国家科技重大专项(2011ZX02507)

作品数：10被引量：10H指数：2
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相关作者：王玮冰李伟华周再发何鑫彭城更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所东南大学中北大学江苏物联网研究发展中心更多>>
相关期刊：《计算机技术与发展》《微电子学》《微纳电子技术》《仪表技术与传感器》更多>>
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等离子体刻蚀工艺模型研究进展被引量：3
《微电子学》2015年第1期94-99,共6页于骁 周再发 李伟华 黄庆安 
国家科技重大专项(2011ZX02507)
综述了等离子体刻蚀模型的研究进展,包括粒子方法模型和动力学模型的现状与进展。粒子方法模型主要介绍蒙特卡洛模型和结合蒙特卡洛模型的混合模型,动力学模型主要介绍反应位点模型、分子动力学模型和混合层动力学模型。在每种模型中,...
关键词：等离子体刻蚀 刻蚀模型 粒子方法 动力学方法 工艺模拟 
利用伪随机斩波技术的微弱MEMS信号检测电路
《仪表技术与传感器》2014年第2期87-89,共3页何鑫 王玮冰 祖秋艳 宋冬雪 孙业超 
国家科技重大专项(2011ZX02507)
作为一种提高信号增益和降低电路噪声失调的技术手段,斩波放大技术能够比较理想地降低失调和噪声,但是在调制解调过程中,由于开关尖峰和电荷注入效应的影响,调制频率附近的纹波即残余失调和残余的波动幅度仍然造成干扰。为了进一步减小...
关键词：斩波放大 伪随机频率 残余失调 MEMS 
MEMS表面加工中材料层厚度电学测试结构
《南京信息工程大学学报（自然科学版）》2013年第6期522-526,共5页钱晓霞 李伟华 
国家科技重大专项(2011ZX02507)
微机电系统(MEMS)表面加工工艺中的材料层厚度是决定MEMS器件性能的重要参数之一,如多晶硅结构层厚度和牺牲层厚度,直接决定了MEMS器件的机构性能和结构的纵向移动范围,因此对材料层厚度进行测试和工艺控制监视是极具意义的.当前的材料...
关键词：微电机系统 表面加工 材料层 电测量 
一种基于无线传感器网络的车间多参数监测系统被引量：3
《传感器与微系统》2013年第10期96-98,109,共4页许家栋 张斌珍 王玮冰 殷亚飞 应俏东 
国家科技重大专项基金资助项目(2011ZX02507)
针对现有监测系统存在的功能单一、灵活性不强等不足,基于无线传感器网络,以STM32F103微处理器为计算处理核心,设计了一种组网灵活的多参数车间状态监测系统。该系统能够对车间内的环境温度、湿度、气压和设备震动、运动、倾斜等参数进...
关键词：无线传感器网络 多参数 数据采集 低功耗 
MEMS薄膜塞贝克系数的测试结构研究进展被引量：1
《微纳电子技术》2013年第8期494-500,共7页张晓强 李伟华 周再发 
国家科技重大专项课题资助项目(2011ZX02507)
综述了微电子机械系统(MEMS)薄膜塞贝克系数的测试结构。首先介绍了塞贝克效应在MEMS领域的广泛应用,简述了测试MEMS薄膜塞贝克系数的目的和意义。然后详细列举了四类典型的MEMS薄膜塞贝克系数的测试结构,包括平面结构、纵向结构、微电...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 薄膜 塞贝克系数 测试结构 在线测试 
MEMS薄膜泊松比测试方法的研究进展被引量：1
《微纳电子技术》2013年第6期391-396,共6页王雷 李伟华 周再发 
国家重大科技专项资助项目(2011ZX02507)
综述了MEMS薄膜泊松比的测试方法,简述了测试薄膜泊松比的目的和意义。结合测试环境与测试手段详细地列举了几类常用的测试方法:拉伸法、纳米压痕法、鼓膜法、谐振法、弯曲法和扭转变形法,介绍了各种测试方法的发展过程,并分析了各种测...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 薄膜 泊松比 在线测试 测试方法 
电能计量芯片Sigma-Delta ADC降采样滤波器设计
《计算机技术与发展》2013年第1期181-184,共4页秦龙 陈光化 刘晶晶 曾为民 
2011年国家科技重大专项(2011ZX02507)
Sigma-Delta ADC精度高,是电能计量芯片的首选ADC。文中设计了一个应用于电能计量芯片中∑-△ADC的数字抽取滤波器,将∑-△调制器输出的串行比特流信号转换成多位并行输出。该抽取滤波器采样多级抽取结构,由级联积分梳状滤波器(Cascaded...
关键词：Sigma—Delta ADC 降采样滤波器 级联积分梳状滤波器 半带滤波器 补偿滤波器 
基于CMOS数字工艺的低噪声传感器接口电路
《微电子学》2012年第5期605-608,共4页黄卓磊 王玮冰 彭城 祖秋艳 陈大鹏 
国家科技重大专项(2011ZX02507)
设计了一种应用于超低频率的低噪声MEMS传感器接口电路。该电路利用斩波技术降低1/f噪声,并利用MOS电容替代模拟无源元件等方法,使之与数字工艺相兼容。采用CSMCCMOS 0.5μm 2P3MCMOS工艺,实现了增益为36dB的读出电路。该电路的等效输...
关键词：读出电路 斩波技术 CMOS数字工艺 
一种红外焦平面读出电路数字模块的设计被引量：1
《微电子学》2012年第5期684-687,共4页彭城 王玮冰 黄卓磊 陈大鹏 
国家科技重大专项资助项目(2011ZX02507)
介绍了一种红外焦平面读出电路数字模块的设计与实现。该模块可以提供系统正常工作所需的时序,包括行选列选、采样保持等。此外,该模块还可以进行输出模式的切换,实现多路输出,提高输出帧频。介绍了多路输出的Verilog算法、电路的整体...
关键词：红外焦平面 读出电路 多路输出 
针对不同类型热敏MEMS器件的高性能前置放大器设计被引量：1
《传感器与微系统》2012年第9期75-78,82,共5页宋冬雪 薛晨阳 王玮冰 何鑫 孟如男 
国家科技重大专项基金资助项目(2011ZX02507)
针对不同应用的热敏MEMS器件的界面电路设计高性能放大器,提出建立与CMOS工艺兼容的热敏MEMS器件前置放大器的IP库的概念。通过提取相关热敏器件的典型参数,设计低功耗、低噪声且分别符合精度和速度等特殊要求的前置放大器,对3种不同结...
关键词：热敏MEMS器件 前置放大器 CMOS 
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