国家自然科学基金(50405013)

作品数：14被引量：80H指数：5
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相关作者：赵小林戴旭涵丁桂甫蔡炳初王佩红更多>>
相关机构：上海交通大学教育部安徽大学更多>>
相关期刊：《传感器与微系统》《南京师大学报（自然科学版）》《电子机械工程》《传感技术学报》更多>>
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相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程机械工程更多>>
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一种集成型双稳态微电磁继电器工艺及动态性能的研究被引量：1
《南京师大学报（自然科学版）》2010年第3期40-44,共5页孔令飞 戴旭涵 苗晓丹 丁桂甫 赵小林 
国家自然科学基金(50405013);国家“863”计划资助项目(2006AAO4Z360)
介绍了一种集成型双稳态微电磁继电器,利用金属基表面微加工技术和体微加工技术成功完成了弹簧和起气隙作用的SU-8垫片的集成制造.用Ansys和Matlab软件对其进行初步的研究设计仿真,证明了设计的可行性.并研究了该继电器的双稳态性能,分...
关键词：微机电系统 电磁继电器 碰撞 动态测试 
一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器的研究被引量：4
《传感器与微系统》2009年第6期117-120,共4页张晓鹏 戴旭涵 苗小丹 丁桂甫 赵小林 
国家自然科学基金资助项目(50405013);国家"863"计划资助项目(2006AA04Z360)
介绍了一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器,通过理论分析和有限元分析工具Ansys对器件的结构参数进行了优化设计,并证明了设计的可行性。利用金属基表面微加工技术与体硅微加工技术成功制作出这种驱动器,并对其弹性平台的弹性系数进行了标...
关键词：微机电系统 电磁驱动 微电铸 湿法腐蚀 
一种新型MEMS电磁继电器的研究被引量：1
《电子器件》2008年第5期1533-1536,共4页刘亮 赵小林 戴旭涵 鲁李乐 丁桂甫 
国家自然科学基金项目资助(50405013);国家863计划项目资助(2006AA04Z360);上海市科委重点实验室基金项目资助(05dz22309);微米/纳米加工技术国家级重点实验室基金资助(9140C790301060C79)
介绍了一种MEMS电磁驱动微继电器,这种继电器体积小、易于集成。它采用双层1mm×1mm平面线圈和吸合式坡莫合金悬臂梁结构,层间用聚酰亚胺作绝缘材料。文中介绍了器件的工作原理,建立了磁路的仿真模型,据此计算确定了气隙宽度和悬臂梁厚...
关键词：微机电系统(MEMS) 电磁驱动 微继电器 微电铸 
MEMS微电磁驱动器的分段磁路模型及实验研究被引量：2
《电子器件》2008年第5期1537-1541,共5页鲁李乐 赵小林 戴旭涵 刘亮 丁桂甫 
国家自然科学基金项目资助(50405013);国家863计划项目资助(2006AA04Z360);上海市科委重点实验室基金项目资助(05dz22309);微米/纳米加工技术国家级重点实验室基金资助(9140C790301060C79)
介绍了一种MEMS电磁微驱动器。基于分段磁路的网络方程法,针对微电磁驱动器所采用的平面线圈的结构特点,建立了平面线圈微驱动器的非线性磁路模型。实验结果表明,考虑线圈绕组半径不同而产生的磁动势分布效应可以为平面线圈型微驱动器...
关键词：微机电系统(MEMS) 电磁驱动 分布磁动势 
微型电磁式振动能量采集器的设计和电磁特性仿真研究被引量：6
《合肥工业大学学报（自然科学版）》2008年第4期518-521,526,共5页王佩红 戴旭涵 方东明 赵小林 
国家自然科学基金资助项目(50405013);863计划资助项目(2006aa04z360);微米/纳米加工技术国家级重点实验室(上海交通大学)基金资助项目(9140C790301060C79);上海市科委重点实验室基金资助项目(05dz22309)
为了设计出结构合理、性能优良的微型电磁式振动能量采集器,利用Ansoft Maxwell软件对模型的结构参数和输出电动势之间的关系进行有限元仿真,分析发现:随着圆形永磁体厚度、悬臂梁振幅的增加及悬臂梁和永磁体间距的减小,输出电动势逐渐...
