国家高技术研究发展计划(2009AA04Z328)

作品数:8被引量:18H指数:3
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相关作者:何秀丽李建平高晓光贾建赵玲更多>>
相关机构:中国科学院电子学研究所中国科学院大学更多>>
相关期刊:《压电与声光》《仪表技术与传感器》《传感器与微系统》《功能材料》更多>>
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基于PVDF压电膜片的光声探测器制备及应用
《压电与声光》2015年第6期973-977,共5页何国明 何秀丽 高晓光 贾建 李建平 
国家"八六三"计划基金资助项目(2009AA04Z328)
非共振光声红外气体检测系统因其结构简单,成本低和检测灵敏度高的特点,具有较好的应用前景。该文提出了以聚偏氟乙烯(PVDF)压电膜片为微压敏感元件的非共振光声探测器,利用ANSYS对压电膜片进行了有限元分析,设计制备了双膜片结构微压...
关键词:非共振光声 聚偏氟乙烯(PVDF)压电膜片 有限元分析 CO2气体测试 
基于超薄钽酸锂晶片及炭黑红外吸收层的热释电探测器被引量:3
《纳米技术与精密工程》2014年第1期44-50,共7页赵玲 赵燕 何秀丽 贾建 高晓光 李建平 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2009AA04Z328);国家自然科学基金资助项目(60871055)
基于钽酸锂(LiTaO3)的热释电探测器具有灵敏度高、热释电系数大、响应范围宽等优点而被广泛应用于非分光红外气体检测.在nTaO3,热释电探测器制备过程中,采用预置沟槽方法制备出约20μm厚的超薄LiTaO3晶片,该方法既能控制晶片厚度...
关键词:热释电 钽酸锂 炭黑红外吸收层 气体检测 
基于谐波分析的NDIR气体检测系统被引量:7
《仪表技术与传感器》2014年第2期50-53,共4页赵玲 何秀丽 贾建 高晓光 李建平 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2009AA04Z328)
针对传统非分光红外(NDIR)气体检测系统智能化程度低和信号分析能力差的问题,采用虚拟仪器技术构建基于快速傅里叶变换谐波分析的新型红外气体检测系统.系统以单板机PCM3353为核心,选用MEMS电调制光源和热释电红外探测器,采用单板机...
关键词:红外气体检测 谐波分析 快速傅里叶变换 朗伯-比尔定律 热释电 
MEMS热膜式微流量传感器被引量:3
《微纳电子技术》2013年第7期434-441,共8页侍艳华 何秀丽 高晓光 贾建 李建平 
国家高技术研究发展计划资助项目(2009AA04Z328)
针对气体红外吸收的气动探测应用,设计并制备了一种基于微电子机械系统(MEMS)技术的热膜式微流量传感器。研究了热敏电阻间距以及工作温度对传感器灵敏度的影响。当热敏电阻间距为200μm、工作温度为150℃以及气体流量在-5~5 mL/min时...
关键词:微电子机械系统(MEMS) 微流量传感器 热膜式 温度补偿 Pt薄膜电阻 
用于光气动探测的微流量传感器被引量:1
《仪表技术与传感器》2013年第3期1-3,6,共4页赵永翠 何秀丽 赵玲 李建平 高晓光 贾建 
国家高技术研究发展计划资助项目(2009AA04Z328)
针对气体红外吸收的气动探测应用,设计了基于MEMS技术的Sandwich结构硅基微流量传感器。在1 mm2面积内制备了阻值约1.6 kΩ的蛇形Pt薄膜作为加热及测温电阻,其电阻-温度系数(TCR)约2.2×10-3/℃.Pt薄膜采用4μm厚氮化硅悬梁作支撑,在12...
关键词:非分光红外 光气动探测 微流量传感器 
聚偏氟乙烯电纺纤维膜的制备及其热释电性能研究被引量:1
《功能材料》2012年第19期2680-2684,共5页邓凌越 赵燕 赵玲 何秀丽 李建平 
国家自然科学基金资助项目(60871055);国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2009AA04Z328)
β晶相的聚偏氟乙烯(PVDF)由于具有强压电和热释电特性,被广泛应用在能量收集、红外探测等领域。采用静电纺丝技术制备PVDF纤维,通过SEM以及XRD表征,研究了溶剂组成、溶液浓度和纺丝液供给速度等纺丝参数对PVDF纤维膜形貌和β晶相含量...
关键词:电纺 聚偏氟乙烯 β晶相 热释电 
非共振光声红外气体传感器结构参量分析被引量:2
《仪表技术与传感器》2012年第8期1-3,21,共4页管人宝 何秀丽 高晓光 赵玲 李建平 贾建 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2009AA04Z328)
非共振光声红外气体传感器在气体检测领域有很好的应用前景。对基于MEMS红外光源的非共振光声红外气体传感器进行了一维模拟,分析了光声腔及红外吸收光路结构对传感器性能的影响;计算了吸收腔气体压强变化量与吸收腔长度及调制频率的关...
关键词:非共振光声 红外气体传感器 MEMS光源 吸收效率 
非共振光声CO_2气体检测系统被引量:2
《传感器与微系统》2012年第2期96-98,101,共4页管人宝 何秀丽 高晓光 赵玲 李建平 贾建 
国家高技术研究发展计划资助项目(2009AA04Z328)
非共振光声红外气体检测系统结构简单、成本低,有很好的应用前景。设计和制备了基于MEMS电调制光源、驻极体麦克风和单腔室及双腔室非共振光声探测器的气体检测系统。根据系统的频率响应特性选择了最佳的光源调制频率,并对不同体积分数...
关键词:非共振光声 非分散红外 CO2气体检测 
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