熊凯

作品数：3被引量：7H指数：2
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发文主题：反应溅射闭环控制ALNAL2O3XO更多>>
发文领域：动力工程及工程热物理一般工业技术更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》《太阳能学报》更多>>
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闭环控制靶电压直流磁控反应溅射沉积AlN薄膜
《太阳能学报》2013年第7期1136-1140,共5页池华敬 郭帅 熊凯 王双 陈革 章其初 
在原磁控溅射三靶镀膜机上安装了UPS03反应溅射闭环控制单元,替代原有的级差法控制流量计改变反应气体流量的方法,实现反应溅射AlN反馈控制。该控制单元由UPC03型控制器和PCV03型压电陶瓷阀组成。控制器实时采集直流电源的Al靶电压信号...
关键词：反应溅射 迟滞曲线 闭环控制 ALN薄膜 SS-AlN金属陶瓷太阳吸收涂层 
直流反应溅射沉积Al_2O_3薄膜及其在SS-AlN金属陶瓷太阳吸收涂层的应用被引量：3
《真空科学与技术学报》2012年第5期385-389,共5页池华敬 郭帅 熊凯 王双 陈革 章其初 
在沉积不锈钢-氮化铝(SS-AlN)金属陶瓷太阳吸收集热管的磁控溅射三靶镀膜机上,安装了UPS03反应溅射闭环控制单元,实现反应溅射Al2O3稳定反馈控制。采用国产直流电源在Al靶表面处于过渡态下,成功制备了吸收几乎为零的Al2O3薄膜。溅射功率...
关键词：太阳吸收涂层 SS-AlN金属陶瓷 反应溅射 迟滞曲线 闭环控制 AL2O3薄膜 
采用真空磁控反应溅射和热水氧化法制备AlN_xO_y增透膜被引量：4
《真空科学与技术学报》2011年第5期652-655,共4页池华敬 熊凯 郭帅 许丽 王双 陈革 章其初 
在3.2mm厚的低铁玻璃衬底上采用金属Al靶在溅射气体Ar和反应气体N2的混合气体中,真空磁控反应溅射沉积半透明的Al-AlN金属陶瓷薄膜。再将沉积该薄膜的玻璃试样浸入沸腾的去离子水中,经一定时间氧化后,制备成表面粗糙的AlN和Al2O3的陶瓷...
关键词：增透膜 反应溅射 沸水氧化 薄膜 金属陶瓷 Al-AlN ALN AL2O3 AlNxOy 
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