真空微电子技术

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用气液固相互反应方法生长线状硅晶研究
《功能材料》1999年第1期31-32,共2页陆阳 施毅 刘建林 汪峰 顾书林 朱顺民 郑有 
以SiH4为生长气源，利用VLS（气相一液相一固相）互反应生长机制，在RT－CVD生长设备上通过向（111）硅衬底表面引入Au，生长出长达数个微米而直径小于1μm的垂直于衬底表面的线状晶体。对生长出的线状晶体作了扫描电镜观察，并分析讨...
关键词：VLS生长机制 金硅合金 线状硅晶 真空微电子技术 
真空微电子技术的研究与发展
《真空电子技术》1992年第5期8-13,共6页黄廷荣 
本文首先简论真空微电子技术的发展概况、其赖以发展的技术基础、特点、应用前景;嗣后,重点评述场致发射理论及发射极(阴极)制造技术的研究现状;真空微电子器件的制造技术现状;真空微电子技术的应用;最后给出了结论。
关键词：真空电子技术 微电子技术 研究 
真空微电子技术的新进展
《光电子技术》1992年第1期30-36,共7页张盛东 戴丽英 
本文详实介绍了真空微电子技术最近几年的发展动向并对其在若干领域的应用前景作了分析与讨论.
关键词：真空微电子 冷阴极 微型器件 
真空微电子技术
《半导体技术》1991年第1期57-59,共3页陈中洲 
本文简要介绍真空微电子管的优越性及近两年来的水平,建议我们今后应做的几项工作。
关键词：真空 微电子技术 微电子管 
真空微电子技术
《真空电子技术》1990年第1期29-32,共4页横尾邦義 
近年来,利用半导体技术,制造集成化的微米尺寸的微型真空管(亦称为真空IC)的愿望越来越强烈,与此趋势相呼应,1988年6月,在美国召开了第一届真空微电子学国际会议。本文即是以此次会议报告的内容为中心,介绍了真空微电子学的发展动向。
关键词：真空 微电子技术 真空IC 
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