尚勇

作品数：16被引量：32H指数：3
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供职机构：河北大学物理科学与技术学院更多>>
发文主题：金刚石薄膜化学气相沉积蒙特卡罗模拟EACVD发射光谱更多>>
发文领域：理学电子电信一般工业技术化学工程更多>>
发文期刊：《光学学报》《光谱学与光谱分析》《物理学报》《人工晶体学报》更多>>
所获基金：河北省自然科学基金国家自然科学基金河北省教委博士基金更多>>
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电子助进化学气相沉积金刚石中的光发射谱特性
《光谱学与光谱分析》2008年第4期763-765,共3页王志军 董丽芳 李盼来 尚勇 
国家自然科学基金项目(10375015);河北省自然科学基金项目(502121);河北大学青年基金项目(2005Q31)资助
采用蒙特卡罗方法,对以CH4/H2为源料气体的电子助进化学气相沉积(EACVD)金刚石中的氢原子(Hα,Hβ,Hγ)、碳原子C(2p3s2p2∶λ=165.7nm)以及CH(A2Δ→X2Π∶λ=420～440nm)的光发射过程进行了模拟,气体温度随空间的变化采用温度梯度变化...
关键词：电子助进化学气相沉积 金刚石 蒙特卡罗模拟 发射光谱 
衬底温度对电子辅助增强化学气相沉积金刚石膜的影响被引量：4
《人工晶体学报》2008年第1期76-82,共7页王志军 李红莲 董丽芳 李盼来 尚勇 
国家自然科学基金(No.10647123);河北大学校内青年基金(2005Q31)
本工作采用蒙特卡罗(Monte Carlo)方法,对以CH4/H2为源气体的电子助进化学气相沉积(EACVD)金刚石薄膜的气相动力学过程进行了模拟。提出了衬底温度的空间梯度变化模型,研究了衬底温度对EACVD气相过程中的电子群行为以及H2和CH4分解过程...
关键词：蒙特卡罗模拟 化学气相沉积 气相过程 衬底温度 
中红外量子级联激光器的研究进展被引量：6
《微纳电子技术》2007年第9期845-852,共8页彭英才 赵新为 尚勇 
河北省自然科学基金资助项目(503125)
以不同结构类型的有源区为主线,如三阱垂直跃迁有源区、超晶格有源区、应变补偿量子阱有源区、束缚-连续跃迁有源区和四阱双声子共振有源区等,介绍了半导体能带工程在量子级联激光器中的应用。以不同技术指标和特性参数为主要内容,如激...
关键词：能带工程 有源区结构 量子级联激光器 特性参数 
电子助进化学气相沉积金刚石中衬底温度对发射光谱的影响
《光谱学与光谱分析》2007年第8期1473-1475,共3页王志军 李盼来 尚勇 贺亚峰 冉俊霞 
国家自然科学基金项目(10375015);河北大学校内自然科学青年基金项目(2005Q31)资助
采用蒙特卡罗方法,对以CH4/H2为源料气体的电子助进化学气相沉积（EACVD）金刚石中的氢原子（Hα,Hβ和Hγ）、碳原子C（2p3s→2p2：λ=165.7 nm）以及CH（A2Δ→X2Π：λ=420-440 nm）的发射过程进行了模拟,研究了衬底温度对各发射谱...
关键词：电子助进化学气相沉积 金刚石 蒙特卡罗模拟 发射光谱 衬底温度 
Si基光子晶体的制备与器件应用被引量：1
《微纳电子技术》2007年第5期235-240,253,共7页尚勇 彭英才 
光子晶体是近十年来迅速发展起来的一种新型人工结构的功能材料。本文简要介绍了Si基光子晶体的主要特点;着重介绍了Si基光子晶体的几种主要制备方法,如精细干式蚀刻法、胶质晶体模板法、宏观多孔Si的电化学腐蚀、多光子聚合法和核壳结...
关键词：Si基光子晶体 制备方法 Si基光子器件 Si基光子集成 
电子助进化学气相沉积金刚石中发射光谱的空间分布被引量：1
《光谱学与光谱分析》2007年第1期15-17,共3页董丽芳 王志军 尚勇 
国家自然科学基金项目(10575027);河北省自然科学重点基金项目(A2006000950)资助
采用蒙特卡罗方法，对以CH4／Hz为源料气体的电子助进化学气相沉积（EACVD）金刚石中的氢原子（Hα,Hβ，Hγ）、碳原子C（2p3s→2p^2：λ=165．7nm）以及CH（A^2△→X^2Ⅱ：λ=420～440m）的发射过程进行了模拟，研究了不同CH4浓度下...
关键词：电子助进化学气相沉积 金刚石 空间分布 发射光谱 
EACVD中的H_α谱线与最佳生长条件被引量：1
《光谱学与光谱分析》2005年第10期1545-1547,共3页董丽芳 王志军 尚勇 
河北省自然科学基金(502121)项目资助
采用蒙特卡罗方法,模拟了CH4/H2混合气体为源气体的EACVD中的氢原子发射过程。考虑了电子与H2的弹性碰撞及振动激发、分解、电子激发、相应于Hα,Hβ,Hγ谱线的激发、电离及分解电离等非弹性碰撞过程;与CH4的碰撞考虑了弹性动量传输及...
关键词：化学气相沉积 氢原子发射谱线 最佳实验条件 
氢原子谱线与高质量金刚石薄膜被引量：2
《光谱学与光谱分析》2005年第6期801-803,共3页尚勇 董丽芳 王志军 
河北省自然科学基金(502121)资助项目
采用蒙特卡罗方法,对以CH4 H_2 混合气体为源气体的电子助进热丝化学气相沉积(EACVD)中的氢原子发射过程进行了模拟。在模拟中考虑了电子与H_2 的弹性碰撞及振动激发、分解、电子激发(包括H_α,H_β,H_γ谱线的激发)、电离及分解电离...
关键词：化学气相沉积 氢原子发射谱线 最佳实验条件 
氢原子谱线测定EACVD中电子平均温度被引量：3
《光谱学与光谱分析》2005年第4期494-496,共3页尚勇 董丽芳 王志军 
河北省自然科学基金 (50 2 1 2 1 )资助项目
采用蒙特卡罗方法,对以CH4/H2 混合气体为原料气体的EACVD中氢原子的发射过程进行了模拟。在模拟中考虑了电子与H2 的弹性碰撞及振动激发、分解、电子激发、相应于Hα,Hβ,Hγ谱线的激发、电离及分解电离等非弹性碰撞过程;与CH4的碰撞...
关键词：EACVD 平均温度 氢原子 测定 蒙特卡罗方法 振动激发 电子激发 碰撞过程 金刚石薄膜 CH4 发射过程 混合气体 弹性碰撞 动量传输 相对强度 实时监测 工艺条件 有效控制 非弹性 分解 电离 γ谱线 模拟 H2 表面 
电子辅助热丝化学气相沉积金刚石薄膜中氢原子谱线与最佳成膜条件被引量：2
《人工晶体学报》2005年第3期550-552,530,共4页董丽芳 尚勇 王志军 
河北省自然科学基金重点项目(No.502121)
采用蒙特卡罗方法,对以CH4/H2混合气体为源气体的EACVD中的氢原子发射过程进行了模拟。研究了不同实验条件下产生的H、CH3的数目与氢原子谱线相对强度的关系,给出了一种利用氢原子谱线来获得最佳成膜实验条件的方法。本工作对于有效控...
关键词：金刚石薄膜 化学气相沉积 氢原子发射谱线 最佳成膜条件 
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