国家高技术研究发展计划(2006AA040101)

作品数：23被引量：89H指数：5
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相关作者：梁庭薛晨阳刘岗刘俊张文栋更多>>
相关机构：中北大学中国电子科技集团公司第四十九研究所哈尔滨工程大学电子测试技术国防科技重点实验室更多>>
相关期刊：《工矿自动化》《计测技术》《传感技术学报》《红外与激光工程》更多>>
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影响全天域光轴平行度检测精度因素分析被引量：2
《红外与激光工程》2015年第11期3413-3417,共5页周雷刚 梁庭 高利聪 
国家863重大项目(2006AA040101)
为提高红外甲烷传感器的精度,对气室结构、电路和数据处理进行了优化设计。通过实验和光学仿真对红外气体传感器气室结构进行了重新优化设计,确定了最佳尺寸;采用三级差动放大电路设计滤除噪声;在数据处理的算法上,选用二次插值查表法...
关键词：气体检测 气室结构 查表法 检测误差 
红外传感器的微弱信号检测与处理被引量：9
《仪表技术与传感器》2014年第12期5-6,21,共3页周雷刚 梁庭 高利聪 
国家863重大项目(2006AA040101)
热释电元件输出信号幅值小,不易探测,噪声影响明显,文中对热释电红外传感器进行了噪声分析,掌握了影响系统噪声的特点。选用结型场效应管对信号进行前置低噪声放大,利用双路消噪的原理设计了二级增益可调的放大滤波电路。对处理前后的...
关键词：热释电探测器 微弱信号 噪声 放大滤波 
铌酸锂晶片热释电红外探测器设计及性能测试被引量：4
《传感技术学报》2013年第3期333-337,共5页刘岗 梁庭 林斯佳 李颖 刘俊 
国家863重大项目(2006AA040101);太原市大学生创新创业专项项目(120164033)
通过红外热释电探测器工作原理的分析,采用合适的半导体加工工艺将铌酸锂晶体母材减薄,并对减薄后铌酸锂晶片进行溅射、镀膜将其制成红外敏感单元。选用CMOS放大器与匹配的电阻、电容组成前置放大电路,对热释电信号进行放大和转换;根据...
关键词：铌酸锂晶片 热释电探测器 红外吸收 电路设计 
红外甲烷传感器直射式气室设计被引量：8
《工矿自动化》2013年第3期31-35,共5页刘岗 梁庭 郇弢 刘俊 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2006AA040101);太原市大学生创新创业专项项目(120164033)
针对采用反射式气室的红外甲烷传感器测量误差较大的问题,基于红外光谱吸收原理,利用非分光探测技术设计了一种新型直射式气室。该气室采用硅半导体片状红外光源、双通道红外探测器及一定长度的气室中腔,选用GaF2作为光源及探测器的视...
关键词：红外甲烷传感器 直射式气室 红外光源 红外探测器 气室中腔 视窗材料 
高灵敏度铂薄膜热敏电阻器精细刻蚀技术研究被引量：2
《传感器与微系统》2013年第3期53-55,58,共4页姜国光 王震 张洪泉 王大兴 
国家自然科学基金资助项目(60971020);国家高技术研究发展计划项目(2006AA040101)
为了提高铂薄膜热敏电阻器的灵敏度,设计一种标称阻值为5000Ω的超细阻栅结构。通过对高精度干法刻蚀技术研究,解决了传统激光刻蚀和反应离子刻蚀不能加工高质量精细线条的技术问题,实现7μm特征铂电阻条尺寸的加工。测试和分析表明:铂...
关键词：热敏电阻器 刻蚀技术 灵敏度 标称阻值 温度系数 
热释电探测器敏感层材料关键性能参数测试被引量：3
《传感器与微系统》2013年第3期147-149,共3页雷程 梁庭 王凯 刘岗 林斯佳 李颖 
国家"863"计划资助项目(2006AA040101)
热释电材料铌酸锂(LN)晶片可作为热释电探测器敏感层材料。介电常数和介电损耗是判断热释电材料性能的2个重要参数。为解决在测试参数时,测试数据量大,测试精度要求高、测试时间较长等问题,提出了一种自动采集、自动记录及处理的测试系...
关键词：介电常数 介电损耗 热释电 铌酸锂晶片 
反射式红外甲烷传感器气室设计被引量：8
《传感器与微系统》2013年第2期96-98,共3页刘岗 梁庭 郇弢 雷程 赵晓霞 
国家"863"计划重大资助项目(2006AA040101)
设计给出一种稳定性好、灵敏度高的反射式红外甲烷传感器气室设计过程与测试结果。红外甲烷传感器基于色散型红外吸收光谱法的原理,利用非分光红外探测技术过滤甲烷气体的特征波长以外的光线,再采用双通道补偿技术对气室内部的甲烷气体...
关键词：甲烷 镀金膜红外气室 红外探测器 标定技术 
一种基于MEMS技术的冗余Pt温度传感器研究被引量：3
《传感器与微系统》2012年第7期23-25,29,共4页姜国光 段成丽 张洪泉 
国家自然科学基金资助项目(60971020);国家高技术研究发展计划资助项目(2006AA040101)
为了提高Pt温度传感器的响应时间和可靠性水平,设计了一种MEMS冗余结构的新型温度传感器。结构基体采用可微加工0.1 mm厚的γ-Al2O3陶瓷;敏感薄膜由磁控溅射沉积而成,并采用离子束刻蚀方法加工成标准阻值。分析和测试表明:传感器输出与...
关键词：温度传感器 冗余设计 响应时间 可靠寿命 
基于高温环境下高绝缘高响应性铠装热电偶的研究被引量：5
《化工自动化及仪表》2012年第3期335-338,共4页李叶 梁庭 王凯 杨芳 牛坤旺 秦丽 
山西省留学回国人员基金(2008002);国家"863"重大项目(2006AA040101)
介绍了一种以新型高温混合材料作为铠装热电偶的绝缘材料,通过大量试验验证了封装后的热电偶传感器具有较高的测量精度、长期热电势稳定性、高绝缘性和较短的热响应时间,能够满足高温、高响应性测量要求。在1 000℃的情况下测量,其性能...
关键词：铠装热电偶 绝缘材料 稳定性 热响应时间 
基于γ-Al_2O_3膜微加工煤油传感器研究被引量：1
《传感器与微系统》2012年第3期43-45,49,共4页张洪泉 乔英杰 范茂军 
国家自然科学基金资助项目(NSFC-60971020);国家"863"计划资助项目(2006AA040101);黑龙江省博士后科研启动基金资助项目(LBH-Z09219)
基于半导体式气体传感原理,提出了利用MEMS技术将电化学生长的Al2O3膜加工成微热板结构载体,采用平面薄膜工艺制做Pt薄膜加热电阻和信号电极。在微热板的2个电极上,涂敷γ-Fe2O3-SnO2-Pt-Pd形成煤油蒸气敏感单元,实现在微结构体上气体...
关键词：气体传感器 煤油 微加工 微结构体 脉冲加热 
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