国家自然科学基金(50875179)

作品数：8被引量：11H指数：2
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相关作者：吕玉山王军邢雪岭张田段敏更多>>
相关机构：沈阳理工大学珠海格力电器股份有限公司东北大学更多>>
相关期刊：《Defence Technology（防务技术）》《金刚石与磨料磨具工程》《兵工学报》《润滑与密封》更多>>
相关主题：化学机械抛光叶序WINKLER地基单晶硅片抛光垫更多>>
相关领域：机械工程电子电信金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>
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An Investigation on a Tin Fixed Abrasive Polishing Pad with Phyllotactic Pattern for Polishing Wafer被引量：2
《Defence Technology（防务技术）》2012年第3期174-180,共7页吕玉山 刘电飞 寇智慧 
Sponsored by the National Nature Science Foundation of China (50875179)
In order to improve the polishing ability of polishing pads, a kind of polishing pad with the tin fixed abrasive blocks, which are arranged based on the phyllotaxis theory of biology, was designed and fabricated by th...
关键词：machinofature technique and equipment POLISHING polishing pad phyllotactic pattern 
抛光垫提高化学机械抛光接触压强分布均匀性研究被引量：5
《兵工学报》2012年第5期617-622,共6页吕玉山 张辽远 王军 王武刚 
国家自然科学基金项目(50875179)
为了改善单晶硅片化学机械抛光(CMP)接触压强分布的均匀性和实现高平坦化抛光,基于弹性力学的"Winkler地基"理论提出了一个新的CMP接触模型。依据此模型,从葵花籽粒分布的结构特征出发对抛光垫进行了分割,计算分析了分割参数对接触压强...
关键词：机械制造工艺与设备 抛光 单晶硅片 接触压强 葵花籽粒分布 WINKLER地基 
硅片抛光的接触压强分布与宏观形貌创成机理
《东北大学学报（自然科学版）》2011年第8期1173-1177,共5页关学锋 吕玉山 冯连东 
国家自然科学基金资助项目(50875179)
为了获得单晶硅片化学机械抛光过程中的接触压强分布及其对基片平面度的影响规律,从化学机械抛光的实际出发,建立了抛光过程的接触力学模型和数学模型.利用有限元方法对接触压强分布进行了计算和分析,并利用抛光实验对计算结果进行了验...
关键词：化学机械抛光 单晶硅片 接触压强分布 平面度误差 
基于仿生结构锡抛光垫的抛光接触压力分析被引量：1
《中国机械工程》2011年第14期1651-1655,共5页王军 邢雪岭 吕玉山 张辽远 
国家自然科学基金资助项目(50875179)
为了让化学机械抛光中晶片接触表面受力更均匀,基于Winkler地基理论及叶序理论设计了一种锡仿生结构抛光垫,并且建立了抛光的接触力学模型和有限元分析模型。通过对抛光晶片表面接触压力的计算,获得了晶片表面接触压力分布,以及各物理...
关键词：化学机械抛光 WINKLER地基 叶序 晶片 表面形貌 
叶序结构抛光垫表面的抛光液流场分析被引量：4
《润滑与密封》2011年第3期24-29,共6页吕玉山 张田 王军 李楠 段敏 邢雪岭 
国家自然科学基金项目(50875179)
为了解决在化学机械抛光过程中抛光接触区域内抛光液的分布均匀性问题,基于生物学的叶序理论,设计葵花籽粒结构的仿生抛光垫,建立化学机械抛光抛光液流场的运动方程和边界条件,利用流体力学软件(Fluent)对抛光液的流动状态进行仿真,并...
关键词：化学机械抛光 抛光垫 抛光液 流场 叶序分布 
基于叶序仿生抛光垫的化学机械抛光的运动分析被引量：2
《金刚石与磨料磨具工程》2010年第6期13-17,共5页吕玉山 段敏 王军 李楠 张田 邢雪岭 
国家自然科学基金项目:基于一种仿生表面Smart垫的化学机械抛光机理的研究项目编号:No50875179
为了改善化学机械抛光的接触状态和被加工工件的表面形态,基于生物学的叶序理论设计了仿生结构的抛光垫。从单颗磨粒切削理论出发,建立了抛光运动方程和材料去除率分布模型。利用所建立的运动方程和材料去除率分布模型进行了晶片表面材...
关键词：化学机械抛光 仿生垫 材料去除率 叶序 
产品配置领域本体学习方法研究被引量：1
《计算机工程》2009年第15期190-192,共3页邵伟平 郝永平 魏永合 曾鹏飞 
国家自然科学基金资助项目(50875179);辽宁省自然科学基金资助项目(20082047)
针对大多数本体构建工具只支持手工构建,造成本体构建效率极低、工作量大、容易出错、知识的动态及时更新和维护困难等问题,提出一种领域本体自动构建的框架系统,通过对企业已有数据库及相关领域中大量的知识进行本体学习,实现配置领域...
关键词：产品配置 本体学习 概念 关系 
Contact Pressure Intensity Distribution and Its Effects on Workpiece Flatness Error in Plane Polishing with Retaining Ring
《Defence Technology（防务技术）》2009年第1期70-75,共6页吕玉山 王军 张辽远 蔡光起 
Sponsored by the National Nature Science Foundation of China (50875179)
In order to find out the contact pressure intensity distribution and its effects on the workepiece flatness error in plane polishing with retaining ring,the contact model and the boundary conditions are built up based...
关键词：接触压力分布 平面度误差 强度分布 平面抛光 工件 护环 CHEBYSHEV HANKEL变换 
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