哈尔滨市科技创新人才研究专项资金(2006RFXXS012)

作品数：7被引量：29H指数：4
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脉冲射频/40kV高压直接耦合等离子体离子注入电源系统研制
《真空科学与技术学报》2011年第3期357-361,共5页巩春志 田修波 朱宗涛 杨士勤 
国家自然科学基金(No.10975041;10905013);哈尔滨市科技创新人才研究专项基金(2006RFXXS012)
研制的用于等离子体浸没离子注入（PIII）的电源系统采用高压隔离与高频滤波技术,将40 kV高压脉冲电源与13.56 MHz射频电源直接耦合,由单一输出电缆连接到实验靶台上,通过射频与高压脉冲的时序控制,实现了40 kV的高压脉冲与脉冲射频交...
关键词：脉冲射频 高压脉冲 直接耦合 等离子体离子注入 
约束阴极微弧氧化放电特性研究被引量：8
《物理学报》2010年第8期5613-5619,共7页张欣盟 田修波 巩春志 杨士勤 
国家自然科学基金(批准号:50773015);教育部新世纪优秀人才支持计划(批注号:NCET-05-0349);哈尔滨市科技创新人才研究专项基金(批注号:2006RFXXS012)资助的课题~~
利用Na2SiO3-KOH溶液体系,以工业纯铝为基体材料对约束阴极微弧氧化的放电特性进行了研究.考察了恒压模式下电极距离对氧化电流、电位分布及起弧电压的影响,并对电极距离与微弧氧化电能利用率间的关系进行了分析.结果表明:对于阴阳极等...
关键词：微弧氧化 约束阴极 放电特性 电极间距 
射频功率对筒状聚酯内壁类金刚石薄膜结构与性能的影响研究被引量：5
《真空科学与技术学报》2010年第3期311-315,共5页李景 田雷 田修波 巩春志 杨士勤 
国家自然科学基金(50773015);国家自然科学基金(10905013);新世纪优秀人才支持计划(NCET-05-0349);哈尔滨市科技创新人才研究专项基金(2006RFXXS012)
利用偏压/射频耦合等离子体增强化学气相沉积技术在聚对苯二甲酸乙二醇酯(简称聚酯,PET)筒内壁制备了类金刚石薄膜(DLC)。采用X射线光电子能谱、扫描电子显微镜、三维表面轮廓仪、紫外/可见光分光光度计和气体渗透率测试仪考察了射频功...
关键词：等离子体增强化学气相沉积 类金刚石薄膜 射频功率 气体透过率 
磁控溅射TiN/Cu-Zn纳米多层膜腐蚀和抗菌性能研究被引量：8
《真空科学与技术学报》2010年第1期96-100,共5页韦春贝 巩春志 田修波 杨士勤 
国家自然科学基金(No.50773015);新世纪优秀人才计划;哈尔滨市科技创新人才专项基金(No.2006RFXXS012)
采用双靶磁控溅射的方法在不锈钢表面沉积了TiN／Cu-Zn纳米多层膜，研究了多层结构对膜层耐腐蚀性能和抗菌性能的影响，以及表面腐蚀与抗菌的关系。结果表明，Cu-Zn层比较薄时，膜层的耐腐蚀性能比较好，随着Cu-Zn层厚度的增加耐腐蚀性...
关键词：磁控溅射 TiN/Cu-Zn多层膜 腐蚀 抗菌性能 
氧等离子体注入对PET亲水性及抗菌性能影响被引量：2
《材料科学与工艺》2009年第6期820-825,共6页郭芳威 田修波 杨士勤 
新世纪优秀人才支持计划;哈尔滨市科技创新人才研究专项基金(2006RFXXS012)
利用氧等离子体浸没离子注入技术对聚合物材料(PET)进行表面改性后接枝有机抗菌剂赋予PET薄膜抗菌性能.试验结果表明:PET薄膜表面接枝上的抗菌剂在改性表面呈针状分布.经氧等离子体处理后的PET薄膜表面水接触角从78°降低到33°.红外光...
关键词：氧等离子体浸没离子注入 聚酯薄膜 接枝 抗菌 
利用射频与高压直接耦合等离子体注入进行不锈钢表面改性被引量：1
《微细加工技术》2008年第4期14-18,共5页巩春志 田修波 杨士勤 
国家自然科学基金资助项目(10775036;50773015);哈尔滨市科技创新人才研究专项基金资助项目(2006RFXXS012);新世纪优秀人才支持计划项目
介绍了一种新的等离子体离子注入在不锈钢表面改性上的应用。将高压脉冲和射频脉冲直接耦合到工件上,不需外部等离子体源,利用工件自身加射频产生等离子体,随后施加高压对不锈钢表面进行了注氮处理。XPS分析显示,在基体表面有氮元素存在...
关键词：射频 高压 耦合 等离子体离子注入 不锈钢 
10kV等离子体表面改性高压脉冲电源被引量：5
《强激光与粒子束》2007年第11期1927-1930,共4页巩春志 田修波 曹珍恩 朱宗涛 杨士勤 
新世纪优秀人才支持计划;哈尔滨市科技创新人才研究专项基金资助课题(2006RFXXS012);国家自然科学基金资助课题(50373007;10575025)
研制的10kV高压脉冲电源采用脉冲单元叠加技术，将12组相互独立的各脉冲单元模块串联起来，采用同步驱动技术，实现了10kV的高压脉冲输出。可通过增减脉冲单元的数量，满足不同输出电压的需要，实现了模块化设计。该电源的性能指标为：...
关键词：等离子体表面改性 高压脉冲电源 脉冲单元模块 串联 
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