微电铸

作品数：74被引量：212H指数：8
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相关机构：大连理工大学上海交通大学中国科学院合肥工业大学更多>>
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镍基阵列微针的薄胶微电铸制备工艺
《光学精密工程》2024年第16期2492-2503,共12页王华安 李晓建 尹鹏和 宋佳忻 张宇 梁军生 
国家自然科学基金(No.51675085);中央高校基本科研业务费项目(No.DUT22YG214)。
阵列镍微针具有机械强度高、导电性好等优点,广泛应用于生物工程等领域。微电铸工艺凭借其复制精度高、适应性广等优点,已成为制备镍微针的可靠方法。然而,在微电铸工艺中,通常需要使用与铸层厚度相同的光刻胶模具,导致厚胶微电铸时面...
关键词：阵列镍微针 硅模具 微电铸工艺 侧蚀量补偿 
微惯性开关制作过程中界面结合强度研究
《光学精密工程》2023年第10期1464-1474,共11页杜立群 孔德健 王帅 蔡小可 郭柄江 
国家重点研发计划资助项目(No.2022YFB4601602);国家自然科学基金资助项目(No.51975103)。
在利用微电铸工艺制作惯性开关的过程中,经常会出现由于界面结合强度低而引起的铸层翘起问题。微电铸层与基板的界面结合强度低会降低微开关的制作成品率、延长制作周期、增加制作成本。针对这一问题,本文从界面钝化膜的角度,采用了“...
关键词：微惯性开关 微电铸 界面结合强度 分子动力学 电解活化 
模板微电铸工艺制备金字塔形镍纳米尖被引量：1
《光学精密工程》2020年第7期1500-1509,共10页胡亚明 梁军生 杨金鹤 王大志 王立鼎 
国家自然科学基金资助项目(No.51675085);大连市科技创新基金资助项目(No.2019JRGX042)。
为了获得可靠的金属纳米尖的制作方法,设计了基于模板微电铸工艺制备金字塔型纳米Ni尖的工艺流程并进行了实验验证。利用(100)型单晶硅的各向异性腐蚀特性在40%的KOH溶液中腐蚀以制备倒金字塔型的硅模具,采用磁控溅射与正胶剥离工艺获...
关键词：纳米尖 硅模具 各向异性刻蚀 微电铸 种子层 
在金属基底上制作高深宽比金属微光栅的方法被引量：8
《光学精密工程》2015年第3期700-707,共8页杜立群 鲍其雷 赵明 王翱岸 
国家自然科学基金资助项目(No.51375077;No.51075057)
根据光学领域对高深宽比金属微器件的需求,利用UV-LIGA工艺在金属基底上制作了具有高深宽比的金属微光栅。采用分层曝光、一次显影的方法制作了微电铸用SU-8胶厚胶胶模,解决了高深宽比厚胶胶模制作困难的问题。由于电铸时间长易导致铸...
关键词：金属微光栅 高深宽比 UV-LIGA工艺 SU-8厚胶 微电铸 
微电铸中电流-流体耦合的数值分析及实验被引量：5
《光学精密工程》2009年第9期2184-2190,共7页邵力耕 杜立群 刘冲 王立鼎 
国家科技支撑计划资助项目(No.2006BAF04B13);国家自然科学基金资助项目(No.50675025)
研究了LIGA/UV-LIGA的核心技术微电铸的内在规律,对影响铸层生长的阴极电流密度和流体流场进行了数值分析。以微流控芯片微模具上的十字电铸层为研究对象,建立了微电铸的数学模型。给出了描述微电铸体系电流密度和流体流场的偏微分方程...
关键词：微电铸 阴极电流密度 流体 三维数值仿真 
后烘温度对SU-8光刻胶热溶胀性及内应力的影响被引量：8
《光学精密工程》2008年第3期500-504,共5页杜立群 朱神渺 喻立川 
国家科技支撑计划资助项目(No.2006BAF04B13);国家自然科学基金资助项目(No.50675025)
SU-8光刻胶层内应力会使胶体结构开裂变形,而其在电铸液中的热溶胀效应则是造成微电铸结构线宽减小的主要因素,SU-8胶的内应力和溶胀性还严重地影响所制作图形的深宽比和尺寸精确性。本文研究了不同后烘温度下SU-8胶在电铸液中的热溶胀...
关键词：SU-8光刻胶 微电铸 热溶胀性 内应力 
研究UV-LIGA微电铸电极过程的交流阻抗法被引量：2
《光学精密工程》2007年第7期1049-1055,共7页邵力耕 杜立群 王立鼎 
国家自然科学基金资助项目(No.50675025);教育部和大连市留学回国人员科研启动基金资助项目
在给定的电铸液组分和工艺路线下,运用交流阻抗法研究了微电铸镍结构的电极过程动力学特性。建立了微电铸体系的等效电路,根据实验获得的交流阻抗图和电阻电抗频率响应,分析了搅拌、整平剂对微电铸体系交流阻抗的影响,计算了电极过程的...
关键词：微电铸 交流阻抗法 整平剂 交换电流密度 
微电铸器件铸层均匀性的研究被引量：19
《光学精密工程》2007年第1期69-75,共7页杜立群 刘海军 秦江 朱神渺 
国家863MEMS重大专项(No.2004AA404260);国家自然科学基金(No.50675025);教育部和大连市留学回国人员科研启动基金资助
理论分析了负脉冲电流对铸层的修饰作用,采用正负间断脉冲电流和正间断负连续脉冲电流进行了相应的微电铸的实验研究。实验采用的微电铸器件是特征宽度为90μm的微流控芯片的金属模具。微电铸实验主要包括三个步骤:制作SU-8胶胶模,微电...
关键词：铸层均匀性 FICK第二定律 正负脉冲电流 
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