等离子增强化学气相沉积

作品数：61被引量：196H指数：7
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相关作者：王如志张跃飞王海燕靳锐敏陈永生更多>>
相关机构：中国科学院北京工业大学西安交通大学郑州大学更多>>
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非晶硅薄膜连续激光晶化结构研究被引量：1
《微纳电子技术》2015年第8期500-504,525,共6页程龙 郝惠莲 刘健俣 马永品 丁伟 
2014大学生重点科研平台创新训练项目(cz1405012);2014国家级创新训练项目(cs1305009);上海工程技术大学博士启动基金资助项目(201308);上海高校青年教师培养资助计划项目(ZZGJD13023)
为了研究连续激光晶化的非晶硅薄膜的结构特性,采用等离子体增强化学气相沉积技术在玻璃衬底上沉积了非晶硅薄膜,用波长为532 nm的连续激光对非晶硅薄膜进行晶化,并采用喇曼光谱仪、傅里叶红外吸收光谱仪和原子力显微镜对激光晶化前后...
关键词：等离子增强化学气相沉积(PECVD) 非晶硅薄膜 喇曼光谱 激光晶化 晶化率 
PECVD法制备硅基ZnO薄膜光学性能的研究被引量：2
《材料工程》2007年第11期71-75,共5页王应民 杜楠 蔡莉 李禾 程国安 
江西省材料中心基金(ZX200401007);南昌航空大学博士科研启动基金(EA200601184);江西省教育厅科技项目(DB200501107)资助
使用薄膜分析系统研究在不同衬底温度下生长的硅基ZnO薄膜反射谱,了解衬底温度对薄膜的结晶状况影响。研究结果表明,随衬底温度的升高,晶粒之间融合长大,薄膜的折射率增大;在衬底温度450℃时生长的ZnO薄膜,薄膜的折射率最大为4.2,反射...
关键词：SI(111) ZNO薄膜 等离子增强化学气相沉积 反射光谱 
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