 
成膜剂对染料敏化太阳电池性能的影响
《人工晶体学报》2009年第6期1324-1328,共5页纪伟伟 张晓丹 杨振华 赵颖 
国家重点基础研究发展计划项目(2006CB202602,2006CB202603);天津市重点基金项目(06YFJZJC01700);国家自然科学基金(No.60506003);科技部国际合作重点项目(2006DFA62390)
通过刮涂法将P25粉的乙醇体系配制的TiO2浆料制备成光阳极中的TiO2薄膜,在TiO2浆料中分别加入聚乙烯吡咯烷酮(PVP)和乙基纤维素(M70),作对比实验,研究发现加入PVP制备的TiO2薄膜的宏观和微观结构都得到了明显的改善,其影响了TiO2薄膜的...
关键词:TiO2浆料 PVP 染料敏化太阳电池 
Effects of modulation frequency on the structure and electrical characteristics of μc-Si:H films prepared by pulsed VHF-PECVD被引量:1
《Optoelectronics Letters》2009年第3期212-215,共4页王世锋 张晓丹 赵颖 魏长春 许盛之 孙建 耿新华 
supported by the National Basic Research Program of China(Grant No.2006CB202602,2006CB202603);the National High Technology Research and Development Program of China(Grant No.2007AA05Z436);the National Natural Science Foundation of China(Grant No.60506003)
Modulation frequency and pulse duty cycle are two key parameters of pulsed VHF-PECVD technology.An experimental study on the microcrystalline silicon materials prepared by pulsed VHF-PECVD technology in high depositio...
关键词:甚高频等离子体增强化学气相沉积 脉冲占空比 调制频率 微观结构 电学特性 薄膜 化学气相沉积技术 Si 
p种子层对单室制备微晶硅电池性能的影响
《物理学报》2009年第10期7294-7299,共6页王光红 张晓丹 许盛之 孙福河 岳强 魏长春 孙建 耿新华 熊绍珍 赵颖 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2006CB202602,2006CB202603);国家自然科学基金(批准号:60506003);南开大学博士科研启动基金(批准号:J02031);科技部国际合作计划重点项目(批准号:2006DFA62390);国家高技术研究发展计划(批准号:2007AA05Z436);天津市科技支撑计划(批准号:08ZCKFGX03500);教育部新世纪优秀人才支持计划(批准号:NCET60506003)资助的课题~~
采用单室等离子体化学气相沉积技术沉积pin微晶硅电池时,硼污染降低了本征材料的晶化率并影响了p/i界面特性.针对该问题文中采用p种子层技术,即在沉积p层后采取高的H2/SiH4比率及适当的功率又沉积一个薄的p层,初步研究了p种子层对微晶硅...
关键词:单室 甚高频等离子体增强化学气相沉积 微晶硅太阳电池 p种子层 
单室沉积本征微晶硅薄膜及其在电池中的应用被引量:6
《光电子.激光》2009年第5期637-641,共5页王光红 张晓丹 孙福河 许盛之 岳强 魏长春 孙建 耿新华 熊绍珍 赵颖 
国家高技术研究发展规划资助项目(2007AA05Z436);国家重点基础研究发展规划资助项目(2006CB202602;2006CB202603);国家自然科学基金资助项目(60506003);科技部国际合作重点资助项目(2006DFA62390);教育部新世纪人才计划的资助项目;南开大学博士启动基金资助项目(J02031)
为获得单室沉积高效微晶硅(μc-Si)太阳电池,首先采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术制备了不同沉积条件下的本征μc-Si薄膜。通过对材料的结构和电学输运特性的研究,借鉴分室沉积的器件质量级μc-Si材料的经验,选取合...
关键词:单室 甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD) 本征微晶硅(μc-Si) 太阳电池 
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