云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- EACVD

EACVD: 作品数：28被引量：35H指数：3; 导出分析报告; 相关领域：理学电子电信更多>>; 相关作者：董丽芳赵庆勋卢文壮左敦稳詹如娟更多>>; 相关机构：河北大学南京航空航天大学中国科学技术大学吉林大学更多>>; 相关期刊：《真空》《计算物理》《量子电子学报》《机械设计与制造》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金河北省自然科学基金江苏省自然科学基金更多>>

基于PLC的EACVD镀膜设备控制技术研究被引量：1: 《科学技术创新》2019年第25期16-17,共2页梁富华; 本文以EACVD镀膜设备的衬底温度为控制目标,选取西门子300系列PLC为控制核心,并扩展模拟量输入模块SM331采集电信号,和其他模块实现数字量输入/输出和模拟量输出,完成一套温控系统的设计,研究了PID控制与模糊控制在PLC中的实现技术,并基...; 关键词：PLC 模糊控制 PID控制温度控制

EACVD一体化系统衬底温度控制研究: 《现代制造工程》2014年第10期114-117,共4页刘利宏; 以电子辅助热丝化学气相沉积(Electron-assisted Chemical Vapor Deposition,EACVD)一体化系统为研究对象,根据金刚石沉积过程中对衬底温度的要求,设计了模糊PID衬底温度控制系统。使用结果表明:该系统对化学气相沉积(CVD)金刚石的衬底...; 关键词：电子辅助热丝化学气相沉积金刚石膜模糊-线性控制器衬底温度场

EACVD摆动衬底空间流场有限元模拟研究: 《人工晶体学报》2010年第1期251-256,共6页王鸿翔左敦稳卢文壮徐峰陈拥军; 国家自然科学基金(No.50605032);江苏省自然科学基金(BK2007193); 根据EACVD系统的实际几何特点和工艺参数建立了该系统的三维流场有限元模型,研究了衬底温度及摆动周期、热丝参数、进气口参数对衬底表面流场均匀性的影响。结果表明:衬底低速摆动情况下摆动周期的变化对衬底表面流场的分布没有影响,衬...; 关键词：EACVD 金刚石膜流场有限元模拟

EACVD小型化系统摆动衬底设计及温度场仿真研究被引量：4: 《中国机械工程》2009年第5期580-584,共5页王鸿翔左敦稳卢文壮林欢庆; 国家自然科学基金资助项目(50605032);江苏省自然科学基金资助项目(BK2007193); 对传统的电子辅助化学气相沉积(EACVD)系统连续转动衬底进行改进,设计了无急回特性的曲柄摇杆机构摆动衬底,解决了原衬底结构复杂,只能单点测温,以及衬底冷却水渗漏等问题;对摆动衬底的温度场进行仿真计算,分析了不同摆动参数对衬底温...; 关键词：电子辅助化学气相沉积(EACVD)小型化系统摆动衬底无急回特性温度场

EACVD金刚石膜沉积设备衬底温度的测量: 《机械制造与自动化》2008年第5期30-32,共3页钟磊卢文壮左敦稳林欢庆; 国家自然科学基金资助项目(50605032);江苏省自然科学基金资助项目(BK2006189); 为了完善金刚石膜生长工艺,对衬底温度进行测量和控制,采用基于C8051F020单片机的热电偶多区域测量系统来收集EACVD设备的衬底温度。对测温的机械机构、电路方案及软件流程进行了详细的设计。经过验证该系统测温准确,效果良好。; 关键词：化学气相沉积法衬底温度热电偶

EACVD金刚石膜热丝温度的单片机测控: 《真空》2006年第4期29-31,共3页褚向前朱武陈长琦; 在EACVD金刚石膜生长过程中,衬底温度、热丝温度、热丝电流和气源流量等是其重要的工艺参数。鉴于手动控制的不精确,采用了单片机M SP 430控制热丝温度,对其他工艺参数进行了监测。介绍了计算机测控系统硬件组成和软件实现。采用模糊P I...; 关键词：EACVD 热丝温度单片机MSP430 测控

Nanocrystalline Diamond Films Deposited by Electron Assisted Hot Filament Chemical Vapor Deposition: 《Journal of Rare Earths》2006年第z1期107-110,共4页Wu Nanchun Xia Yiben Tan Shouhong Wang Linjun; Project supported by the National Natural Science Foundation of China (60277024); Nanocrystalline diamond films were deposited on polished Si wafer surface with electron assisted hot filament chemical vapor deposition at 1 kPa gas pressure, the deposited films were characterized and observed by Ram...; 关键词：NANOCRYSTALLINE DIAMOND film surface ROUGHNESS RESISTIVITY EACVD

Si/Nanocrystalline Diamond Film Heterojunction Diodes Preparation: 《Journal of Rare Earths》2006年第z1期45-48,共4页Wu Nanchun Xia Yiben Tan Shouhong Wang Linjun Cui Jiangtao; Project supported by the National Natural Science Foundation of China (60277024); With electron assisted hot filament chemical vapor deposition technology, nanocrystalline diamond films were deposited on polished n-(100)Si wafer surface. The deposited films were characterized and observed by Raman ...; 关键词：NANOCRYSTALLINE DIAMOND film p-n HETEROJUNCTION DIODE RECTIFICATION characterization EACVD

EACVD中的H_α谱线与最佳生长条件被引量：1: 《光谱学与光谱分析》2005年第10期1545-1547,共3页董丽芳王志军尚勇; 河北省自然科学基金(502121)项目资助; 采用蒙特卡罗方法,模拟了CH4/H2混合气体为源气体的EACVD中的氢原子发射过程。考虑了电子与H2的弹性碰撞及振动激发、分解、电子激发、相应于Hα,Hβ,Hγ谱线的激发、电离及分解电离等非弹性碰撞过程;与CH4的碰撞考虑了弹性动量传输及...; 关键词：化学气相沉积氢原子发射谱线最佳实验条件

H_2/CH_4/H_2S/Ar气氛合成n型金刚石薄膜过程中硫分布的数值模拟: 《河北大学学报（自然科学版）》2005年第4期369-372,398,共5页南景宇赵庆勋乔晓东闫正刘保亭张靖; 河北省自然科学基金资助项目(503130); 本工作采用Monte Carlo方法,根据辉光放电理论,对以H2S为掺杂源气体采用EACVD技术合成n型硫掺杂的金刚石薄膜的动力学过程进行了模拟.得出不同气压、偏压情况下n型硫掺杂的金刚石薄膜的动力学过程中掺杂元素S和S+粒子数分布,计算结果对...; 关键词：Monte CARLO方法金刚石薄膜 N型掺杂 EACVD

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