河北省自然科学基金(502121)

作品数：9被引量：10H指数：2
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电子助进化学气相沉积金刚石中的光发射谱特性
《光谱学与光谱分析》2008年第4期763-765,共3页王志军 董丽芳 李盼来 尚勇 
国家自然科学基金项目(10375015);河北省自然科学基金项目(502121);河北大学青年基金项目(2005Q31)资助
采用蒙特卡罗方法,对以CH4/H2为源料气体的电子助进化学气相沉积(EACVD)金刚石中的氢原子(Hα,Hβ,Hγ)、碳原子C(2p3s2p2∶λ=165.7nm)以及CH(A2Δ→X2Π∶λ=420～440nm)的光发射过程进行了模拟,气体温度随空间的变化采用温度梯度变化...
关键词：电子助进化学气相沉积 金刚石 蒙特卡罗模拟 发射光谱 
N_2介质阻挡放电中有效电场的光谱测定被引量：1
《光谱学与光谱分析》2005年第10期1727-1729,共3页董丽芳 殷燕 董建明 
国家自然科学基金项目(10375015);河北省自然科学基金项目(502121)资助
采用蒙特卡罗方法,模拟了N2非平衡态直流放电等离子体过程。计算了不同E/N条件下电子在氮气中的漂移速度,结果与实验数据符合得很好。模拟了电子激发态粒子数随E/N的变化关系。提出在介质阻挡放电研究和应用中,通过监测两条紫外谱线145...
关键词：介质阻挡放电等离子体 有效电场 蒙特卡罗模拟 
EACVD中的H_α谱线与最佳生长条件被引量：1
《光谱学与光谱分析》2005年第10期1545-1547,共3页董丽芳 王志军 尚勇 
河北省自然科学基金(502121)项目资助
采用蒙特卡罗方法,模拟了CH4/H2混合气体为源气体的EACVD中的氢原子发射过程。考虑了电子与H2的弹性碰撞及振动激发、分解、电子激发、相应于Hα,Hβ,Hγ谱线的激发、电离及分解电离等非弹性碰撞过程;与CH4的碰撞考虑了弹性动量传输及...
关键词：化学气相沉积 氢原子发射谱线 最佳实验条件 
氢原子谱线与高质量金刚石薄膜被引量：2
《光谱学与光谱分析》2005年第6期801-803,共3页尚勇 董丽芳 王志军 
河北省自然科学基金(502121)资助项目
采用蒙特卡罗方法,对以CH4 H_2 混合气体为源气体的电子助进热丝化学气相沉积(EACVD)中的氢原子发射过程进行了模拟。在模拟中考虑了电子与H_2 的弹性碰撞及振动激发、分解、电子激发(包括H_α,H_β,H_γ谱线的激发)、电离及分解电离...
关键词：化学气相沉积 氢原子发射谱线 最佳实验条件 
氢原子谱线测定EACVD中电子平均温度被引量：3
《光谱学与光谱分析》2005年第4期494-496,共3页尚勇 董丽芳 王志军 
河北省自然科学基金 (50 2 1 2 1 )资助项目
采用蒙特卡罗方法,对以CH4/H2 混合气体为原料气体的EACVD中氢原子的发射过程进行了模拟。在模拟中考虑了电子与H2 的弹性碰撞及振动激发、分解、电子激发、相应于Hα,Hβ,Hγ谱线的激发、电离及分解电离等非弹性碰撞过程;与CH4的碰撞...
关键词：EACVD 平均温度 氢原子 测定 蒙特卡罗方法 振动激发 电子激发 碰撞过程 金刚石薄膜 CH4 发射过程 混合气体 弹性碰撞 动量传输 相对强度 实时监测 工艺条件 有效控制 非弹性 分解 电离 γ谱线 模拟 H2 表面 
电子辅助热丝化学气相沉积金刚石薄膜中氢原子谱线与最佳成膜条件被引量：2
《人工晶体学报》2005年第3期550-552,530,共4页董丽芳 尚勇 王志军 
河北省自然科学基金重点项目(No.502121)
采用蒙特卡罗方法,对以CH4/H2混合气体为源气体的EACVD中的氢原子发射过程进行了模拟。研究了不同实验条件下产生的H、CH3的数目与氢原子谱线相对强度的关系,给出了一种利用氢原子谱线来获得最佳成膜实验条件的方法。本工作对于有效控...
关键词：金刚石薄膜 化学气相沉积 氢原子发射谱线 最佳成膜条件 
蒙特卡罗模拟金刚石薄膜化学气相沉积过程中甲烷浓度的影响
《人工晶体学报》2005年第2期359-363,共5页尚勇 董丽芳 马博琴 王志军 
河北省自然科学基金重点项目(No. 502121)
本工作采用蒙特卡罗模拟,研究了以CH4/H2气体混合物作为源料气体的电子辅助热丝化学气相沉积中甲烷浓度对气相沉积过程的影响.计算了典型实验条件下电子能量分布,研究了电子平均能量、碎片H及CH3数目的空间分布、H与CH3的比值及CH3携带...
关键词：蒙特卡罗模拟技术 金刚石薄膜 化学气相沉积过程 甲烷 浓度 
电子助进化学气相沉积金刚石中发射光谱的蒙特卡罗模拟被引量：4
《物理学报》2005年第2期880-885,共6页王志军 董丽芳 尚勇 
河北省自然科学基金 (批准号 :5 0 2 12 1)资助的课题~~
采用蒙特卡罗方法 ,对源料气体为CH4 H2 混合气的电子助进化学气相沉积 (EACVD)中的氢原子 (H)、碳原子(C)以及CH基团的发射过程进行了模拟 .研究了CH4 浓度、反应室气压和衬底偏压等工艺参数对发射光谱及成膜的影响 .研究发现 ,CH基...
关键词：氢原子 电子 金刚石薄膜 可测 碳原子 EACVD 发射光谱 成膜 膜过程 活性基团 
EACVD中用氢原子谱线测定电子平均能量被引量：2
《光谱学与光谱分析》2002年第5期732-733,共2页董丽芳 张玉红 
河北省自然科学基金项目 (50 2 1 2 1 )
采用蒙特卡罗方法 ,对EACVD中氢原子的发射过程进行了模拟。给出了由氢原子谱线测定电子平均能量的方法 ,结果对EACVD生长金刚石薄膜过程中实时监测电子平均能量 ,进而可以有效地控制工艺条件 。
关键词：EACVD 测定 电子平均能量 化学气相沉积 氢原子发射谱线 金刚石薄膜 生长过程 蒙特卡罗模拟 
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