中国工程物理研究院科技基金(2005Z0805)

作品数：12被引量：40H指数：4
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相关期刊：《稀有金属材料与工程》《传感技术学报》《金属制品》《核聚变与等离子体物理》更多>>
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螺旋波诱导氢等离子体的密度跳跃研究被引量：1
《核聚变与等离子体物理》2012年第1期87-91,共5页姜帆 吴卫东 高映雪 戴阳 王瑜英 程新路 熊政伟 
中国工程物理研究院重大基金项目(2005Z0805)
采用Langmuir探针方法对氢等离子体中电子密度和电子能量概率函数随射频功率的变化进行研究,发现电子密度在射频功率增加过程中出现两次跳跃。通过发射光谱法测得氢等离子体Hα、Hβ和Hγ三条谱线强度比值的变化,进一步验证了密度跳跃...
关键词：螺旋波等离子体 电子密度 放电模式转变 密度跳跃 天线耦合 
Langmuir探针法结合发射光谱法诊断螺旋波低压氢等离子体
《核聚变与等离子体物理》2011年第4期365-371,共7页高映雪 吴卫东 戴阳 姜帆 
中国工程物理研究院重大基金项目(2005Z0805)
采用Langmuir探针法结合发射光谱法对螺旋波诱导的低压氢等离子体进行诊断,根据Druyvesteyn方法和日冕模型分析电子能量几率函数(EEPF)、有效电子温度(Teff)、电子密度(ne)及激发态氢原子密度(nH*)随实验参数的变化规律。结果表明:随射...
关键词：螺旋波等离子体 LANGMUIR探针 发射光谱 Druyvesteyn方法 日冕模型 
脉冲激光沉积掺W类金刚石膜的性能被引量：7
《稀有金属材料与工程》2010年第7期1251-1255,共5页王雪敏 吴卫东 李盛印 陈松林 唐永建 白黎 王海平 
中国工程物理研究院重大基金资助课题(2005Z0805)
采用氟化氪(KrF)脉冲准分子激光烧蚀沉积(PLD)技术,在硅基体表面制备不同掺W时间的类金刚石薄膜(W-DLC)。利用AFM、XRD、Raman、纳米压痕等手段分析和研究薄膜的表面形貌、结构以及部分性能。结果表明:W掺入后形成了α-W2C和WC相,并且...
关键词：脉冲激光气相沉积 类金刚石薄膜 硬度 
Langmuir探针诊断低压氢等离子体电子密度与温度被引量：6
《强激光与粒子束》2010年第6期1234-1238,共5页戴阳 吴卫东 高映雪 葛芳芳 黄竞 王海平 马婷婷 
中国工程物理研究院重大基金项目(2005Z0805)
为研究实验参数对螺旋波诱导的低压氢等离子体状态的影响,用Langmuir探针对等离子体伏安特性曲线进行了原位诊断,采用双曲正切函数的指数变换模型拟合曲线,根据Druyvesteyn方法得到状态参数电子密度、有效电子温度和电子能量几率函数,...
关键词：螺旋波等离子体 LANGMUIR探针 双曲正切函数 Druyvesteyn方法 状态参数 
类金刚石膜在ICF研究中的潜在应用被引量：5
《激光与光电子学进展》2009年第1期60-66,共7页王雪敏 吴卫东 李盛印 白黎 唐永建 王锋 
中国工程物理研究院重大基金(2005Z0805)资助课题
类金刚石膜(DLC)是由sp3,sp2以及sp1键混合而成,具有优异的物理、化学性能。简要介绍了类金刚石膜的形成及性质,着重概括了它在惯性约束聚变(ICF)研究中的应用潜力,并进一步讨论了研究中存在的问题及今后发展的方向。
关键词：薄膜 类金刚石膜 惯性约束聚变 
潮湿环境下非氢类金刚石薄膜的超自润滑性能研究被引量：4
《中国科学（E辑）》2008年第11期1912-1920,共9页王锋 吴卫东 李俊 李盛印 唐永建 孙卫国 
中国工程物理研究院重大基金项目(批准号:2005Z0805)资助
采用脉冲激光沉积(PLD)方法在不同衬底温度条件下制备了不含氢的类金刚石薄膜,在相对湿度为80%与5%的条件下测试了类金刚石薄膜的摩擦学特性.由于PLD方法的独特性,薄膜具"软-硬"双层结构,保证了薄膜在潮湿条件(RH=80%)下仍保持非常优异...
关键词：PLD 非氢类金刚石薄膜 相对湿度 双层结构 摩擦系数 磨损率 
金刚石涂层拉丝模及其在焊丝生产中的应用被引量：2
《金属制品》2008年第3期16-18,21,共4页李建国 胡东平 丰杰 梅军 郁国建 刘殿中 
中国工程物理研究院重大基金资助项目(项目号:2005Z0805)
采用化学气相沉积法,在硬质合金拉丝模的工作区域制备金刚石涂层,利用扫描电镜、原子力显微镜、Ra-man光谱仪对涂层表面形貌、成分等进行分析,并将拉丝模应用于焊丝拉拔生产线中。结果表明:拉丝模涂层均匀、致密,抛光后的表面粗糙度可...
关键词：金刚石涂层 拉丝模 使用寿命 表面粗糙度 
类金刚石薄膜的反应离子刻蚀被引量：1
《真空科学与技术学报》2008年第6期570-574,共5页吴卫东 陆晓曼 张继成 朱永红 郭强 唐永建 孙卫国 
中国工程物理研究院重大基金项目资助(No.2005Z0805)
为了刻蚀出图形完整、侧壁陡直、失真度小、独立的类金刚石薄膜微器件,反应离子刻蚀是一种有效地刻蚀方法。研究了氧气与氩气的混合气体进行类金刚石薄膜刻蚀的主要工艺参数(刻蚀时间、有无掩膜、氩氧体积混合比、负偏压)。研究结果表明...
关键词：反应离子刻蚀 电子回旋共振微波反应等离子体 类金刚石薄膜 微齿轮 
螺旋波激发氢等离子体的电子温度及密度研究被引量：7
《真空科学与技术学报》2008年第4期308-312,共5页朱永红 吴卫东 唐永建 孙卫国 
中国工程物理研究院重大基金资助课题(No.2005Z0805)
采用射频调谐朗缪尔单探针方法对螺旋波激发的氢等离子体I-V特性曲线进行了测量。运用Druyvestey方法对氢等离子体的电子能量分布(EEDF)及电子密度ne的变化规律进行了研究,并与发射光谱诊断结果进行了比较。结果表明:ne随着射频功率的...
关键词：等离子体诊断 等离子体参数 射频调谐朗谬尔探针 螺旋波等离子体 
采用发射光谱和朗缪尔探针诊断低温低压氢等离子体被引量：4
《强激光与粒子束》2008年第4期601-606,共6页朱永红 吴卫东 陆晓曼 唐永建 孙卫国 
中国工程物理研究院重大基金资助课题(2005Z0805)
使用发射光谱诊断法和Langmuir探针诊断法,测量了螺旋波激发等离子体化学气相沉积装置中产生的氢等离子体的发射光谱和电流-电压曲线。运用日冕模型和Druyvestey方法,对不同放电参数条件下激发态氢原子密度?等离子体密度及电子能量分布...
关键词：等离子体诊断 螺旋波等离子体化学气相沉积 发射光谱 LANGMUIR探针 日冕模型 Druyvestey方法 
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