微波功率传感器

作品数:50被引量:46H指数:5
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相关领域:自动化与计算机技术电子电信更多>>
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相关机构:东南大学南京邮电大学中国科学院电子学研究所南京高华科技股份有限公司更多>>
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MEMS微波功率传感器的悬臂梁弯曲模型研究
《微电子学》2023年第5期924-929,共6页王德波 孙浩宇 
国家自然科学青年基金资助项目(61904089);江苏省自然科学青年基金资助项目(BK20190731);中国博士后科学基金资助项目(2017M621692);南京邮电大学自然科学基金资助项目(NY218111)
为了研究电容式MEMS微波功率传感器悬臂梁的非线性运动,建立了MEMS悬臂梁在空间域上的弯曲特性模型,综合考虑静电力、轴向应力以及残余应力对悬臂梁非线性运动的影响,求解得到动力学微分方程。在此基础上研究在不同杨氏模量、驱动电压...
关键词:MEMS 微波功率传感器 悬臂梁 弯曲特性模型 
一种高灵敏度在线式MEMS微波功率传感器被引量:2
《微电子学》2023年第2期304-309,共6页金叶 王德波 
国家青年自然科学基金资助项目(61704086);中国博士后科学基金资助项目(2017M621692);江苏省博士后基金资助项目(1701131B);南京邮电大学国自基金孵化资助项目(NY215139,NY217039)。
为了改善在线式MEMS微波功率传感器的灵敏度特性,设计了一种新型双悬臂梁结构的MEMS微波功率传感器。该结构将测试电极和锚区设计在中心信号线的两侧。建立了双悬臂梁集总电路等效模型,研究了双悬臂梁结构的微波功率传感器的微波特性。...
关键词:微波功率传感器 电容式 双悬臂梁结构 灵敏度 MEMS 
热电式MEMS微波功率传感器的优化设计
《微电子学》2022年第6期1071-1075,共5页任青颖 于文婷 王德波 
国家自然科学青年基金资助项目(61704086);中国博士后科学基金资助项目(2017M621692);江苏省博士后基金资助项目(1701131B);南京邮电大学国自基金孵化资助项目(NY215139,NY217039)
为了提高热电式微波功率传感器的传热效率,改善传感器的性能,对热电式微波功率传感器的衬底结构进行了优化设计,得到了最优的衬底结构尺寸。首先研究衬底厚度对热电式微波功率传感器的影响,然后根据得到的最优衬底厚度,研究基底膜位置...
关键词:热电式 功率传感器 MEMS 基底膜 
微波功率传感器自动校准系统设计与实现被引量:4
《计量科学与技术》2022年第12期46-49,54,共5页张东云 宋政辉 潘晓 韩小余 
微波功率传感器是测量微波功率的主要仪器,为保证测量结果准确一致,需要定期进行校准,将微波功率量值溯源到国家标准。为实现微波功率传感器的自动校准,研究设计了基于传递标准法的微波功率传感器自动校准系统,阐述了系统硬件组成、软...
关键词:功率传感器 自动校准 数据比对 校准因子 
MEMS微波功率传感器模塑封工艺参数优化设计被引量:1
《塑料科技》2022年第9期105-108,共4页唐荣芳 余鹏 庞广富 
2022年广西高校中青年教师科研基础能力提升项目资助(2022KY1291)。
为改善微机电系统(MEMS)传感器在塑封过程中产生的金线偏移封装缺陷,对MEMS微波功率传感器模塑封工艺参数进行优化设计。通过正交试验,探究金线偏移与模塑封工艺参数之间的关系。结果表明:各工艺参数对金线偏移均具有显著影响,影响程度...
关键词:微机电系统 微波功率传感器 金线偏移 正交试验 
MEMS微波功率传感器的三维等效电路模型
《微电子学》2022年第4期663-667,共5页于文婷 唐姝婷 辛泽辉 王德波 
国家自然科学青年基金资助项目(61704086);中国博士后科学基金资助项目(2017M621692);江苏省博士后基金资助项目(1701131B);南京邮电大学国自基金孵化资助项目(NY215139,NY217039)。
为了得到热电式MEMS微波功率传感器的三维温度分布和时间常数,建立了传感器的三维等效电路模型。首先根据热-电参数的等效关系和传感器的结构建立等效电路模型。接着,对等效电路的单元模块进行理论分析。最后,根据建立的三维等效电路模...
关键词:MEMS 功率传感器 等效电路 温度分布 响应时间 
热电式MEMS微波功率传感器的封装研究
《微电子学》2022年第4期635-639,共5页唐蒙 于文婷 朱雨澄 孙丽露 华睿 王德波 
国家自然科学青年基金资助项目(61904089);江苏省自然科学青年基金资助项目(BK20190731);中国博士后科学基金资助项目(2017M621692);南京邮电大学自然科学基金资助项目(NY218111)。
为了研究热电式MEMS微波功率传感器封装后的性能,提出了一种COB技术的封装方案。首先,采用有限元仿真软件HFSS仿真封装前后的微波特性;然后,基于GaAs MMIC技术对热电式MEMS微波功率传感器进行制备,并对制备好的芯片进行封装。最后,对封...
关键词:热电式 微波功率传感器 封装 MEMS COB 
耦合式MEMS微波功率传感器的研究被引量:5
《仪器仪表学报》2022年第7期94-101,共8页靳雷生 辛泽辉 王德波 
国家青年自然科学基金(61704086)项目资助。
为了从根本上解决在线式微波功率传感器灵敏度、动态范围和微波性能之间的矛盾,本文创新性地设计出一种耦合在线式MEMS微波功率传感器,将微波功率的提取和检测两个过程相互独立。根据理论解析模型,得到了灵敏度特性与耦合度的关系,分析...
关键词:MEMS功率传感器 悬臂梁 灵敏度 动态范围 耦合度 
掺杂n^(+) GaAs的热电式MEMS微波功率传感器在Ka波段的研究
《传感技术学报》2022年第2期143-147,共5页洪阳 张志强 孙国琛 郑从兵 刘佳琦 
国家自然科学基金项目(61604039);至善青年学者支持计划项目(2242019R40030)。
本文主要通过理论设计和性能测试,研究了热电堆的半导体臂n^(+)GaAs的掺杂浓度对热电式MEMS微波功率传感器在Ka波段工作性能的影响。该类传感器基于微波功率-热-电转换原理工作,其中热电堆是由半导体臂n^(+)GaAs和金属臂Au构成。通过建...
关键词:MEMS 微波功率传感器 掺杂n^(+)GaAs 灵敏度 信噪比 
MEMS微波功率传感器的系统级建模被引量:4
《电子器件》2021年第6期1353-1359,共7页孙国琛 张志强 刘佳琦 郑从兵 
国家自然科学基金项目(61604039);至善青年学者支持计划项目(2242019R40030)。
提出了一种基于力-电和热-电原理的MEMS微波功率传感器,并依次对基于力-电转换原理的电容式MEMS微波功率传感器和基于热-电转换原理的热电式MEMS微波功率传感器进行建模。其一是通过采用挠度方程对力-电转换原理部分的固支梁建立力-电模...
关键词:MEMS 微波功率传感器 热-电 力-电 系统级建模 
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