等离子增强化学气相沉积

作品数：61被引量：196H指数：7
导出分析报告
相关领域：电子电信理学更多>>
相关作者：王如志张跃飞王海燕靳锐敏陈永生更多>>
相关机构：中国科学院北京工业大学西安交通大学郑州大学更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院“百人计划”国家重点基础研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 期刊=南京大学学报（自然科学版）x
共 条 记 录，以下是1-2
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
快速热退火增强非晶SiC_xO_y薄膜蓝绿光发射特性研究被引量：2
《南京大学学报（自然科学版）》2017年第3期428-433,共6页林圳旭 宋捷 黄锐 王岩 王怀佩 郭艳青 宋超 
国家自然科学基金(61274140;61306003);广东省自然科学基金(2015A030313871);广东高校优秀青年创新人才培养计划(YQ2015112)
采用甚高频等离子增强化学气相沉积技术,以SiH_4,CH_4和O_2作为反应气源,在150℃下制备非晶碳氧化硅薄膜,并对薄膜进行不同条件下快速热退火处理,研究快速热退火处理对其结构和发光特性的影响.实验表明,原始沉积薄膜在可见光全波段展现...
关键词：碳氧化硅薄膜 等离子增强化学气相沉积 光致发光 快速热退火 
微晶硅薄膜的等离子增强化学气相沉积生长特征被引量：3
《南京大学学报（自然科学版）》2008年第4期392-400,共9页左则文 闾锦 管文田 濮林 施毅 郑有炓 
国家自然科学基金(90606021)
本文采用27.12 MHz等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术制备了氢化微晶硅薄膜材料,通过Raman散射谱、X射线衍射、扫描电子显微镜、原子力显微镜和傅立叶变换红外谱等表征方法研究了生长条件参数对薄膜结构及生长速率的影响,对薄膜的生长...
关键词：等离子体化学气相沉积 微结构 晶化率 孵化层 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部