国家自然科学基金(50975142)

作品数：23被引量：52H指数：4
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相关作者：刘志东邱明波田宗军黄因慧汪炜更多>>
相关机构：南京航空航天大学南通纺织职业技术学院更多>>
相关期刊：《中国机械工程》《西南交通大学学报》《上海交通大学学报》《应用基础与工程科学学报》更多>>
相关主题：单晶硅电火花线切割电火花半导体电火花加工更多>>
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半导体电火花加工爬坡式电流现象研究被引量：3
《中国机械工程》2014年第13期1773-1778,共6页潘慧君 刘志东 邱明波 田宗军 
国家自然科学基金资助项目(50975142);江苏省博士后科学基金资助项目(1002009C)
对单晶硅电火花加工过程中的电流爬坡式上升现象进行了研究,结果表明,爬坡式电流主要是由加工过程中接触电阻的变化引起的,而接触电阻主要由高温区的接触面积决定。对爬坡式电流曲线的性质进行了研究,分析了温度、热导率和相变能量对接...
关键词：半导体 电火花 爬坡电流 接触电阻 
浸液式高速往复走丝电火花线切割漏电损失被引量：1
《上海交通大学学报》2013年第11期1670-1674,共5页张伟建 刘志东 邱明波 
国家自然科学基金(50975142);江苏省工业支撑计划(BE2009161)资助项目
分析了放电能量损失与极间工作液漏电、工件表面漏电的关系.采用浸液和喷液2种冷却方式进行高速往复走丝电火花线切割加工实验,对理论分论结果进行了验证.结果表明:减小工件表面漏电面积和工作液电导率,可以有效减少能量损失,进而提高...
关键词：电火花线切割 喷液加工 浸液加工 漏电损失 
半导体电火花线切割加工电流脉冲概率特性及伺服控制研究被引量：4
《电加工与模具》2013年第4期28-31,35,共5页潘慧君 刘志东 黄赛娟 邱明波 田宗军 
国家自然科学基金资助项目(50975142);江苏省博士后科学基金资助项目(1002009C)
对当前基于金属加工的电火花伺服控制系统在半导体电火花加工中失效的原因进行了分析。由于半导体加工中采样电压不再只是放电通道电压,而是由放电通道电压、半导体体电阻压降和接触势垒压降之和组成,使系统无法准确识别加工状态,导致...
关键词：半导体 电火花线切割加工 伺服控制 电流脉冲概率 
半导体电火花线切割微接触式放电高效切割机理研究被引量：2
《人工晶体学报》2013年第7期1336-1342,共7页潘慧君 刘志东 邱明波 黄赛娟 田宗军 
国家自然科学基金(50975142);江苏省博士后科学基金资助项目(1002009C)
与金属电火花加工不同,由于半导体材料特殊的电特性,在进行半导体电火花线切割加工时,在电极丝与工件接触甚至已经被工件顶弯的状态下依然可以进行火花放电,蚀除工件材料,并且在微接触状态的切割效率还大大提高。研究分析认为:这主要是...
关键词：电火花线切割 微接触 高效切割 
进电端放电法对单晶硅电火花加工接触电阻的影响研究被引量：1
《中国机械工程》2013年第13期1796-1799,共4页宋佳杰 邱明波 刘志东 田宗军 
国家自然科学基金资助项目(50975142);江苏省博士后科学基金资助项目(1002009C);南京航空航天大学科研启动基金资助项目
为改善高电阻率硅的电火花线切割可加工性,提出了一种在半导体电镀金属薄膜表面放电的方法(简称进电端放电法)。首先在硅(电阻率为2.1Ω.cm)表面电镀一层铜膜,然后利用铜刷作电极,在铜膜表面进行放电,利用放电形成的高温在硅表面形成重...
关键词：电火花加工 硅 接触势垒 接触电阻 
浸液式往复走丝电火花线切割加工研究被引量：2
《电加工与模具》2013年第3期50-54,共5页张伟建 刘志东 邱明波 
国家自然科学基金资助项目(50975142);江苏省工业支撑计划资助项目(BE2009161)
通过在往复走丝电火花线切割平台上实现浸液式加工,解决了以往采用喷液冷却方式带来的电极丝上下运丝加工区域冷却不均匀、电极丝受到的阻尼作用不相同等问题。由于极间间隙工作液能得到及时补充,减少了工件加工的热变形,同时提高了加...
关键词：电火花线切割加工 喷液式 浸液式 尺寸精度 表面粗糙度 
电火花线切割极间介电特性与放电能量分配关系被引量：2
《上海交通大学学报》2012年第7期1015-1020,共6页刘志东 魏为 陆霖琰 徐安阳 
国家自然科学基金研究项目(50975142);江苏省自然科学基金(BK2008393)
建立了电火花线切割极间介质电阻模型,分析了加工能量与极间介质电导率、工件厚度之间的关系,并对极间介质电阻模型进行了实验验证.研究结果表明,随着电导率的升高或者工件厚度的增加,放电期间极间"漏电流"增大,损耗在极间介质的能量增...
关键词：电火花线切割 工作介质 介电特性 电导率 放电能量 
半导体材料放电切割弯丝过冲控制研究被引量：2
《电加工与模具》2012年第2期9-12,16,共5页韦国强 刘志东 邱明波 田宗军 
国家自然科学基金资助项目(50975142)
提出了一种基于电极丝位置检测的高阻半导体放电切割弯丝过冲控制方法。在对高阻半导体放电切割加工特性分析研究的基础上,分析了传统电火花线切割放电间隙取样方法对高阻半导体加工进给控制存在的问题,提出以测量加工过程中电极丝空间...
关键词：半导体 电火花线切割加工 弯丝过冲 位置检测 
绝缘工程陶瓷电火花加工技术研究进展被引量：10
《浙江海洋学院学报（自然科学版）》2012年第2期172-177,共6页陈益飞 张有 戎活跃 
国家自然科学基金项目(50975142)
概述了国内外绝缘工程陶瓷电火花加工技术的研究现状,对高电压辉光放电加工、电解电火花放电加工及辅助电极电火花加工等绝缘工程陶瓷的电火花加工技术的原理、特点进行了分析和阐述,并且分别对相应的复合加工技术进行了一定的研究。
关键词：绝缘工程陶瓷 电火花 复合加工 
进电方式对高阻半导体硅放电加工影响研究被引量：2
《中国机械工程》2012年第6期725-728,共4页刘志东 曹银风 邱明波 田宗军 黄因慧 
国家自然科学基金资助项目(50975142);江苏省科技支撑计划资助项目(BE2009161);江苏省博士后科学基金资助项目(1002009C)
进行了高阻半导体硅的放电铣削加工实验,通过检测脉冲放电电压和电流波形,对固定、旋转、随动三种进电方式下的加工情况进行了对比。结果表明:固定进电方式下,由于进电点会逐步生成不导电的钝化膜,接触电阻不断增大,回路中的总电阻不断...
关键词：电火花 高阻硅 进电方式 电阻 随动进电 
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