微光电子机械系统

作品数：17被引量：42H指数：4
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相关机构：吉林大学清华大学电子科技大学中国电子科技集团第十三研究所更多>>
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基于磁致旋光效应的双路MOEMS加速度传感方法
《微纳电子技术》2022年第12期1308-1313,共6页刘丽双 武亮伟 郭浩 唐军 石云波 林绍卓 刘郁松 
国家自然科学基金资助项目(62175219,51635011)。
基于磁致旋光效应的加速度传感机理,提出了一种双路加速度传感方法。通过设置双路磁光晶体,利用其中一路磁光晶体敏感加速度信号引起的磁致旋光效应,另一路磁光晶体敏感外界的磁、热噪声并作为参考信号,通过对双路信号的同步差分检测,...
关键词：微光电子机械系统(MOEMS) 磁致旋光效应 磁光晶体 加速度传感 双路差分 
MOEMS气体传感技术研究进展被引量：1
《半导体光电》2022年第6期1040-1048,共9页蔡炜铭 任青颖 江彦虎 魏鸿飞 彭俊越 常春耘 薛梅 
国家自然科学基金项目(61904089);江苏省自然科学基金项目(BK20190731);南京邮电大学教改项目(JG10621JX28)。
微光电子机械系统(MOEMS)气体传感技术是光学式气体传感器技术与MOEMS技术、新材料技术相结合的创新型技术方案。MOEMS气体传感器具有更低的价格、更高的集成度、更强的抗干扰能力,以及更高的测试精度。文章首先阐述了主要的光学气体传...
关键词：微光电子机械系统 气体传感器 光谱分析 
基于MOEMS敏感结构的非本征F-P干涉仪式光纤声压传感器被引量：6
《微纳电子技术》2021年第7期627-632,共6页解涛 杨志 王文军 吴宇 刘涛 
随着声学探测技术的不断进步,对声压传感器提出了高精度、小型化、抗电磁干扰能力强和易批量生产等要求。研制了基于微光电子机械系统(MOEMS)敏感结构的非本征Fabry-Perot(F-P)干涉仪式光纤声压传感器。利用圆片级集成技术实现MOEMS敏...
关键词：微光电子机械系统(MOEMS) Fabry-Perot(F-P)干涉仪 光纤传感 声压传感器 圆片级集成技术 
基于半导体纳米线的环形激光器被引量：1
《微纳电子技术》2021年第2期102-106,169,共6页李圣昆 赵跃进 
针对微光电子机械系统(MOMES)传感器件对微型片上光源的需求与当前半导体纳米线结构制备的进展,设计了一种基于Ⅱ-Ⅵ族半导体纳米线的激光器。将生长出来的纳米线在纯净水中超声制备均匀分布的悬浊液,再滴至载玻片表面,在显微镜50×物...
关键词：微光电子机械系统(MOMES) 半导体纳米线 谐振腔 微型激光器 光致发光 
EFPI式光纤声压传感器中敏感薄膜设计与分析
《现代信息科技》2021年第2期35-37,共3页解涛 杨志 王文军 吴宇 刘涛 
针对非本征F-P干涉仪式光纤声压传感器中的声压敏感薄膜性能提升,设计并制备了不同厚度和不同增敏环数的声压敏感薄膜结构。对不同声压敏感薄膜感知声压的性能进行测试。结果表明:声压敏感薄膜的厚度越薄,其声压灵敏度越大,对比400 nm...
关键词：微光电子机械系统 F-P干涉 光纤传感 声压传感器 增敏结构 
MOEMS 2D扫描镜的研究进展被引量：3
《传感器与微系统》2016年第6期1-3,8,共4页马天义 余跃 许敬 吴建东 
微光电子机械系统(MOEMS)扫描镜凭借其在成本、功耗和封装上的优势,在军民用多领域都有广泛的应用前景。在分析MOEMS扫描镜的分类方式的基础上,针对静电驱动中的微机械集成方式,展开框架式和无框架式两种MOEMS扫描镜的工作原理的探讨,...
关键词：微光电子机械系统 扫描镜 静电驱动 框架式 
微光电子机械系统技术及其应用被引量：3
《传感器与微系统》2011年第11期1-3,7,共4页李红光 
概述微光电子机械系统(MOEMS)技术发展历史,分析其现状。以美国陆军研究开发和工程指挥部的"战略研究规划"中的7个研究领域为例,分析MOEMS技术应用潜力和未来发展趋势。提出现在MOEMS工程遇到的技术挑战:MOEMS加工工艺,达到全反射的光...
关键词：微光电子机械系统 微电子机械系统 微系统 微结构 小型系统 
基于MOEMS的无阻塞阵列光开关
《光机电信息》2005年第8期15-15,共1页
关键词：光开关 MOEMS 阵列 阻塞 微光电子机械系统 上海交大 微纳米技术 光学实验室 研制成功 
基于MOEMS的无阻塞阵列光开关
《光机电信息》2005年第7期18-18,共1页
关键词：光开关 MOEMS 阵列 阻塞 微光电子机械系统 微纳米技术 光学实验室 研制成功 研究人员 上海交大 研究院 
上海光机所基于MOEMS无阻塞16×16阵列光开关研制成功
《传感器世界》2005年第6期38-38,共1页
“基于微光电子机械系统(MOEMS)无阻塞16×16阵列光开关”项目是中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室和上海交通大学微纳米技术研究院联合承担的国家“863”计划项目。
关键词：光开关 MOEMS 研制成功 上海光学精密机械研究所 阵列 阻塞 微光电子机械系统 上海交通大学 微纳米技术 光学实验室 中国科学院 计划项目 研究院 
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