国家自然科学基金(60086003)

作品数：8被引量：4H指数：1
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相关机构：华中科技大学中国地质大学航天总公司中国航天更多>>
相关期刊：《半导体技术》《红外与激光工程》《电子元件与材料》《红外与毫米波学报》更多>>
相关主题：衍射效率点扩散函数二元光学红外焦平面阵列微透镜阵列更多>>
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菲涅耳微透镜衍射光学性能测试
《华中科技大学学报（自然科学版）》2007年第S1期93-96,共4页潘峰 陈四海 王明 赖建军 易新建 
国家自然科学基金资助项目(60086003)
基于微透镜阵列的基本光学原理,建立了一套评价微透镜光学质量的微光学测试系统.该系统可以测量微透镜的点扩散函数、衍射效率、焦长等特征性能参数,从而可以有效地对微透镜阵列进行评价.讨论了微透镜的各种参数的基本概念和测量方法,...
关键词：微透镜阵列 光学性能 测试 误差因素 
多相位256×256衍射微透镜的设计及其光学性能研究被引量：1
《红外与激光工程》2002年第3期253-256,共4页孔令彬 叶敦范 易新建 陈四海 
国家自然科学基金资助项目 (60 0 860 0 3)
介绍了衍射微透镜阵列的设计原理与制作工艺方法 ,在此基础上运用部分刻蚀法研制出适用于 3～ 5 μm波长多相位 2 5 6× 2 5 6衍射微透镜阵列。利用光通信半导体激光器和探测器建立了一套测试系统 ,并对所设计的多相位衍射微透镜阵列的...
关键词：衍射微透镜 衍射效率 点扩散函数 二元光学 
二元光学法在微透镜制作中的应用被引量：1
《电子元件与材料》2002年第2期5-7,12,共4页孔令彬 易新建 陈四海 
国家高技术研究发展计划资助项目;国家自然科学基金资助项目(60086003)
对二元光学的产生和发展作了介绍,并阐述了二元光学元件之一的微透镜(microlenses)的设计、制作和测试方法以及它们的主要应用。微透镜的设计是基于已成熟的标量衍射理论;而其制作过程包括:计算机设计波面相位、产生掩模版、光刻或离子(...
关键词：二元光学 微透镜 衍射效率 点扩散函数 蚀刻 光学元件 全息术 
二元光学元件──微透镜
《半导体技术》2001年第11期74-76,共3页孔令彬 易新建 陈四海 
国家高技术研究发展计划资助项目;国家自然科学基金资助项目(60086003)
介绍了二元光学的产生和发展，着重阐述了二元光学元件之一的微透镜的设计、制作和测试方法以及它们的主要应用。
关键词：二元光学元件 微透镜 衍射效率 点扩散函数 蚀刻 
用于改善PtSi红外焦平面阵列器件响应特性的长焦距GaAs微透镜阵列器件的制作研究(英文)
《红外与毫米波学报》2001年第5期321-324,共4页何苗 易新建 程祖海 刘鲁勤 王英瑞 
国防科技重点实验室基金 (编号 99JS11.2 .0 JW0 5 0 5 )资助项目;国家自然科学基金 (编号 60 0 860 0 3)~~
提出了一种新的曲率补偿法用于长焦距微透镜阵列的制作。扫描电子显微镜 ( SEM)显示微透镜阵列为表面极为平缓的方底拱形阵列 ,表面探针测试结果显示用曲率补偿法制作的微透镜的焦距可达到 3 861.70 μm,而常规光刻热熔法很难制作出焦...
关键词：GAAS 离子束刻蚀 组合器件 红外焦平面阵列器件 响应特性 砷化镓 微透镜阵列器件 曲率补偿 焦距 
256×256 Si微透镜阵列与红外焦平面阵列单片集成研究被引量：1
《红外与毫米波学报》2001年第5期340-342,共3页陈四海 易新建 王宏臣 孔令彬 马宏 
国家自然科学基金 (编号 60 0 860 0 3)~~
基于标量衍射理论设计了 8位相菲涅尔衍射微透镜阵列 .利用多次曝光和离子束刻蚀技术在大规模面阵( 2 5 6× 2 5 6) Pt Si红外焦平面阵列的背面制作了单片集成微透镜阵列样品 (单元面积为 3 0μm× 4 0μm ) .测试结果表明 ,单片集成微...
关键词：PtSi红外焦平面阵列 微透镜阵列 单片集成技术 标量衍射 信噪比 
小F数衍射微透镜阵列光学性能研究
《光子学报》2001年第5期608-613,共6页陈四海 易新建 刘鲁勤 何苗 孔令斌 
国家高技术863计划资助!项目;国家自然科学基金部分资助项目! (编号 :60 0 860 0 3 )
本文基于小光点扫描 ,在国内首次提出了一种测试小 F数衍射微透镜阵列光学性能的方法 .利用光通信用半导体激光器和探测器建立了一套测试系统 ,并对所研制的大阵列 ,小单元尺寸的多相位菲涅耳衍射微透镜阵列的衍射效率和点扩散函数进行...
关键词：小F数衍射微透镜阵列 衍射效率 点扩散函数 小光点扫描 二元光学 微小光学 红外焦平面阵列 微光学传感器阵列 
硅微透镜阵列与红外焦平面阵列的单片集成被引量：1
《华中科技大学学报（自然科学版）》2001年第5期29-31,共3页陈四海 孔令斌 何苗 易新建 
国家高技术研究发展计划资助项目;国家自然科学基金资助项目 (6 0 0 86 0 0 3)
基于标量衍射理论 ,考虑焦距长度与微透镜尺寸的关系 ,提出了一种新的制作二元光学衍射微透镜的方法———部分刻蚀法 .利用这种方法制作了 2 5 6× 2 5 6硅微透镜阵列 ,并将其与PtSi红外焦平面阵列单片集成在一起 ,使红外焦平面阵列的...
关键词：二元化学 部分刻蚀法 微透镜阵列 红外焦平面阵列 单片集成 衍射微透镜 
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