微波功率传感器

作品数：50被引量：46H指数：5
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MEMS微波功率传感器的悬臂梁弯曲模型研究
《微电子学》2023年第5期924-929,共6页王德波 孙浩宇 
国家自然科学青年基金资助项目(61904089);江苏省自然科学青年基金资助项目(BK20190731);中国博士后科学基金资助项目(2017M621692);南京邮电大学自然科学基金资助项目(NY218111)
为了研究电容式MEMS微波功率传感器悬臂梁的非线性运动,建立了MEMS悬臂梁在空间域上的弯曲特性模型,综合考虑静电力、轴向应力以及残余应力对悬臂梁非线性运动的影响,求解得到动力学微分方程。在此基础上研究在不同杨氏模量、驱动电压...
关键词：MEMS 微波功率传感器 悬臂梁 弯曲特性模型 
一种高灵敏度在线式MEMS微波功率传感器被引量：2
《微电子学》2023年第2期304-309,共6页金叶 王德波 
国家青年自然科学基金资助项目(61704086);中国博士后科学基金资助项目(2017M621692);江苏省博士后基金资助项目(1701131B);南京邮电大学国自基金孵化资助项目(NY215139,NY217039)。
为了改善在线式MEMS微波功率传感器的灵敏度特性,设计了一种新型双悬臂梁结构的MEMS微波功率传感器。该结构将测试电极和锚区设计在中心信号线的两侧。建立了双悬臂梁集总电路等效模型,研究了双悬臂梁结构的微波功率传感器的微波特性。...
关键词：微波功率传感器 电容式 双悬臂梁结构 灵敏度 MEMS 
热电式MEMS微波功率传感器的优化设计
《微电子学》2022年第6期1071-1075,共5页任青颖 于文婷 王德波 
国家自然科学青年基金资助项目(61704086);中国博士后科学基金资助项目(2017M621692);江苏省博士后基金资助项目(1701131B);南京邮电大学国自基金孵化资助项目(NY215139,NY217039)
为了提高热电式微波功率传感器的传热效率,改善传感器的性能,对热电式微波功率传感器的衬底结构进行了优化设计,得到了最优的衬底结构尺寸。首先研究衬底厚度对热电式微波功率传感器的影响,然后根据得到的最优衬底厚度,研究基底膜位置...
关键词：热电式 功率传感器 MEMS 基底膜 
微波功率传感器自动校准系统设计与实现被引量：4
《计量科学与技术》2022年第12期46-49,54,共5页张东云 宋政辉 潘晓 韩小余 
微波功率传感器是测量微波功率的主要仪器,为保证测量结果准确一致,需要定期进行校准,将微波功率量值溯源到国家标准。为实现微波功率传感器的自动校准,研究设计了基于传递标准法的微波功率传感器自动校准系统,阐述了系统硬件组成、软...
关键词：功率传感器 自动校准 数据比对 校准因子 
MEMS微波功率传感器模塑封工艺参数优化设计被引量：1
《塑料科技》2022年第9期105-108,共4页唐荣芳 余鹏 庞广富 
2022年广西高校中青年教师科研基础能力提升项目资助(2022KY1291)。
为改善微机电系统(MEMS)传感器在塑封过程中产生的金线偏移封装缺陷,对MEMS微波功率传感器模塑封工艺参数进行优化设计。通过正交试验,探究金线偏移与模塑封工艺参数之间的关系。结果表明:各工艺参数对金线偏移均具有显著影响,影响程度...
关键词：微机电系统 微波功率传感器 金线偏移 正交试验 
MEMS微波功率传感器的三维等效电路模型
《微电子学》2022年第4期663-667,共5页于文婷 唐姝婷 辛泽辉 王德波 
国家自然科学青年基金资助项目(61704086);中国博士后科学基金资助项目(2017M621692);江苏省博士后基金资助项目(1701131B);南京邮电大学国自基金孵化资助项目(NY215139,NY217039)。
为了得到热电式MEMS微波功率传感器的三维温度分布和时间常数,建立了传感器的三维等效电路模型。首先根据热-电参数的等效关系和传感器的结构建立等效电路模型。接着,对等效电路的单元模块进行理论分析。最后,根据建立的三维等效电路模...
关键词：MEMS 功率传感器 等效电路 温度分布 响应时间 
热电式MEMS微波功率传感器的封装研究
《微电子学》2022年第4期635-639,共5页唐蒙 于文婷 朱雨澄 孙丽露 华睿 王德波 
国家自然科学青年基金资助项目(61904089);江苏省自然科学青年基金资助项目(BK20190731);中国博士后科学基金资助项目(2017M621692);南京邮电大学自然科学基金资助项目(NY218111)。
为了研究热电式MEMS微波功率传感器封装后的性能,提出了一种COB技术的封装方案。首先,采用有限元仿真软件HFSS仿真封装前后的微波特性;然后,基于GaAs MMIC技术对热电式MEMS微波功率传感器进行制备,并对制备好的芯片进行封装。最后,对封...
关键词：热电式 微波功率传感器 封装 MEMS COB 
耦合式MEMS微波功率传感器的研究被引量：5
《仪器仪表学报》2022年第7期94-101,共8页靳雷生 辛泽辉 王德波 
国家青年自然科学基金(61704086)项目资助。
为了从根本上解决在线式微波功率传感器灵敏度、动态范围和微波性能之间的矛盾,本文创新性地设计出一种耦合在线式MEMS微波功率传感器,将微波功率的提取和检测两个过程相互独立。根据理论解析模型,得到了灵敏度特性与耦合度的关系,分析...
关键词：MEMS功率传感器 悬臂梁 灵敏度 动态范围 耦合度 
掺杂n^(+) GaAs的热电式MEMS微波功率传感器在Ka波段的研究
《传感技术学报》2022年第2期143-147,共5页洪阳 张志强 孙国琛 郑从兵 刘佳琦 
国家自然科学基金项目(61604039);至善青年学者支持计划项目(2242019R40030)。
本文主要通过理论设计和性能测试,研究了热电堆的半导体臂n^(+)GaAs的掺杂浓度对热电式MEMS微波功率传感器在Ka波段工作性能的影响。该类传感器基于微波功率-热-电转换原理工作,其中热电堆是由半导体臂n^(+)GaAs和金属臂Au构成。通过建...
关键词：MEMS 微波功率传感器 掺杂n^(+)GaAs 灵敏度 信噪比 
MEMS微波功率传感器的系统级建模被引量：4
《电子器件》2021年第6期1353-1359,共7页孙国琛 张志强 刘佳琦 郑从兵 
国家自然科学基金项目(61604039);至善青年学者支持计划项目(2242019R40030)。
提出了一种基于力-电和热-电原理的MEMS微波功率传感器,并依次对基于力-电转换原理的电容式MEMS微波功率传感器和基于热-电转换原理的热电式MEMS微波功率传感器进行建模。其一是通过采用挠度方程对力-电转换原理部分的固支梁建立力-电模...
关键词：MEMS 微波功率传感器 热-电 力-电 系统级建模 
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