教育部科学技术研究重点项目(205091)

作品数：61被引量：109H指数：6
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金刚石聚晶薄膜的场发射性能对比研究
《功能材料与器件学报》2022年第3期260-264,共5页高金海 张洁 李成刚 张兵临 
教育部科学技术重点资助项目(205091);2018年河南省科技厅科技攻关项目(182102210140);2018年河南省重点研发与推广专项(182102210564)
以覆盖金属钛的陶瓷为衬底放入微薄等离子体腔中,在不同的条件下制备出三种金刚石聚晶碳膜。通过扫描电镜、拉曼光谱、X射线仪分析碳膜的形貌与结构,利用二级结构研究碳膜的场发射性能,得到发射性能最佳的薄膜。深入分析了三种碳膜的成...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 场致电子发射 球状金刚石聚晶颗粒碳膜 
两种微米金刚石聚晶颗粒薄膜的制备与场发射研究
《半导体光电》2022年第3期573-577,共5页高金海 张洁 李成刚 张兵临 
教育部科学技术重点资助项目(205091);2018年河南省科技厅科技攻关项目(182102210140);2018年河南省重点研发与推广专项项目(182102210564);2017年度河南省科技计划项目(172102210115)。
采用微波等离子体化学气相沉积,在不同的沉积条件下得到两种微米金刚石颗粒薄膜,通过拉曼光谱仪和X射线仪分析了两种薄膜的成分,用扫描电子显微镜分析了两种薄膜的表面形貌,用二级结构的场发射装置研究了薄膜的场发射性能,最终分析并讨...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 微米金刚石聚晶薄膜 场发射 
提高微米金刚石聚晶薄膜的场发射点密度研究
《电子器件》2021年第6期1381-1384,共4页高金海 崔颖琦 张洁 李成刚 张兵临 
教育部科学技术重点项目(205091);国家自然科学基金青年科学基金项目(11904326);河南省高等学校重点科研项目(16A140039);河南省科技厅科技攻关项目(182102210140);2017年度河南省科技计划项目(172102210115)。
利用微波等离子化学气相沉积的方法,制备出微米金刚石聚晶颗粒薄膜,通过扫描电镜、拉曼光谱、X射线实验,分析了薄膜的形貌与结构,用场发射二级结构研究薄膜的场发射性能。研究了微米金刚石聚晶薄膜的产生的机理,调整制备过程中的参数来...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 微米金刚石聚晶薄膜 场发射 
利用正交实验制备金刚石薄膜及其场发射的研究
《电子器件》2021年第2期507-512,共6页高金海 张洁 李成刚 张兵临 崔颖琦 
教育部科学技术重点项目(205091);河南省高等学校重点科研项目(16A140039);河南省科技厅科技攻关项目(182102210140)。
场发射阴极金刚石薄膜的制备方法有很多,利用微波等离子化学气相沉积的方法制备薄膜,文中详细介绍了正交分解法实验制备金刚石薄膜的过程。并对薄膜进行扫描电镜、拉曼光谱、X射线实验,分析了其形貌与结构;用场发射二级结构研究薄膜的...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 正交实验 微米金刚石薄膜 
微米金刚石聚晶薄膜场发射点的研究
《半导体光电》2021年第2期231-235,共5页高金海 崔颍琦 张洁 李成刚 张兵临 
教育部科学技术重点资助项目(205091);河南省高等学校重点科研项目(16A140039);河南省科技厅科技攻关项目(182102210140);2017年度河南省科技计划项目(172102210115)。
采用微波等离子化学气相沉积方法,以甲烷和氢气为反应气体,在镀有金属钛的陶瓷衬底上,制备了微米金刚石聚晶薄膜。利用扫描电镜、拉曼光谱、X射线光电子能谱对薄膜的化学组成、微观结构和表面形貌进行了表征。用二级结构的场发射仪和扫...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 微米金刚石聚晶薄膜 场发射 
