国家自然科学基金(11204283)

作品数：6被引量：2H指数：1
导出分析报告
相关作者：余森江周红冯宇飞马亮王佳荣更多>>
相关机构：中国计量学院浙江中力节能玻璃制造有限公司同济大学更多>>
相关期刊：《海峡科技与产业》《科技信息》《物理学报》《真空科学与技术学报》更多>>
相关主题：褶皱内应力SI自组装应力更多>>
相关领域：理学一般工业技术化学工程电子电信更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-6
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
纳米光栅制作技术的最新进展
《海峡科技与产业》2016年第2期78-79,共2页李秋琦 孙亚东 陈旗湘 刘旭静 余森江 
浙江省大学生科技创新项目(No.2015R409027);国家自然科学基金(No.11204283)资助课题
随着信息化社会的高速发展,现代光栅逐渐应用于信息处理及量子光学等领域,所以纳米光栅的制作变得十分重要。作者首先简要介绍了纳米光栅制作的几种传统方法,包括机械刻划、全息光刻、飞秒激光直写等。传统方法均存在成本高、工期长、...
关键词：薄膜 应力 自组装 纳米光栅 PDMS 
硅油基底上受限金属薄膜自组装褶皱的原子力显微镜研究
《物理学报》2014年第11期235-242,共8页余森江 
国家自然科学基金(批准号:11204283)资助的课题~~
利用喷雾装置在清洁载玻片上喷洒出各种尺寸(微米到毫米量级)的硅油滴,采用直流磁控溅射方法在硅油滴上沉积金属铬薄膜,研究了薄膜中由热应力引起的自组装褶皱.实验发现硅油滴上的铬薄膜受到油滴边缘的约束而具有受限的边界条件,其对褶...
关键词：液体基底 金属薄膜 自组装 约束边界 
SiAlN_x薄膜的应力释放模式及力学性能研究
《真空科学与技术学报》2014年第5期483-489,共7页周红 余森江 陈君 陈苗根 
国家自然科学基金项目(No.11204283);浙江省自然科学基金项目(No.LQ13A040002)资助课题
利用低辐射镀膜玻璃专用的镀膜生产线,在6 mm白玻衬底上制备出SiAlNx薄膜,研究了薄膜在退火之后的内应力释放模式及其力学性能。结果表明:退火后的SiAlNx薄膜存在较大的残余压应力,伴随着压应力的释放,薄膜中出现电话线形屈曲结构;屈曲...
关键词：SiAlNx薄膜 低辐射镀膜玻璃 电话线屈曲 力学性能 内应力 
薄膜结合能测量技术的最新进展被引量：1
《科技信息》2014年第12期8-9,11,共3页冯宇飞 陈旗湘 马亮 王佳荣 余森江 
浙江省大学生科技创新项目(编号2013R409032);国家自然科学基金资助课题(编号11204283)
薄膜目前被广泛应用于各种高科技领域中。薄膜的力学性能,尤其是结合能,决定了薄膜器件的力学稳定性、抗疲劳能力及其使用寿命,因而对薄膜结合能的精确测定显得尤为重要。作者简要介绍了薄膜结合能测定的几种传统方法,包括划痕法、压印...
关键词：薄膜 结合能 翘曲 力学性能 测量技术 
Si_(90)Al_(10)N_x薄膜的工艺控制及光学性能研究
《真空》2013年第4期22-25,共4页陈君 周红 余森江 
国家自然科学基金项目(No.11204283)
通过改变磁控溅射过程中氩气与氮气(Ar/N2)的分压比,制备了多种不同厚度的Si90Al10Nx薄膜样品,并采用透射率轮廓法对样品在热处理前后的光学性能(包括折射率和消光系数)进行了测量和分析。结果表明,样品的光学性能可通过调整Ar/N2的流...
关键词：磁控溅射 工艺研究 折射率 消光系数 分压比 
硅油基底上楔形钴薄膜的褶皱形貌研究被引量：1
《科技信息》2012年第36期2-3,共2页庞梦如 余森江 
国家自然科学基金项目(No.11204283)资助课题
利用玻璃盖片的遮挡效应,采用直流磁控溅射方法在硅油基底上成功制备出膜厚连续变化的楔形钴薄膜系统,并研究了该薄膜的内应力释放模式。实验表明,沉积过程中系统受热膨胀,随后的冷却过程导致钴薄膜中产生较大的压缩应力,并形成多种特...
关键词：楔形钴薄膜 硅油基底 褶皱 内应力 边界效应 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部