安徽省自然科学基金(090412027)

作品数：3被引量：8H指数：1
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用于MEMS变形镜的双电极压电厚膜致动器
《纳米技术与精密工程》2012年第1期20-23,共4页马剑强 李保庆 张晋弘 许晓慧 褚家如 
安徽省自然科学基金资助项目(090412027)
提出了一种用于MEMS变形镜的双电极驱动的压电陶瓷(PZT)厚膜致动器.采用有限元方法分析致动器变形时的应力分布情况,优化了内外圈电极尺寸,制作了61单元六边形分布的致动器阵列.测试结果表明,致动器在100 V工作电压下的冲程约为6.6μm,...
关键词：变形镜 压电陶瓷(PZT) 致动器 双电极 
压电厚膜驱动的高刚度微变形镜的制备被引量：1
《纳米技术与精密工程》2011年第5期427-431,共5页马剑强 李保庆 许晓慧 褚家如 
安徽省自然科学基金资助项目(090412027);中国科学技术大学青年科学基金资助项目(2090090002)
研究制备了一种压电厚膜微变形镜,微变形镜的连续薄膜式单晶硅镜面由61单元压电厚膜致动器阵列驱动.以镜面冲程与工作频带宽为目标,对微变形镜的结构参数进行优化设计,根据优化参数采用硅微加工技术试制了61单元致动器的微变形镜.镜面...
关键词：微变形镜 压电厚膜 高刚度 
MEMS压电超声换能器的结构设计及性能表征被引量：7
《压电与声光》2010年第4期604-607,共4页张晋弘 马剑强 李保庆 冯艳 褚家如 
安徽省自然科学基金资助项目(090412027)
介绍了一种新型的基于高性能锆钛酸铅(PZT)厚膜(压电常数d31约为-280 pm/V)的微机电系统(MEMS)压电超声换能器。基于有限元法,对该种压电超声换能器进行了模拟设计。优化结果表明,边长2 mm的超声换能器,优化后其共振频率约为170 kHz,有...
关键词：锆钛酸铅(PZT) 厚膜 超声换能器 结构设计 
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