关键词：半导体技术 电磁式振动能量采集器 结构优化 计算机仿真 输出特性 
基于电镀铜平面弹簧的微型电磁式振动能量采集器被引量：5
《功能材料与器件学报》2008年第1期171-174,共4页王佩红 鲁李乐 戴旭涵 赵小林 
国家自然科学基金(No.50405013);863计划(No.2006AA04Z360);微米/纳米加工技术国家级重点实验室基金(No.9140C790301060C79);上海市科委重点实验室基金(No.05dz22309)资助项目
采用微机电系统加工技术制作出一种结构新颖的微型电磁式振动能量采集器,它可以把周围环境中的振动能转换为电能。整个结构主要由圆形SmCo28永磁体、铜平面弹簧和双层线圈构成。采用UV-LIGA技术和电镀技术制作铜平面弹簧和双层线圈,并...
关键词：振动能量采集器 微机电系统 电磁式 铜平面弹簧 双层线圈 
一种微电磁驱动的MEMS可调光衰减器被引量：1
《电子器件》2007年第3期833-836,共4页邵国成 杨昊宇 戴旭涵 赵小林 丁桂甫 
国家自然基金资助(50405013)
介绍了一种电磁驱动型MEMS可调光衰减器,该器件通过调节微挡光片在光路中的位置控制衰减量.以铜作为牺牲层,由电镀铁镍作为结构层的非硅表面微加工微技术被应用于挡光片的制作上,此项技术与硅的体加工技术相结合有望降低器件的加工成本...
关键词：微机电系统 光衰减器 表面微加工 电磁驱动 
微型电磁式振动能量采集器的研究进展被引量：31
《振动与冲击》2007年第9期94-98,111,共6页王佩红 戴旭涵 赵小林 
国家自然科学基金(50405013);863计划(2006AA04Z360)
随着低功耗无线传感网络和微机电系统的迅速发展,供电问题正成为它们进入实用化、产业化的一大障碍。现有的一个解决方案是微型电磁式振动能量采集器。首先给出电磁式振动能量采集器的工作原理、物理模型和设计原则,然后详细介绍目前国...
关键词：微机电系统 振动能量采集器 电磁式 
一种闭环控制的错位型MEMS可调光衰减器被引量：4
《光子学报》2006年第12期1888-1891,共4页邵国成 戴旭涵 杨昊宇 赵小林 丁桂甫 
国家自然科学基金(50405013);教育部科学技术研究重大项目(重大0307);上海市科委重点实验室基金(05dz22309)资助
针对一种错位型MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)可调光衰减器,基于输入输出光纤间模场的交叠积分,数值分析了径向偏差和轴向间隙同时存在的情况下,光功率衰减量与错位量和波长的关系.演示了利用闭环反馈控制系统提高器件响应线...
关键词：微机电系统(MEMS) 可调光衰减器 闭环 线性度 
平面线圈型MEMS微电磁驱动器的理论分析与实验研究被引量：6
《传感技术学报》2006年第05B期1920-1923,共4页杨昊宇 赵小林 戴旭涵 邵国成 丁桂甫 
国家自然科学基金项目资助(50405013);上海市科委重点实验室基金项目资助(05dz22309)
介绍了一种平面线圈型电磁驱动的MEMS微驱动器,基于分段磁路的网络方程法,针对微电磁驱动器所采用的平面线圈的结构特点,比较了考虑磁动势的分布效应和传统的集总处理两种方法所建立的平面线圈微驱动器的非线性磁路模型.实验结果表明考...
关键词：微机电系统(MEMS) 继电器 电磁驱动 非线性磁路 
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