激光刻蚀对金刚石薄膜的制备及场发射的影响
《功能材料与器件学报》2020年第6期407-411,共5页高金海 崔颖琦 张洁 李成刚 张兵临 
教育部科学技术重点资助项目(No.205091);国家自然科学基金青年科学基金项目(项目编号:11904326);河南省高等学校重点科研项目(项目编号:16A140039);河南省科技厅科技攻关项目(项目编号:182102210140);2017年度河南省科技计划项目(项目编号:172102210115)
本文研究了激光刻蚀衬底对制备金刚石薄膜的影响,研究了激光刻蚀金刚石薄膜对它的影响,通过扫描电镜、拉曼光谱、X射线实验,检测了衬底及碳膜的形貌与结构,最后利用场发射二级结构研究碳膜的场发射性能。简单分析了激光刻蚀对金刚石薄...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 场致电子发射 金刚石薄膜 激光刻蚀 
两种金刚石碳膜的制备及其场发射特性研究被引量：1
《电子器件》2020年第4期720-723,共4页高金海 张洁 李成刚 张兵临 
教育部科学技术重点项目(205091);2018年河南省科技厅科技攻关项目(182102210140);2018年河南省重点研发与推广专项项目(182102210564);2017年度河南省科技计划项目(172102210115)。
对相同的衬底进行不同的处理后,放入微薄等离子体腔中,在不同的条件下制备出纯平金刚石碳膜和球状金刚石聚晶颗粒碳膜。通过扫描电镜、拉曼光谱、X射线分析碳膜的形貌与结构,利用场发射二级结构研究两种金刚石碳膜的场发射性能。简单分...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 场致电子发射 纯平金刚石碳膜 球状金刚石聚晶颗粒碳膜 
金刚石聚晶碳膜场发射的场增强特征研究被引量：6
《半导体光电》2019年第5期671-674,共4页高金海 李成刚 张洁 张兵临 
教育部科学技术重点项目(205091);河南省高等学校重点科研项目(16A140039);河南省科技厅科技攻关项目(182102210140)
利用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD),在镀金属钛的纯平陶瓷衬底上制备出一层微米量级的类球状金刚石聚晶颗粒碳膜。通过拉曼光谱仪、X射线衍射仪分析了碳膜的成分,通过扫描电子显微镜观察了碳膜的外部形貌。最后利用场发射的二级结...
关键词：MPCVD 场致电子发射 金刚石聚晶碳膜 
金刚石薄膜的形成及其场发射特性研究被引量：3
《半导体光电》2018年第6期828-831,共4页高金海 张武勤 李桢 张兵临 
教育部科学技术重点项目(205091);河南省科学技术成果项目(教高豫科鉴委字[2015]第569号);河南省高等学校重点科研项目(16A140039)
研究了金刚石聚晶碳膜的生长过程,以及不同生长阶段碳膜的场发射性能。通过磁控溅射法在陶瓷上镀一层金属钛作为制备碳膜的衬底,将衬底放入微波等离子体化学气相沉积腔中,经过不同的沉积时间制备出一系列的碳膜。利用SEM、Raman光谱仪、...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 场致电子发射 金刚石聚晶碳膜 
基于不同金属衬底制备碳膜的场发射研究被引量：2
《电子器件》2018年第3期572-575,共4页高金海 张武勤 李桢 张兵临 
教育部科学技术重点资助项目(205091);河南省科学技术成果项目(教高豫科鉴委字[2015]第569号);河南省高等学校重点科研项目(16A140039);河南省科技攻关项目(2018)
利用磁控溅射的方法,在相同的陶瓷衬底上面分别镀上3种不同金属,形成3种不同的金属衬底,对金属层进行相同的表面处理后,放入微波等离子体化学气相沉积腔中,制备出3种碳膜。对制备出不同的碳膜用扫描电镜、拉曼光谱、X射线衍射仪进行结...
关键词：碳膜 微米金刚石薄膜 场致发射电子 微波等离子体化学气相沉积 
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