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国家自然科学基金(50175062): 作品数：19被引量：77H指数：5; 导出分析报告; 相关作者：程灏波冯之敬王英伟张云赵广木更多>>; 相关机构：清华大学长春理工大学北京理工大学苏州大学更多>>; 相关期刊：《Science Bulletin》《清华大学学报（自然科学版）》《光学精密工程》《哈尔滨工业大学学报》更多>>; 相关主题：非球面抛光磁流变抛光磁流变空间频率更多>>; 相关领域：机械工程金属学及工艺化学工程理学更多>>

零补偿干涉检测实现及误差量规律被引量：2: 《哈尔滨工业大学学报》2006年第8期1247-1250,共4页程灏波; 国家高技术研究发展计划资助项目(2001AA4211140);国家自然科学基金资助项目(50175062); 针对大口径离轴光学非球面反射镜的特殊工艺性,在合理设计零补偿器结构形式的基础上,综合考虑零补偿器各组件的误差参量做进一步优化.利用零补偿器实施非球面元件面形干涉检测过程中,着重分析调整误差对检验精度的影响,建立误差标定模型...; 关键词：非球面抛光干涉检测零补偿器优化

基于空间频率评价磁流变抛光非球面中频误差被引量：4: 《哈尔滨工业大学学报》2006年第6期917-919,1012,共4页程灏波; 国家高技术研究发展计划资助项目(2001AA421140);国家自然科学基金资助项目(50175062); 基于空间频率的概念,提出磁流变抛光非球面表面波像差的相移评价算法,根据位相与表面高度差之间的关系,计算出元件表面上各点的实际高度差.通过规划表面残余误差与抛光工艺参数之间的关系,确定能够有效消除表面残余误差的磁流变抛光工...; 关键词：相移干涉检测抛光非球面空间频率

具有公自转运动形式的可更新磁流变抛光工具被引量：2: 《清华大学学报（自然科学版）》2006年第2期184-186,共3页王飞冯之敬程灏波; 国家"八六三"高技术项目(2001AA421140);国家自然科学基金资助项目(50175062); 在光学自由曲面的成形抛光加工当中,加工去除的稳定性对工件加工质量具有重要的影响,而抛光液的更新是保证去除稳定的关键。该文提出了一种具有公自转运动形式的可更新磁流变抛光工具,能够完成磁流变抛光液内部磁链的重组更新,使得加工...; 关键词：光学加工磁链重组磁流变抛光稳定去除

波像差法构建非球面干涉检测的误差分离模型被引量：7: 《清华大学学报（自然科学版）》2006年第2期187-190,共4页程灏波冯之敬; 国家自然科学基金资助项目(50175062);国家博士后基金资助项目(2003034142); 非球面元件光学干涉检测中,获得客观、准确的面形信息是实现元件快速、确定性制造的关键因素之一。为了实现大口径光学离轴非球面反射镜的高精度检测,对其干涉检测结果中的误差信息表现形式进行了分析研究,提出了一种基于将离轴非球面...; 关键词：干涉检测非球面波像差刚体

利用有限Fourier系数算法求解光学制造中误差校正输入数据被引量：3: 《中国科学（E辑）》2006年第1期94-104,共11页程灏波孙国正冯之敬; 国家自然科学基金资助项目(批准号:50175062;60508001); 光学自由曲面是一类极难制造的异形曲面,采取计算机控制光学表面成型技术制造时,元件表面材料去除量由单位去除函数与输入参量(驻留时间)之间的卷积分决定.求解加工驻留时间,一般利用低通滤波器或迭代的方法借助于反卷积算法,但是结果...; 关键词：光学制造计算机控制光学表面成型自由曲面有限Fourier系数误差校正

精研磨阶段非球面面形接触式测量误差补偿技术被引量：10: 《机械工程学报》2005年第8期228-232,共5页程灏波; 国家自然科学基金资助项目(50175062)。; 在对高精度非球面光学元件进行磁流变抛光制造过程中,为了提高达到最终要求的15-30 nm(方均根值) 光学级面形精度的加工效率,必须经过非球面面形快速修正的精研磨过程。针对精研磨阶段的面形误差数字化技术进行了深入分析,建立了分离影...; 关键词：磁流变抛光非球面精研磨轮廓测量

永磁流变抛光纳米精度非球面技术研究被引量：3: 《光学技术》2005年第1期52-54,共3页程灏波王英伟冯之敬; 国家自然科学基金项目(50175062);国家博士后青年基金(2003034142); 利用永磁流变抛光技术制造高精度光学元件是一项极具前景的超精密制造技术。对一台五轴联动磁流变数控抛光系统的结构特点、功能特色及关键部件的设计进行了阐述。在此基础上,结合装置开展基础试验,对磁流变抛光过程中的主要控制参量如...; 关键词：磁流变抛光非球面抛光轮磁偶极子

Magnetic Bingham fluid-assisted deterministic polishing for super-smooth surfaces被引量：3: 《Chinese Science Bulletin》2005年第2期172-178,共7页CHENGHaobo FENGZhijing WANGYingwei LEIShuting; This work was supported by the National Natural Science Foundation of China(Grant No.50175062).; The characteristics of magnetorheological fin- ishing (MRF) technique such as the behavior of magnetic particles and the magnetic field distribution have been inves- tigated. Based on the established theoretical model...; 关键词：超平滑磁性流变学流体 MRF 磨光面拆换率宾汉流体

超光滑光学表面的磁性类Bingham流体确定性抛光被引量：3: 《科学通报》2005年第1期84-91,共8页程灏波冯之敬王英伟张云郭占社余景池; 国家自然科学基金(批准号:50175062)资助项目; 利用磁性抛光介质在梯度磁场作用下呈现出具有粘塑性的类Bingham流体的特点,实现了对具有超光滑表面精度要求(表面粗糙度一般低于0.5nm)的光学元件,特别是应用于接近衍射极限的短波段光学元件的确定性抛光.磁流体与被抛光工件间的相对...; 关键词：超精密光学元件超光滑光学表面磁流体非球面磁性抛光 Bingham流体

磁流变抛光光学非球面元件表面误差的评价被引量：5: 《清华大学学报（自然科学版）》2004年第11期1497-1500,共4页程灏波冯之敬王英伟; 国家自然科学基金资助项目(50175062);国家博士后基金资助项目(2003034142); 正确评价抛光后光学非球面元件表面面形的波前畸变是确保实现光学非球面元件超精密制造的关键。该文提出了结合功率谱密度法和残余误差法并考虑非球面元件表面中频误差的综合评价方法。将提出的综合评价标准应用到磁流变数控抛光过程中...; 关键词：干涉仪抛光非球面空间频率功率谱密度

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