国家自然科学基金(60927005)

作品数:17被引量:33H指数:4
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相关作者:樊尚春邢维巍陶泽辉王炜明谷姗姗更多>>
相关机构:北京航空航天大学中北大学北京航空工程技术研究中心更多>>
相关期刊:《仪器仪表学报》《传感器与微系统》《北京航空航天大学学报》《计测技术》更多>>
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微谐振式压力传感器的差动输出设计与建模被引量:1
《计测技术》2014年第3期11-14,65,共5页杨朔 邢维巍 
国家自然科学基金资助项目(60927005)
提出一种应用于微谐振式压力传感器的敏感结构,其一次敏感元件为矩形硅膜片,膜片的上表面架设有三个两端固支的硅谐振梁,间接感受压力作用,根据膜片上不同位置设置的硅谐振梁的固有频率对于压力变化有不同的变化规律的特点,实现对被测...
关键词:硅微结构 谐振梁 压力传感器 理论模型 
微机械谐振子单端口电容检测方法研究
《计测技术》2013年第6期20-25,共6页邢维巍 谷姗姗 王炜明 章建军 樊尚春 
国家自然科学基金资助项目(60927005)
针对微机械谐振子电容信号难以检测的问题,本文采用基于频域分离的单端口静电激励/电容检测方案,并配合以隔离变压器应用技术。这种检测方式时域连续,除此,单端口检测既简化了谐振器结构,又避免了双端口检测中激励信号与检测信号存在耦...
关键词:微机械谐振子 单端口静电激励 电容检测 频域分离 隔离变压器 
谐振式微传感器同步专用信号源设计被引量:2
《计测技术》2013年第5期29-32,共4页邢维巍 王炜明 谷姗姗 樊尚春 
国家自然科学基金资助项目(60927005)
为满足谐振式微传感器对信号源同步性的要求,本文提出了一种对数字频率信号进行同步输出的方案,使用AD9852提供准确的数字频率输出信号作为FPGA的输入,由FPGA实现对信号的二次分频及同步输出。最后给出了Modelsim仿真结果并通过电路...
关键词:谐振式微传感器 同步信号源 AD9852 FPGA 
谐振式加速度计模型分析与仿真被引量:6
《传感器与微系统》2013年第6期33-35,46,共4页李晶 樊尚春 
国家自然科学基金资助项目(60927005)
为了设计高灵敏度的谐振式加速度计,从能量耗散的角度对其进行了力学建模分析,通过理论分析和实验仿真说明:传感器参数的选择对系统能量耗散会产生极大的影响。实验证明:当外部结构刚度远远大于内部结构刚度时,可以实现加速度计外部结...
关键词:谐振式加速度计 能量耗散 Q值 
Dynamic stability of parametrically-excited linear resonant beams under periodic axial force被引量:2
《Chinese Physics B》2012年第11期94-101,共8页李晶 樊尚春 李艳 郭占社 
Project supported by the National Natural Science Foundation of China (Grant No. 60927005);the 2012 Innovation Foundation of BUAA for PhD Graduates;the Fundamental Research Funds for the Central Universities,China (Grant No. YWF-10-01-A17)
The parametric dynamic stability of resonant beams with various parameters under periodic axial force is studied. It is assumed that the theoretical formulations are based on Euler-Bernoulli beam theory. The governing...
关键词:resonant beams dynamic stability parametrically excitation periodic axial force 
硅微谐振式压力传感器中的单端口静电激励-电容检测方法研究被引量:1
《计测技术》2012年第S1期35-38,共4页邢维巍 彭振江 樊尚春 
国家自然科学基金资肋项目(60804062);国家自然科学基金资助项目(60927005)
采用静电激励-电容检测方式的硅微谐振式压力传感器具有温度稳定性好、灵敏度高、功耗低等优点,但同频耦合干扰是限制电容检测精度的主要因素。采用频域分离法可有效地克服同频耦合干扰带来的影响。在研究基于频域分离法的单端口静电激...
关键词:静电激励/电容检测 硅微谐振式压力传感器 同频耦合干扰 频域分离法 
MEMS压力传感器原理及其应用被引量:6
《计测技术》2012年第S1期108-110,共3页曹乐 樊尚春 邢维巍 
国家自然科学基金资助项目(60927005)
MEMS压力传感器是基于MEMS技术的小型化、低功耗、低成本、高准确度的压力测量器件,广泛应用于各行业领域。本文首先介绍了压阻式、电容式和谐振式压力传感器的工作原理,然后研究了三种压力传感器的关键技术,并针对应用做了简要分析,最...
关键词:MEMS 压力传感器 键技术 工作原理 应用研究 
Dynamic characteristics of resonant gyroscopes study based on the Mathieu equation approximate solution被引量:2
《Chinese Physics B》2012年第5期58-65,共8页樊尚春 李艳 郭占社 李晶 庄海涵 
Project supported by the National Natural Science Foundation of China (Grant No. 60927005);the Innovation Foundation of BUAA for Ph. D. Graduates,China;the Fundamental Research Funds for the Central Universities,China (Grant No. YWF-10-01-A17)
Dynamic characteristics of the resonant gyroscope are studied based on the Mathieu equation approximate solution in this paper.The Mathieu equation is used to analyze the parametric resonant characteristics and the ap...
关键词:resonant gyroscopes dynamic characteristics Mathieu equation approximate solution 
谐振式硅微传感器闭环系统动态特性影响因素被引量:1
《计测技术》2012年第1期10-14,共5页邢维巍 冯晓妍 樊尚春 汤章阳 
国家自然科学基金资助项目(60927005)
动态特性是传感器的一个重要的性能指标。本文分析了基于幅频特性的谐振式硅微压力传感器闭环系统的动态特性及其影响因素,并进行了相应的实验研究。由基于幅频特性的闭环系统内部控制过程得到影响闭环系统动态特性的因素有三个:谐振器...
关键词:谐振式 传感器 闭环系统 动态特性 
一种基于谐振音叉的新型差动式硅微加速度计设计与分析被引量:5
《传感技术学报》2012年第1期20-24,共5页樊尚春 孙苗苗 李成 
国家自然科学基金项目(60927005)
为提高谐振式加速度计灵敏度、稳定性以及减小加速度计体积,本文提出一种结构新颖的谐振式硅微加速度计。采用一级微杠杆机构对质量块惯性力进行放大,通过一对差动布置的双端固支音叉谐振器的固有频率变化检测惯性力,从而实现对加速度...
关键词:谐振式微加速度计 双端固支音叉谐振器 微杠杆结构 有限元仿真 
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