山东省优秀中青年科学家科研奖励基金(2006BSB01447)

作品数:6被引量:26H指数:2
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铒离子注入碳化硅后的射程分布和射程离散
《济南大学学报(自然科学版)》2010年第2期202-204,共3页秦希峰 季燕菊 王凤翔 付刚 赵优美 梁毅 
山东省中青年科学家科研奖励基金(2006BSB01447);山东建筑大学科研基金(XN070109)
鉴于利用离子注入技术掺杂制作光电集成器件时,离子注入半导体材料的射程分布、射程离散和横向离散对器件性能的影响,应用卢瑟福背散射技术研究将剂量为5×1015cm-2的400 keV能量的Er+离子注入6H-SiC晶体的平均投影射程、射程离散和深...
关键词:离子注入 6H-SIC 卢瑟福背散射技术 射程分布 
In掺杂ZnO电子结构的第一性原理研究被引量:14
《物理学报》2010年第7期4925-4929,共5页刘小村 季燕菊 赵俊卿 刘立强 孙兆鹏 董和磊 
山东省优秀中青年科学家科研奖励基金(批准号:2006BSB01447)资助的课题~~
采用第一性原理平面波超软赝势,计算了纤锌矿ZnO和不同掺杂量下In掺杂ZnO晶体的能带结构、态密度和分波态密度.计算表明,In的掺杂导致ZnO禁带宽度变窄.随着掺杂量的增大,InxZn1-xO的导带底和价带顶同时下降,但是导带底比价带顶下降得多...
关键词:密度泛函理论 电子结构 In掺杂ZnO 
射频磁控溅射制备ZnO光波导薄膜被引量:11
《山东建筑大学学报》2010年第1期10-13,共4页李爽 王凤翔 付刚 季艳菊 赵俊卿 
山东省中青年科学家科研奖励基金项目(2006BSB01447);山东省自然科学基金项目(ZR2009FM031)
采用射频磁控溅射技术在石英玻璃上制备出了具有高度c轴择优取向的ZnO薄膜。利用X射线衍射(XRD)、背散射分析(RBS)、棱镜耦合等技术对其结构、光波导性质进行研究,结果表明减小溅射压强有利于提高薄膜的结晶质量,增强薄膜的c轴择优取向...
关键词:ZNO薄膜 射频磁控溅射 光波导 X射线衍射 
C_(10)H_(18)N_2O_4Pt结构和性质的密度泛函理论研究被引量:1
《山东建筑大学学报》2009年第5期429-433,共5页刘小村 季燕菊 
山东省中青年科学家科研奖励基金(2006BSB01447)
C10H18N2O4Pt是奥沙利铂的一种新型的衍生物。采用密度泛函理论DFT-B3LYP方法研究C10H18N2O4Pt的全优化构型、电子结构和IR谱;6-31++G**基组用于计算非金属原子,金属原子则采用赝势基组lanl2dz计算。分析了红外振动频率并以0.96为频率...
关键词:密度泛函理论 奥沙利铂 几何构型 
钕离子注入硅晶体的横向离散研究
《临沂师范学院学报》2009年第3期38-41,共4页秦希峰 季燕菊 王凤翔 付刚 赵优美 
山东省中青年科学家科研奖励基金项目(2006BSB01447);山东建筑大学校内基金项目(XN070109)资助
利用离子注入技术掺杂制作光电子器件时,需要了解离子注入材料的射程分布、射程离散和横向离散.介绍了用400 keV能量的Nd离子分别垂直和倾斜60o角注入两块相同的Si晶体样品中,利用卢瑟福背散射技术研究了400 keV,5×1015 ions/cm2 Nd离...
关键词:离子注入 卢瑟福背散射技术 横向离散 
铒离子注入晶体硅的射程分布和离散研究
《山东建筑大学学报》2009年第3期212-214,共3页秦希峰 季燕菊 王凤翔 付刚 赵优美 
山东省中青年科学家科研奖励基金项目(2006BSB01447);山东建筑大学校内基金项目(XN070109)
用400 keV能量的铒离子垂直注入晶体硅(Si)样品中。利用卢瑟福背散射技术研究了能量为400 keV、剂量为5×1015ions/cm2的铒离子注入Si晶体的平均投影射程、射程离散和深度分布。测出的实验值和TRIM 98得到的理论模拟值进行了比较,发现...
关键词:离子注入 卢瑟福背散射技术 射程分布 
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