章其初

作品数：14被引量：52H指数：4
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发文主题：反应溅射集热管闭环控制全玻璃真空集热管斯特林更多>>
发文领域：一般工业技术动力工程及工程热物理机械工程电气工程更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》《真空与低温》《真空》《太阳能》更多>>
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闭环控制靶电压直流磁控反应溅射沉积AlN薄膜
《太阳能学报》2013年第7期1136-1140,共5页池华敬 郭帅 熊凯 王双 陈革 章其初 
在原磁控溅射三靶镀膜机上安装了UPS03反应溅射闭环控制单元,替代原有的级差法控制流量计改变反应气体流量的方法,实现反应溅射AlN反馈控制。该控制单元由UPC03型控制器和PCV03型压电陶瓷阀组成。控制器实时采集直流电源的Al靶电压信号...
关键词：反应溅射 迟滞曲线 闭环控制 ALN薄膜 SS-AlN金属陶瓷太阳吸收涂层 
量热法SS-AlN太阳吸收涂层半球发射比测量装置
《太阳能学报》2013年第5期805-809,共5页周旭 郭帅 王双 池华敬 陈革 章其初 
采用稳态量热法,研制了一台真空集热管内管外表面SS-AlN太阳吸收涂层半球发射比测量装置。集热管内置三段式加热器,采用直流电源给加热器供电,测量在恒定温度时主加热器的加热功率,计算得到该温度下吸收涂层的半球发射比。多次测量同一...
关键词：全玻璃真空集热管 稳态量热法 SS-AlN吸收涂层 半球发射比 
压电陶瓷阀在真空磁控反应溅射中的特性被引量：3
《真空科学与技术学报》2013年第4期382-386,共5页刘洪金 郭帅 池华敬 焦存柱 周旭 王双 陈革 章其初 
在制备不锈钢-氮化铝(SS-AlN)金属陶瓷集热管的真空磁控溅射镀膜线上,采用PCV25型压电陶瓷阀作为反应气体氮气N2流量输出的驱动元件,实现反应溅射AlN反馈控制。研究了不同环境温度下压电阀偏置电压Vo对N2输出流量Q的影响。实验研究表明,...
关键词：压电陶瓷阀 真空磁控反应溅射 迟滞特性 温度特性 闭环控制参数 
用于气体流量控制的压电陶瓷阀的温度特性
《真空与低温》2012年第4期228-231,共4页刘洪金 池华敬 郭帅 陈革 章其初 
采用PEV-1型压电陶瓷阀作为溅射气体Ar流量输出的驱动元件,用于真空磁控溅射镀膜中溅射气体恒压力控制。应用过程中发现压电陶瓷阀本身的迟滞特性和温度特性对气体输出流量有较大影响。试验分析得到压电陶瓷阀偏振电压变化过程中,气体...
关键词：压电陶瓷 迟滞特性 温度特性 有效工作电压 
内聚光膜式全玻璃真空太阳集热管真空品质表征方法被引量：1
《真空》2012年第4期59-62,共4页刘建明 周旭 池华敬 陈革 章其初 
本文计算了内聚光膜式全玻璃真空太阳集热管在烘烤排气过程中的排气量,提出了一种定量表征其真空品质的方法,然后通过集热管高温烘烤———加速老化实验对其真空性能进行了验证,首次利用内聚光膜式集热管高温烘烤过程中铝膜温度随老化...
关键词：内聚光膜式集热管 真空品质 排气量 高温老化实验 铝膜温度 
直流反应溅射沉积Al_2O_3薄膜及其在SS-AlN金属陶瓷太阳吸收涂层的应用被引量：3
《真空科学与技术学报》2012年第5期385-389,共5页池华敬 郭帅 熊凯 王双 陈革 章其初 
在沉积不锈钢-氮化铝(SS-AlN)金属陶瓷太阳吸收集热管的磁控溅射三靶镀膜机上,安装了UPS03反应溅射闭环控制单元,实现反应溅射Al2O3稳定反馈控制。采用国产直流电源在Al靶表面处于过渡态下,成功制备了吸收几乎为零的Al2O3薄膜。溅射功率...
关键词：太阳吸收涂层 SS-AlN金属陶瓷 反应溅射 迟滞曲线 闭环控制 AL2O3薄膜 
太阳能斯特林发电机性能分析和发展趋势被引量：4
《太阳能》2011年第17期23-27,共5页刘建明 陈革 章其初 
综述了目前国际上主流的斯特林发电机的研制现状及发展动态,总结了制作斯特林发电机的关键技术,通过比较两类发电机的结构和性能,认为自由活塞式发电机是未来太阳能斯特林发电机领域的主流产品。
关键词：斯特林发电机 结构分析 动密封性能 发展趋势 
全玻璃真空集热管真空品质试验装置被引量：1
《真空》2011年第5期16-19,共4页周旭 郭帅 王双 苗建朋 陈革 章其初 
研制了一台全玻璃真空集热管真空品质试验装置，采用集热管内置加热器，恒温加热至350℃持续48h，测量集热管尾管处吸气剂镜面消失率。同时该装置还可测量集热管恒温加热功率随烘烤时间变化数据，即单位时间整支集热管的热量损耗随时间...
关键词：真空集热管 高温烘烤 真空品质 SS-AlN金属陶瓷 
采用真空磁控反应溅射和热水氧化法制备AlN_xO_y增透膜被引量：4
《真空科学与技术学报》2011年第5期652-655,共4页池华敬 熊凯 郭帅 许丽 王双 陈革 章其初 
在3.2mm厚的低铁玻璃衬底上采用金属Al靶在溅射气体Ar和反应气体N2的混合气体中,真空磁控反应溅射沉积半透明的Al-AlN金属陶瓷薄膜。再将沉积该薄膜的玻璃试样浸入沸腾的去离子水中,经一定时间氧化后,制备成表面粗糙的AlN和Al2O3的陶瓷...
关键词：增透膜 反应溅射 沸水氧化 薄膜 金属陶瓷 Al-AlN ALN AL2O3 AlNxOy 
采用PLC级差法闭环控制中频电源反应溅射沉积Al_2O_3薄膜被引量：6
《真空》2011年第2期10-14,共5页池华敬 王双 周旭 张寿彬 陈革 章其初 
本工作开发了一种靶电压反馈自动控制系统,称为可编程控制器(PLC)级差法反馈控制系统,用于旋转圆柱金属Al靶真空反应溅射沉积Al2O3陶瓷薄膜。根据反应溅射Al2O3工艺特性设计反馈控制的数学模型,再按照数学模型,采用梯形语言在PLC内进行...
关键词：PLC级差法 反应溅射反馈控制系统 反应溅射 迟滞曲线 AL2O3薄膜 
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