双频激光

作品数：322被引量：886H指数：13
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相关机构：清华大学哈尔滨工业大学北京理工大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
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扫描干涉曝光系统中双频激光干涉测量误差建模与分析
《中国光学(中英文)》2025年第2期224-236,共13页王新宇 李文昊 王玮 刘兆武 姜珊 周文渊 巴音贺希格 
国家重点研发计划资助项目(No.2022YFB3606100);国家自然科学基金资助项目(No.U21A20509,52275554)。
扫描干涉场曝光技术(SBIL)是制作单体大面积高精度光栅的有效途径,采用双频激光干涉仪反馈工作台位置进行干涉条纹的精确拼接,会不可避免地引入光栅刻线误差,导致光栅衍射波前质量降低。针对工作台的位移测量误差,分析了激光干涉仪自身...
关键词：扫描干涉场曝光系统 衍射波前 工作台位移测量 双频激光干涉仪 误差分析 
CT引导下经皮肝穿刺胆道镜联合双频激光碎石取石治疗复发性肝内胆管结石对应激反应及肝功能的影响
《当代医药论丛》2024年第2期33-35,共3页詹惠忠 陈慧子 
目的:观察CT引导下经皮肝穿刺胆道镜联合双频激光碎石取石治疗复发性肝内胆管结石对应激反应及肝功能的影响。方法:研究对象共106例,均为在湖北科技学院附属浠水医院接受治疗的复发性肝内胆管结石患者,选取时间为2020年2月—2023年2月...
关键词：CT引导 经皮肝穿刺 胆道镜 双频激光碎石取石 复发性 肝内胆管结石 应激反应 肝功能 
基于Yb:CALGO晶体激光器的偏振复用
《中国光学（中英文）》2023年第6期1475-1481,共7页靳昊澍 刘辉 许思源 陆宝乐 白晋涛 
国家自然科学基金(No.62005215);陕西省自然科学基础研究计划(No.2019JCW-03);西安市科技计划(No.202005YK01)。
基于大增益带宽和高热导率晶体的偏振复用激光技术可以提高双频激光器和双光梳激光器在输出光谱范围和功率方面的性能。本文提出一种基于Yb:CALGO晶体的偏振复用激光器。将两片与光轴成45°角切割的双折射晶体放置在增益晶体的前后两侧...
关键词：偏振复用 Yb:CALGO晶体 双频激光器 双波长激光器 双梳激光器 
多自由度激光干涉空间惯性质量块位姿测量被引量：1
《光学精密工程》2023年第11期1593-1606,共14页马瑞 李楠 何建国 张建泉 黄旻 
中国科学院科研仪器设备研制项目(No.YJKYYQ20210028)。
鉴于通过测量高精度的位移数据可以获得高精度的微重力加速度数据,进而服务于多种空间科学载荷的研究任务,提出了一种基于三组正交对称角锥棱镜的双频光路,利用外差干涉测量技术实现空间惯性质量块的六自由度位移和角度测量的方法。通...
关键词：精密测量 外差干涉测量 双频激光干涉 微重力 惯性传感 六自由度 
纵向塞曼激光器的磁场分析与研究
《工具技术》2023年第2期137-140,共4页杜含笑 李华丰 
双频激光器频差大小直接影响双频激光干涉仪测量速度,而纵向磁场是制约纵向塞曼激光器频差的主要因素。通过理论分析双频激光器频差与纵向磁场强度之间的关系,得出磁场最优参数,并选用三种型号激光管进行实验验证。实验表明,磁场强度为0...
关键词：激光器 纵向磁场 双频激光器 塞曼效应 纵向塞曼双频激光器 
基于双频激光干涉相位检测的高精度波片测量被引量：2
《光学学报》2023年第1期102-108,共7页陈强华 关裕 周胜 丁锦红 吕洪波 孙启国 罗会甫 
国家自然科学基金(52075004,50475177,51575004);北京市教育委员会科学研究计划(KM202110009010);北京市自然科学基金(3212003);北方工业大学科研启动基金(110051360002)。
波片精度对偏振光学系统性能有着重要的影响,故需要对其相位延迟量和快轴方位角进行高精度测量。提出了一种新型基于双频激光干涉相位检测的高精度波片测量方法,采用双频激光外差干涉光路,利用一个可旋转半波片和一个角锥反射棱镜测量...
关键词：测量 波片测量 相位延迟量 快轴方位角 双频激光干涉 相位检测 
双折射双频激光器及干涉仪的关键和全链条技术被引量：2
《光学学报》2023年第1期181-190,共10页张书练 
国家自然科学基金面上项目(68978018,69778010,4992006,50127501);中德研究中心中德国际合作项目[GZ405(303/3)];国家科技重大专项(2009ZX02208-009)。
双频激光干涉仪功能强大,50年来保持良好的发展势头,应用面(特别是在先进制造业)越来越宽广。本文以解决关键技术为线,概述笔者及合作者经40年坚韧研究完成的“可伐-玻璃组装式单频He-Ne激光器→双折射双频激光器→双频激光干涉仪”的...
关键词：激光器 双频激光 干涉仪 研究历程 可伐-玻璃组装式结构 技术链条 激光雕刻 
激光外差干涉技术在光刻机中的应用被引量：8
《激光与光电子学进展》2022年第9期287-294,共8页张志平 杨晓峰 
超精密位移测量系统是光刻机不可或缺的关键分系统之一,而基于激光外差干涉技术的超精密位移测量系统同时具备亚纳米级分辨率、纳米级精度、米级量程和数米每秒的测量速度等优点,是目前唯一能满足光刻机要求的位移测量系统。目前应用于...
关键词：光刻机 外差干涉 双频激光干涉仪 平面光栅 
双频激光干涉仪的应用研究综述被引量：2
《电子测试》2022年第8期124-126,共3页于海娇 
吉林建筑科技学院2020年度校级科研项目“基于高精度非球面面形检测的对准方案研究(校科字[2020]008号)”研究成果。
本文对双频激光干涉仪在以上领域中的应用进行了分析研究。
关键词：双频激光干涉 精密测量 应用 
双频激光光源技术研究现状与进展
《工具技术》2022年第3期3-8,共6页杜含笑 李华丰 
双频激光的波长稳定性及频差大小直接影响激光干涉仪的测量精度及测量速度,因此高性能双频光源对激光干涉仪的测量至关重要。介绍了近20年双频激光技术的最新进展,比较了实现双频输出的不同方案,如塞曼分裂、双折射及声光调制等,简明阐...
关键词：双频激光器 塞曼效应 双折射激光器 双纵模激光器 
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