中国科学院科研项目(Y2005027)

作品数：5被引量：10H指数：2
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相关期刊：《半导体技术》《润滑与密封》《功能材料与器件学报》《计算机测量与控制》更多>>
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相变存储器单元阵列的自动化演示系统
《微计算机信息》2007年第20期4-5,37,共3页梁爽 宋志棠 刘波 封松林 
国家973计划项目(2006CB302706);中国科学院资助项目(Y2005027);上海市科委项目(04ZR14154;04JC14080;05JC14076;AM0414;0552nm043;AM0517;06QA14060;06XD14025)
计算机通过GPIB卡和串口分别控制脉冲信号发生器和单片机实现对C-RAM(Chalcogenide-Random Access Memory)存储阵列芯片的数据存储、数据读取和简单的数据运算的直观演示。本文重点介绍了其硬件构成、软件实现。
关键词：C-RAM GPIB 串口 
相变存储器测试系统中的脉冲信号的改善被引量：1
《计算机测量与控制》2007年第10期1281-1282,1294,共3页梁爽 宋志棠 刘波 陈小刚 封松林 
国家重点基础研究发展计划(2006CB302700);中国科学院资助项目(Y2005027);上海市科委资助项目(05JC14076;0552nm043;AM0517;06QA14060;06XD14025;0652nm003;06DZ22017)
相变存储器测试系统由于PCI控制卡中的总线信号之间的串扰,严重影响了施加在器件单元上的波形;以保证对C-RAM(Chalcogenide-Random Access Memory)进行非晶化操作时脉冲信号下降沿的速度和整个信号的完整性,针对以上问题分别从串口与单...
关键词：相变存储器 测试系统 串口 PCI控制卡 
锗纳米晶浮栅存储器的电荷存储特性
《功能材料与器件学报》2007年第2期145-149,共5页刘奇斌 宋志棠 吴良才 封松林 
中国科学院资助项目(No.Y2005027);上海市科委项目(No.0452nm012;04DZ05612;04ZR14154;04JC14080;05JC14076;AM0414;05nm05043;AM0517)资助.
Ge纳米晶嵌入高k介质中既可以提高器件的可靠性又可以降低写入电压和提高存储速度。本实验主要研究了用于非挥发存储器的含有Ge纳米晶MIS结构的电荷存储特性。MIS结构由电子束蒸发的方法制备,包括Al2O3控制栅,Al2O3中Ge纳米晶和Al2O3隧...
关键词：Ge纳米晶 高k介质 C-V曲线 
相变存储器器件单元测试系统被引量：7
《半导体技术》2006年第8期614-617,共4页梁爽 宋志棠 刘波 陈小刚 封松林 
中国科学院资助项目(Y2005027);上海市科委项目(0452nm012;04DZ05612;04ZR14154;04JC14080;05JC14076;AM0414;05nm05043;AM0517);美国SST公司资助
通过计算机控制脉冲信号发生器和数字信号源等硬件设备,实现对硫系化合物随机存储器(C-RAM)器件性能的测试。该系统主要有电流与电压关系测试、电压与电流关系测试、电阻与所加的脉冲信号关系的测试和疲劳特性测试等模块组成。通过这些...
关键词：硫系化合物随机存储器 远程控制 测试系统 相变 
ULSI化学机械抛光(CMP)材料去除机制模型被引量：2
《润滑与密封》2006年第5期170-173,共4页钟旻 张楷亮 宋志棠 封松林 
中国博士后基金(2005037522);中国科学院王宽诚博士后工作奖励基金资助项目(20040916094306);上海市博士后基金(05R214156);上海-应用材料科技合作共同计划(AM基金0414);上海市纳米专项(05nm05043);中国科学院资助项目(Y2005027);上海市科委项目(0452nm012;04DZ05612;04ZR14154;04JC14080;05JC14076;AM0517)资助
CMP已成为IC制造中的关键工艺之一,相关机制模型的研究是当前CMP的热点。综述了考虑抛光液的流动、抛光垫的弹性和硬度、研磨颗粒的大小和硬度等不同因素的机制模型,并对基于不同假设的模型作了分析和比较。最后对CMP模型未来的发展和...
关键词：化学机械抛光 平坦化 材料去除机制 模型 集成电路 
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