国家自然科学基金(61076110)

作品数：8被引量：38H指数：3
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相关作者：韩建强王小飞韩安太宋美绚李琰更多>>
相关机构：中国计量学院杭州职业技术学院杭州电子科技大学更多>>
相关期刊：《传感技术学报》《农业工程学报》《红外与毫米波学报》《微纳电子技术》更多>>
相关主题：PECVD压缩感知理论压缩感知矩阵代数稀疏分解更多>>
相关领域：电子电信农业科学自动化与计算机技术机械工程更多>>
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基于负温度系数的多晶硅电阻电热激励/压阻检测微桥谐振器的新型红外探测器（英文）被引量：1
《红外与毫米波学报》2015年第2期134-139,共6页韩建强 李森林 李琰 王小飞 冯日盛 
Supported by National Natural Science Foundation of China(61076110);Supported by Zhejiang Key Discipline of Instrument Science and Technology(JL130101)
报道了一种基于负电阻温度系数的多晶硅电阻电热激励/压阻检测SiO 2/Si3N4/SixNy微桥谐振器的新型红外探测器.微桥谐振器吸收的红外辐射引起微桥温度升高,激励电阻和检测电桥的阻值减小,使得恒定激励电压作用下激励电阻的静态功率和惠...
关键词：微桥谐振器 红外探测器 多晶硅电阻 负电阻温度系数 
Thermal conductivity of PECVD silicon-rich silicon nitride films measured with a SiO_2/Si_xN_y bimaterial microbridge test structure
《Journal of Semiconductors》2014年第4期165-168,共4页韩建强 李琰 李森林 李青 
supported by the National Natural Science Foundation of China(No.61076110);the Zhejiang Key Discipline of Instrument Science and Technology(No.JL130101)
In order to balance the compressive stress of a silicon dioxide film and compose a steady MEMS structure, a silicon-rich silicon nitride film with tensile stress is deposited by plasma enhanced chemical vapor depositi...
关键词：MEMS silicon nitride film thermal conductivity bimaterial microbridge 
应用于硅微谐振式传感器的等精度频率计设计被引量：4
《传感器与微系统》2014年第4期80-82,86,共4页李琰 李森林 
国家自然科学基金资助项目(61076110)
针对传统频率测量中存在的弊端,利用等精度测频原理,采用现场可编程门阵列(FPGA)设计实现了等精度频率计。通过FPGA对同步门的控制,使被测信号和标准信号在闸门时间内同步,消除了量化误差,提高了测量精度,实现了在整个测试频段内测量精...
关键词：等精度频率计 现场可编程门阵列 同步门控制 谐振式传感器 
Microfabrication technology for non-coplanar resonant beams and crab-leg supporting beams of dual-axis bulk micromachined resonant accelerometers
《Journal of Zhejiang University-Science C(Computers and Electronics)》2013年第1期65-74,共10页Jian-qiang HAN Ri-sheng FENG Yan LI Sen-lin LI Qing LI 
Project (No. 61076110) supported by the National Natural Science Foundation of China
This paper presents the design principles and fabrication techniques for simultaneously forming non-coplanar resonant beams and crab-leg supporting beams of dual-axis bulk micromachined resonant accelerometers by mask...
关键词：Resonant accelerometer Maskless etching Bulk micromachining technology Microelectromechanical system（MEMS） MICROSENSOR 
PECVD法淀积不同应力状态氮化硅薄膜工艺研究被引量：7
《功能材料与器件学报》2011年第2期183-186,共4页韩建强 王小飞 刘珍 宋美绚 李青 
浙江省自然科学基金(编号:Y1080072);国家自然科学基金(编号:61076110)
等离子增强化学气相淀积法(PECVD)淀积的氮化硅薄膜具有沉积温度低、生长速率高、均匀性好等优点,在微电子机械系统(Micro-Electromechanical System,MEMS)中的应用越来越广泛,研究其应力状态对研制MEMS器件和系统具有重要意义。本文在...
关键词：微电子机械系统 氮化硅 等离子化学气相淀积 残余应力 
无线传感器网络中基于服务质量管理的多目标优化控制被引量：2
《传感技术学报》2011年第4期614-619,共6页韩安太 彭慧 李剑锋 游来健 
国家自然科学基金项目(61076110);浙江省自然科学基金项目(Y1090380)
针对基于无线传感器网络构建的测控系统,为减少无线传感器网络固有的时变传输延时、丢包等现象对系统性能的影响,从提高系统整体性能的角度,提出一种基于网络服务质量QoS(Quality of Service)管理的多目标优化控制策略;该优化控制策略...
关键词：无线传感器网络 服务质量 最优化 控制 
淀积参数对PECVD氮化硅薄膜力学特性的影响被引量：2
《微纳电子技术》2011年第4期233-236,共4页王小飞 韩建强 宋美绚 严天宏 
浙江省自然科学基金资助项目(Y1080072);国家自然科学基金资助项目(61076110)
等离子增强化学气相淀积(PECVD)法制备的氮化硅薄膜具有沉积温度低、生长速率高和残余应力可调节等特点,研究其力学特性对研制MEMS器件和系统具有重要意义。采用HQ-2型PECVD淀积台,在沉积温度为350℃,NH3流量为30cm3/min的条件下,通过...
关键词：氮化硅(SiNx)薄膜 等离子化学气相淀积(PECVD) 纳米压痕 杨氏模量 硬度 
基于压缩感知理论的农业害虫分类方法被引量：23
《农业工程学报》2011年第6期203-207,共5页韩安太 郭小华 廖忠 陈志强 韩建强 
国家自然科学基金资助项目(61076110);浙江省自然科学基金资助项目(Y1080072)
为提高现有害虫分类方法的分类效果,该文分析了现有害虫分类方法的局限性,在此基础上,提出一种基于压缩感知理论的害虫分类新方法。该方法利用害虫训练样本构造训练样本矩阵,通过求解l1范数意义下的最优化问题实现害虫测试样本的稀疏分...
关键词：分类 特征参数 矩阵代数 害虫 压缩感知 稀疏分解 
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