安徽省高校省级自然科学研究项目(KJ2012Z272)

作品数：4被引量：5H指数：1
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醇/水混合团簇的多光子电离质谱及从头算研究
《量子电子学报》2013年第3期280-283,共4页许明坤 王向贤 余建立 叶松 
安徽省高等学校省级自然科学研究项目资助(KJ2012Z272)
利用多光子电离技术和飞行时间质谱仪实验研究了醇/水混合团簇的光电离质谱。在脉冲激光波长为355 nm条件下,观测到以质子化(ROH)n(H_2O)H^+混合团簇离子和(ROH)_nH^+团簇离子为主的电离产物。醇水混合团簇电离后团簇离子发生内部质子...
关键词：光谱学 质子化团簇 多光子电离 飞行时间质谱 
微晶硅薄膜太阳电池的模拟计算
《巢湖学院学报》2012年第6期38-42,共5页许明坤 王向贤 
安徽省高等学校省级自然科学研究项目(项目编号:KJ2012Z272)
本文运用AMPS-1D软件模拟仿真了P型微晶硅窗口层材料对pin型太阳电池性能的影响。结果表明,太阳电池的性能随窗口层材料带隙的变化而变化。当带隙Eμ=1.6eV时电池性能最佳,获得了7.309%的高效率。
关键词：仿真 带隙 微晶硅 太阳电池 
亚波长分辨光刻介质特性研究被引量：1
《功能材料》2012年第9期1177-1180,共4页王向贤 石洪菲 张斗国 明海 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2011CB301802;2012CB922000);国家自然科学基金资助项目(61177053;11004182);安徽省高等学校省级自然科学研究资助项目(KJ2012Z272)
利用365nm波段光源、扫描电镜、台阶仪、原子力显微镜和椭偏仪,研究了亚波长分辨光刻介质X AR-N 7700/30型光刻胶的显影速度、对比度、薄膜厚度和折射率等化学、物理特性参数。光刻胶未曝光部分显影速度为23.15nm/s,曝光部分为1.85nm/s...
关键词：光刻胶 显影速度 对比度 膜厚 折射率 
均匀辐照365nm LED光源设计及其在光刻中的应用被引量：5
《中国激光》2012年第4期214-217,共4页王向贤 汪波 傅强 陈漪恺 胡继刚 张斗国 明海 
国家973计划(2011CB301802);国家自然科学基金(61177053;11004182);安徽省自然科学基金(11040606Q26);安徽省高等学校省级自然科学研究项目(KJ2012Z272);中国科学技术大学青年创新基金资助课题
优化设计了365nm紫外LED点光源阵列、聚焦透镜组的排布,实现了高强度均匀辐照的LED面光源。利用优化后的365nm LED面光源进行了接触式曝光光刻实验,所得刻写图形与掩模板图形一致。提出的基于365nm紫外LED阵列均匀辐照面光源的光刻方法...
关键词：光学制造 紫外发光二极管 阵列 光刻 
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