气体流量控制

作品数：20被引量：40H指数：3
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相关领域：自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>
相关作者：白朔周金玉徐红军陈立潘佰良更多>>
相关机构：星宇电子(宁波)有限公司中国科学院国家电网公司石家庄市供电公司更多>>
相关期刊：《液压气动与密封》《包装工程》《西安文理学院学报（自然科学版）》《杭州电子科技大学学报（自然科学版）》更多>>
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基于流量分比控制技术的多路配气系统的研究被引量：1
《菏泽学院学报》2023年第2期76-82,共7页韦杨杰 高先和 杨冰洁 朱小漫 刘凯 汪海 
安徽省高等学校省级质量工程项目(2021jxt);安徽省高等学校校级研究生协同育人基地建设项目(2021Yxt)。
针对国内芯片制造业中对标准气体的需求,在传统的单路配气系统上,研发了多路输入混合标准气体配置系统.运用热式气体毛细管温度衰减测量技术、气体质量流量分比和气体滞后性补偿等原理,构建了以主控制器、气体流量控制系统为一体的闭环...
关键词：气体流量控制 滞后补偿 数据融合处理算法 芯片制造 
一氧化氮流量控制系统仿真研究被引量：1
《北京生物医学工程》2023年第1期74-80,共7页黄科梁 刘广清 吴海啸 胡燕海 
国家自然科学基金(51705263);宁波市重大科技专项(2017C110030)资助。
目的针对模糊规则难以人为整定的难题,开发一种基于改进遗传算法整定模糊规则的模糊比例-积分-微分(proportional-integral-derivative,PID)算法,并应用于一氧化氮流量控制系统。方法首先采用机理法结合阶跃响应法的形式进行控制对象建...
关键词：NO吸入疗法 阶跃响应法 改进遗传算法 模糊PID算法 气体流量控制 
一种基于单片机的气体质量流量控制器设计被引量：1
《中国科技信息》2023年第1期110-114,共5页蒋子贤 
本文针对气体流量控制在工业生产和实验室实验中的控制方式传统、精度不高、易受外界干扰、人力成本要求高的问题,提出了通过单片机微处理器、高性能传感器和PID自动控制算法等方式来实现一种高精度、自动化的气体流量控制器。在气体流...
关键词：实验室实验 气体流量控制 单片机 人力成本 微处理器 气体质量流量控制器 控制精度 自动化 
气调包装机气体流量控制系统设计
《包装工程》2022年第3期252-256,共5页曹芳菊 梁舒 张爽 
目的为提高气调包装充气过程的稳定性、气体流量控制精度,基于内模滑模原理设计一种气体流量控制器。方法以盒式气调包装机为例,介绍其基本结构和包装流程。针对充气过程的非线性和滞后性,提出一种内模滑模控制系统。该控制系统包括:控...
关键词：气调包装 气体流量控制 内模滑模控制 响应滞后 
基于ASIPP NBI射频负氢离子源气体流量控制设计
《科学技术创新》2021年第15期3-4,共2页张进新 景艳阳 鲁祥友 
国家自然科学基金青年科学基金项目(51606002);安徽省高等学校省级自然科学研究项目(KJ2014A039)。
等离子体放电过程中的气压会影响其电子的密度和温度,这对于实现核聚变辅助加热实验装置中使用的射频负氢离子源的稳态运行至关重要。为了保持等离子体的均匀性和提高离子源的工作效率,需要将离子源的等离子体激发过程中的气压和离子束...
关键词：中性束注入 离子源 气体流量控制 质量流量控制器 真空 
一种高精度气体流量控制算法设计被引量：2
《电子测量技术》2021年第7期69-73,共5页岳彬 
国防基金项目(CX214J018)资助
目前所使用的质量流量控制器普遍存在响应的滞后性,从而导致质量流量控制器出现滞后控制,导致油气浓度检测报警系统检定校准装置因配制气体浓度不精确而校准失败。针对油气浓度检测报警系统检定校准装置因所控气体流量变化慢而导致配制...
关键词：油气浓度检测报警系统检定校准装置 质量流量控制器 响应迟滞 一阶加纯滞后模型 
基于一阶加纯滞后模型的高精度气体流量控制算法设计被引量：1
《自动化与仪表》2021年第3期24-27,共4页岳彬 汪潇雨 石晓康 
国防基金资助项目(CX214J018)。
为解决油气浓度检测报警系统检定校准装置使用时,因所控气体流量变化慢而导致配制气体浓度不精确的问题,该文设计了一种基于一阶加纯滞后模型的质量流量控制器的油气浓度检测报警系统检定校准装置,该装置可以精确地控制高浓度标准气体...
关键词：油气浓度检测报警系统检定校准装置 质量流量控制器 响应迟滞 一阶加纯滞后模型 
多通道溶解氧传感器校准自动控制系统被引量：3
《杭州电子科技大学学报（自然科学版）》2020年第1期47-51,73,共6页唐国栋 张军 蔡文郁 
国家自然科学基金资助项目(61871163);浙江省自然科学基金资助项目(LY18F030006).
为了对各种类型的海水溶解氧传感器进行数据校准,设计了一套针对多通道溶解氧传感器的自动化测试控制系统。系统采用模糊PID算法控制水体温度,操控气体质量流量仪改变水体溶解氧含量,并通过上位机记录传感器数据进行校准分析,实现了溶...
关键词：溶解氧传感器 校准装置 温度控制 气体流量控制 
基于增量式PID算法的气体流量控制方法被引量：6
《鱼雷技术》2016年第2期132-136,共5页高慧中 路骏 马小录 
国家自然科学基金(61403306);中国博士后科学基金特别资助(2015T81062);中国博士后科学基金(2014M552503)
气体流量控制回路因其动态特性复杂、响应速度受限等现象给控制器的设计带来了挑战。文中在分析鱼雷气体燃料动力系统动态流量控制特性的基础上,使用增量式比例-积分-微分(PID)算法来实现气体流量的动态控制,给出了控制系统动态特性的...
关键词：鱼雷动力系统 气体流量控制 增量式比例-积分-微分(PID)算法 自适应 
用于气体流量控制的压电陶瓷阀的温度特性
《真空与低温》2012年第4期228-231,共4页刘洪金 池华敬 郭帅 陈革 章其初 
采用PEV-1型压电陶瓷阀作为溅射气体Ar流量输出的驱动元件,用于真空磁控溅射镀膜中溅射气体恒压力控制。应用过程中发现压电陶瓷阀本身的迟滞特性和温度特性对气体输出流量有较大影响。试验分析得到压电陶瓷阀偏振电压变化过程中,气体...
关键词：压电陶瓷 迟滞特性 温度特性 有效工作电压 
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