微细群电极

作品数：3被引量：10H指数：2
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相关领域：金属学及工艺电子电信更多>>
相关作者：明平美曾永彬胡洋洋朱荻王明环更多>>
相关机构：河南理工大学南京航空航天大学浙江工业大学哈尔滨工业大学更多>>
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UV-LIGA制作微细群电极工艺研究被引量：1
《电加工与模具》2008年第1期29-31,35,共4页胡洋洋 朱荻 曾永彬 明平美 
微细电火花加工和微细电解加工是当前微细加工领域的研究热点,利用微细群电极进行微细加工可显著提高加工效率。研究了UV-LIGA制作微工具电极的技术。以金属为基底,采用UV-LIGA工艺来制作微细群电极,改进了前烘、后烘、显影等工艺参数,...
关键词：金属基底 UV—LIGA工艺 SU-8胶 高深宽比 微细群电极 
微细群电极的电火花超声复合反拷加工技术被引量：6
《上海交通大学学报》2007年第10期1565-1568,共4页曾伟梁 王振龙 董德生 
国家自然科学基金资助项目(50635040);国家高技术研究发展计划(863)项目(2006AA04Z323)
针对LIGA制作微细群电极工艺复杂、价格昂贵的缺点,提出微细群电极的电火花超声复合反拷加工技术.根据微细电火花放电的机理,利用微细群孔放电反拷来制作微细群电极.基于微细群电极反拷电加工时圆柱电极不能旋转的特点,在加工中复合了...
关键词：微细电火花加工 群电极 超声复合 反拷 
微细群电极的加工及其封装技术被引量：3
《电加工与模具》2007年第1期6-9,33,共5页曾伟梁 王振龙 
介绍了微细群电极的应用情况,分别给出了LIGA方法、电火花超声复合反拷加工法和电火花线切割加工法制作群电极的工作原理,并对这些工艺的特点进行了归纳,给出了具有代表性的加工实例,最后介绍了微细群电极的封装技术。
关键词：微细群电极 LIGA 电火花加工 封装 
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