国家科技重大专项(2009ZX02008-003)

作品数：6被引量：7H指数：1
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相关作者：刘伟军王靖震胡静涛郑秀红魏猛更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院研究生院沈阳化工大学沈阳芯源微电子设备有限公司更多>>
相关期刊：《沈阳化工大学学报》《中国机械工程》《半导体技术》《仪器仪表学报》更多>>
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单臂集束型装备随机Petri网模型与性能分析被引量：1
《沈阳化工大学学报》2012年第4期360-364,369,共6页郑秀红 胡静涛 
国家科技重大专项(2009ZX02008-003);973计划前期研究专项课题(2010CB334705)
针对因集束型装备配置非常灵活,运行模式多样造成的对装备性能分析困难的问题,提出一种用随机Petri网对集束型装备的运行过程进行建模,分析模型,计算装备性能的方法.利用工具Visual Object Net++验证模型的可达性,活性,有界性.采用马尔...
关键词：随机PETRI网 集束型装备 马尔可夫过程 吞吐量 
并行集束型半导体装备稳态吞吐量模型研究
《半导体技术》2012年第11期869-873,共5页郑秀红 胡静涛 
国家科技重大专项(2009ZX02008-003);973计划前期研究专项课题(2010CB334705)
并行集束型半导体装备的性能分析和产能预测是一项非常困难的任务,建立装备性能模型是解决这一问题的有效方法之一。首先用时序图描述了集束型半导体装备加工腔体和机械手在稳态阶段的使用情况,根据建立的时序图,推导出装备稳态时加工...
关键词：并行 集束型装备 吞吐量 模型 晶圆 
CMP过程多变量免疫预测R2R控制方法
《仪器仪表学报》2012年第11期2586-2593,共8页王亮 胡静涛 
国家科技重大专项(2009ZX02008-003);国家科技重大专项(2009ZX02001-005);国家自然科学青年基金(61104093);973计划前期研究专项课题(2010CB334705)资助项目
为了解决多输入多输出和产品质量不易在线测量的化学机械研磨(chemical mechanical polishing,CMP)过程R2R(run-to-run)控制的难题,提出了一种基于贝叶斯最小二乘支持向量机(Bayes least squares support vector machine,BLS-SVM)预测...
关键词：化学机械研磨 R2R控制 最小二乘支持向量机 贝叶斯证据框架 克隆选择 预测控制 
基于Logistic回归的湿法刻蚀腔体气流场参数分析被引量：1
《机械设计与制造》2012年第6期223-225,共3页王靖震 刘伟军 
国家科技重大专项极大规模集成电路制造装备及成套工艺资助项目(2009ZX02008-003)
在湿法刻蚀腔体中,为使气流场中的微颗粒物顺畅的流出刻蚀腔体,减小对晶圆片的微粒污染程度,应该避免气流场中产生涡流。针对避免在气流场中产生涡流这一问题,应用FLUENT仿真模拟软件,通过使用正交试验设计的方法,得到不同工艺参数情况...
关键词：LOGISTIC回归模型 正交试验设计 湿法刻蚀 气流场 
基于均匀设计方法的热板研究被引量：5
《机械设计与制造》2012年第5期121-123,共3页王靖震 刘伟军 
国家科技重大专项极大规模集成电路制造装备及成套工艺资助项目(2009ZX02008-003)
光刻工艺中对热板表面的温度场均匀性有着极高的要求。在热板设计参数的选择问题上,通过使用均匀实验设计的方法,从均匀分散性的角度出发挑选代表点,并对这些代表点应用ANSYS仿真模拟软件进行分析,得到不同设计参数情况下的热板表面温...
关键词：热板 温度场 回归模型 均匀设计 
基于通用旋转组合设计的热板参数分析
《中国机械工程》2012年第4期411-414,共4页王靖震 魏猛 刘伟军 胡延兵 
国家科技重大专项(2009ZX02008-003)
光刻工艺中对热板表面温度场均匀性有极高要求,在热板设计参数选择问题上,通过使用通用旋转组合设计的方法,利用ANSYS仿真模拟软件,得到不同设计参数情况下的热板表面温度场均匀性数据。对仿真结果数据进行回归建模,回归模型计算结果与...
关键词：热板 温度场 回归模型 通用旋转组合设计 
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