云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 微动台

微动台: 作品数：46被引量：156H指数：7; 导出分析报告; 相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>; 相关作者：谭久彬朱煜张鸣吴剑威刘杨更多>>; 相关机构：哈尔滨工业大学上海隐冠半导体技术有限公司清华大学广东工业大学更多>>; 相关期刊：《现代制造工程》《自动化技术与应用》《农业机械学报》《中国计量》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家科技重大专项国家高技术研究发展计划更多>>

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六自由度微动台热特性分析与散热设计被引量：3: 《组合机床与自动化加工技术》2011年第3期1-3,7,共4页李广张鸣朱煜段广洪 Masayoshi Tomizuka 李广 Masayoshi Tomizuka; 国家重点基础研究发展计划(973计划:2009CB724205);国家高技术研究发展计划(863计划:2009AA04Z148); 温升是引起微动台精度和环境变化的重要因素,从热特性分析着手进行微动台优化设计是提高微动台性能的一条重要途径。论文提出了一种新型纳米精度六自由度微动台结构,给出了微动台的发热热源、定子线圈等效导热系数和自然对流及强制水冷...; 关键词：微动台热分析散热设计光刻机

模糊PID控制在纳米微动台系统中的应用被引量：8: 《控制工程》2011年第2期254-257,共4页刘经宇尹文生朱煜; 国家973重大基础研究计划资助项目(2009CB724205);国家自然科学基金资助项目(50577037);中国博士后科学基金资助项目(20080440377); 针对在纳米级运动控制中,传统PID算法的参数配置在抑制系统运动超调、提高系统定位精度,以及保障系统稳定性等方面存在矛盾的问题,提出了将模糊自适应PID控制器应用于该系统的方案。并基于大量工程整定实验,给出了针对纳米量级控制特点...; 关键词：模糊自适应PID控制纳米级微动台

平面宏微驱动系统微动台的刚度计算被引量：2: 《中国机械工程》2011年第1期88-91,共4页刘定强黄玉美谢礼杨勇; 国家自然科学基金资助项目(50875209);国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2009CB724406); 针对宏微进给系统,利用弹性铰的微变形原理设计了宏微系统中的微动台。采用最小位能原理推导出一般弹性铰的二维刚度矩阵;并将此刚度矩阵应用于设计有弹性铰的微进给平台中,给出了所设计的微动台简化的计算模型。将简化模型计算结果与...; 关键词：弹性铰微动台刚度矩阵最小位能原理

六自由度磁浮微动台电磁场建模与计算被引量：4: 《清华大学学报（自然科学版）》2010年第12期1978-1982,共5页李广张鸣朱煜段广洪 Masayoshi Tomizuka; 国家“八六三”高技术项目(2009AA04Z148);国家“九七三”重点基础研究发展计划项目(2009CB724205); 为了提高光刻机工件台中微动台的运动精度和加速度,设计了一种将支承和驱动在同一电磁单元中实现的新型Lorentz电机驱动、磁悬浮支承、并联、6自由度微动台结构,应用解析方法建立了微动台磁场模型和特定结构约束下的磁场分布。对微动台...; 关键词：微动台电磁场计算温升光刻机

两类柔性微动直线导轨的刚度特性被引量：4: 《清华大学学报（自然科学版）》2006年第5期633-636,共4页曹家勇朱煜段广洪尹文生; 国家"九七三"重点基础研究项目(2003CB716204); 分析了两类柔性微动直线导轨的结构特点,提出一种以刚度比指标来综合衡量柔性微动直线导轨导向性能的方法。基于C astig liano(位移)第二定理推导了计算两类柔性微动直线导轨不同方向静刚度的解析表达式。对两类柔性微动直线导轨的设计...; 关键词：微动台柔性铰链静态刚度直线导轨

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