天津市自然科学基金(013602111)

作品数：11被引量：10H指数：2
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相关期刊：《仪器仪表学报》《压电与声光》《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》《微纳电子技术》更多>>
相关主题：角度传感器AFM电光采样杨氏弹性模量分析方法更多>>
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脉冲时间对AFM阳极诱导氧化加工的影响被引量：1
《纳米技术与精密工程》2006年第1期79-82,共4页李敏 刘庆纲 匡登峰 郭维廉 张世林 张珊 胡小唐 
教育部天津大学南开大学科技合作项目;天津市自然科学基金资助项目(013602111).
通过改变AFM阳极诱导氧化加工点结构时的偏压和脉冲时间,发现氧化点高度和宽度与所施加偏压呈对数关系,并且发现氧化点高度与宽度与脉冲时间呈指数关系．同时,在环境温度和氧气浓度保持不变的条件下通过改变加工中的相对大气湿度,研究...
关键词：AFM阳极氧化 脉冲时间 偏压 
大气湿度对AFM针尖氧化加工金属Ti膜的影响被引量：3
《压电与声光》2004年第3期234-236,共3页匡登峰 刘庆纲 郭维廉 张世林 胡小唐 
教育部天津大学南开大学科技合作资助项目;天津市自然科学基金资助项目(013602111)
AFM针尖诱导氧化加工的Ti纳米氧化线,是基于Ti膜-半导体纳米器件的基础,由大气湿度决定的Ti膜表面水吸附层的厚度,对控制阳极诱导氧化加工的结果起重要作用。通过大量实验研究了大气湿度对Ti氧化线高度、宽度和纵横比的影响,结果表明进...
关键词：AFM针尖诱导阳极氧化 Ti氧化线 大气湿度 
纳米标准物及长时稳定性
《压电与声光》2004年第2期161-163,共3页刘庆纲 李源 李敏 李艳宁 胡小唐 
天津市自然基金项目(013602111);教育部天津大学南开大学科技合作项目
纳米级尺度实物标准是纳米尺寸传递体系中的关键环节,也是评价和校正压电驱动等微扫描微定位装置的重要工具。该文针对一维台阶实物标准的材料选择、加工和评价方法等方面进行研究,并对已试制的纳米标准台阶进行了长时稳定性的跟踪研究...
关键词：纳米标准物 评价方法 SPM 稳定性 
相对湿度对AFM针尖阳极氧化金属薄膜的影响
《微纳电子技术》2003年第7期142-144,共3页匡登峰 刘庆纲 郭维廉 张世林 胡小唐 
教育部天津大学南开大学科技合作项目;天津市自然科学基金项目 (0 13 60 2 111)
AFM针尖诱导氧化加工的金属 (Ti、Al、Nb等 )纳米氧化线是实现金属 半导体纳米器件的基础 ,由大气湿度决定的金属膜表面水吸附层的厚度 ,对控制阳极诱导氧化加工的结果起重要作用。实验研究了大气湿度对Ti氧化线高度、宽度和纵横比的影...
关键词：相对湿度 AFM 阳极氧化 金属薄膜 金属氧化线 金属-半导体纳米器件 
误差因素对微角度传感器性能的影响被引量：1
《光电子．激光》2003年第4期355-358,362,共5页刘庆纲 李志刚 李德春 胡小唐 
天津市自然科学基金资助项目(013602111);教育部南开大学天津大学科技合作资助项目
叙述了一种基于光学内反射的非接触式角度传感器的设计原理和特点,分析了该角度传感器的关键器件临界角棱镜的参数设计,着重讨论了临界角棱镜的加工误差对系统特性的影响。通过计算和实验发现,通过控制临界角棱镜的入射中心角误差不大于...
关键词：光学内反射 角度传感器 临界角棱镜 非线性误差 加工误差 
材料表面硬度及形状的AFM分析方法被引量：2
《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》2003年第2期174-177,共4页刘庆纲 李德春 王战 胡晓东 胡小唐 清野慧 
天津市自然科学基金资助项目(013602111);教育部天津大学南开大学科技合作项目.
利用AFM测量软性材料如聚合体、生物物质时,AFM探针对被测软性材料表面施加一定的力而引起材料表面产生变形.通过测力 位移曲线,基于AFM测力 压痕曲线分析,探讨了减轻该影响并获得高精度软性材料表面形状测量结果的方法,进而计算材料表...
关键词：测力-压痕曲线 原子力显微镜 杨氏弹性模量 微硬度 
临界角传感器在导轨性能评价中的应用被引量：1
《仪器仪表学报》2003年第z1期178-180,共3页李德春 刘庆纲 胡小鹏 胡小唐 
天津市自然科学基金资助项目 ( 0 13 60 2 111);教育部天津大学南开大学科技合作项目
文中叙述了一种基于光学内反射效应的角度传感器的设计原理和特点。理论分析和实验表明 ,该传感器具有极高的分辨能力。并应用此传感器对导轨 /扫描平台滑块运动过程中的摆动角度进行了测量 ,提出了一种导轨性能的评价方法。
关键词：角度传感器 内反射 临界角 导轨性能 
利用碳纳米管探针进行纳米加工的研究进展
《仪器仪表学报》2003年第z1期559-562,共4页胡小鹏 刘庆纲 匡登峰 李源 胡小唐 
教育部天津大学南开大学科技合作项目;天津市自然科学基金项目 ( 0 13 60 2 111)资助
碳纳米管具有小的半径、高的长径比、高的弹性模量和弯曲强度和导电特性 ,这使得它很适合做原子力显微镜探针进行高分辨率测试和纳米级加工 ,并使加工的纳米点、线和复杂图形在加工过程中保持比较一致的形状和高的纵横比。文中提出了一...
关键词：纳米加工 碳纳米管 HF-CVD 
用于纳米光电子器件加工的纳米金属膜的制作被引量：1
《仪器仪表学报》2003年第z1期563-565,共3页王战 刘庆纲 匡登峰 米文博 白海力 胡小唐 
教育部天津大学南开大学共建项目;天津市自然基金项目 ( 0 13 60 2 111)
在利用 Top- Down方式加工纳米电子器件和纳米光电子器件的研究中 ,纳米薄膜的制作和加工技术是一个关键环节。采用金属 Ti- SOS结构的纳米器件 ,Ti膜的厚度和成膜质量成为影响基于 AFM针尖诱导氧化加工 Ti纳米氧化线 /电路图形结构质...
关键词：纳米器件 AFM针尖诱导氧化 Ti膜 
超高速电光采样技术被引量：1
《仪器仪表学报》2003年第z1期88-90,94,共4页匡登峰 刘庆纲 胡小唐 
教育部天津大学南开大学共建项目;天津市自然基金项目 ( 0 13 60 2 111)
详细论述了超高速电光采样技术的原理和实现方法 ,提出了不断改善电光采样的方法 。
关键词：超高速器件 电光采样 
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