微悬臂梁

作品数：261被引量：520H指数：10
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纳米孔阵列微悬臂梁设计与力学特性研究
《传感器与微系统》2025年第2期31-34,共4页孟青 赵静楠 郭志全 朱静雪 杨嫄 
微悬臂梁阵列生物传感器因其强大的适用性和快速响应特性,在无标记生物分子的检测工作中广泛应用。为提高传统微悬臂梁传感器的灵敏度,设计了具有纳米孔洞结构的微悬臂梁,并详细模拟了单个微悬臂梁的固有频率及其在集中载荷作用下自由...
关键词：微悬臂梁 灵敏度 纳米孔洞 力学性能 
基于氧化石墨烯的微悬臂梁湿度传感器被引量：3
《传感器与微系统》2021年第12期52-55,共4页薛长国 周宁鸿 王启明 冯贺 李建军 
国家自然科学基金资助项目(11872001,12172002);安徽省自然科学杰出青年科学基金资助项目(1808085J30);安徽省重点研究与开发计划项目(202004h07020026);安徽省留学回国人员创新项目。
利用铜环辅助涂覆法在微悬臂梁表面涂覆了氧化石墨烯(GO)作为湿度敏感层,研究了传感器在不同相对湿度(RH)下位移偏转变化。GO薄膜吸水膨胀和失水收缩引起微悬臂梁挠度变化,利用光杠杆检测原理将微悬臂梁自由端位移偏转量放大,得到传感...
关键词：微悬臂梁 氧化石墨烯 湿度传感器 辅助涂覆法 
应用于谐振式微悬臂梁接口电路的锁相环设计被引量：1
《传感器与微系统》2021年第9期87-89,共3页张博 赵宏亮 冯佳杰 刘兴辉 宦鼎来 赵野 
国家重点研发计划“新能源汽车专项”项目(2016YFB0100516)。
针对谐振式微机电系统(MEMS)微悬臂梁传感器对接口电路自动锁频的需求,设计一种输出幅度约为400mV正弦波锁相环(PLL)电路,与MEMS悬臂梁单片集成构成闭环自激/检测系统。PLL电路设计了一种改进的差分型环形压控振荡器结构,既实现电压控...
关键词：微机电系统(MEMS) 接口电路 电荷泵锁相环 压控振荡器 
微悬臂梁传感系统在乙醇挥发检测中的应用被引量：2
《传感器与微系统》2020年第8期158-160,共3页黄赛鹏 薛长国 梅永松 胡业林 
国家自然科学基金资助项目(11872001);安徽省自然科学杰出青年科学基金资助项目(1808085J30);安徽省留学回国人员创新项目。
针对乙醇挥发性不易检测的问题,建立了一种基于微悬臂梁传感器的乙醇自挥发检测系统,采用光杠杆检测方法研究了乙醇自挥发对微悬臂梁挠度的影响。光电位置敏感探测器接收响应信号,在LabVIEW上实现了数据的处理和可视化功能,对乙醇体积...
关键词：乙醇检测 光杠杆 微悬臂梁 
基于微悬臂梁传感器的微弱风力检测系统设计被引量：1
《传感器与微系统》2018年第7期73-74,77,共3页张飞 薛长国 唐毓 张涛 胡业林 
国家自然科学基金资助项目(11472006);安徽省杰出青年科学基金资助项目(1808085J30)
针对现有技术对微弱风力检测困难的问题,搭建基于微悬臂梁传感技术的微弱风力检测系统并实现微弱风力检测。传感器平台使用光纤耦合激光器作为光源,对微悬臂梁自由端进行照射。由微弱风力导致的微梁自由端的微小位移经过光杠杆原理放大...
关键词：微悬臂梁 风力 光杠杆 LABVIEW 
应力型微悬臂梁生化传感器响应机理研究进展被引量：3
《传感器与微系统》2014年第6期5-8,12,共5页杨天天 
江苏省自然科学基金重点资助项目(BK2011003);江南大学自主科研项目(JUSRP11228)
针对静态微悬臂梁表面特异性结合产生表面应力信号的响应机制问题,介绍了微悬臂梁生化传感器的工作原理,阐述了应力响应机制的简化模型,从纵向界面上和横向分子间2个方面对特异性吸附引起的悬臂梁表面应力的变化进行了剖析,讨论了界面...
关键词：微悬臂梁 生化传感器 表面应力 响应机制 
一种压阻式微悬臂梁免疫传感器及其动力学分析被引量：4
《传感器与微系统》2014年第3期8-11,共4页刘志伟 童朝阳 穆晞惠 刘冰 郝兰群 张金平 
针对传统光学读出微悬臂梁传感器所需测量系统复杂的局限,将生物素—亲和素系统的放大效应与压阻式微悬臂梁传感技术结合起来,成功构建了一种读出方式简单的压阻式微悬臂梁免疫传感器。利用构建的传感器对相思子毒素进行检测,检测限达8...
关键词：压阻式微悬臂梁 免疫传感器 相思子毒素 检测 动力学分析 
聚合物双层微悬臂梁的温度敏感特性研究被引量：1
《传感器与微系统》2013年第8期60-62,共3页白英良 雷飞 奥顿 韩立 
利用微塑模技术和镀膜技术制作了一种双层聚合物悬臂梁,基于聚合物和金2种材料膨胀系数的差异,不同温度下梁的挠度不同,其形变可通过光杠杆放大由位置敏感探测器(PSD)进行检测。理论计算和实验结果表明:在聚合物悬臂梁处于玻璃态下,输...
关键词：微模 聚合物微悬臂梁 温度 线性关系 
高灵敏度SCR微悬臂梁设计仿真被引量：1
《传感器与微系统》2013年第1期95-98,101,共5页李其昌 王广龙 高凤岐 卢江雷 张姗姗 王磊 
利用有限元仿真分析方法,模拟不同特征应力集中区域(SCR)对微悬臂梁测量性能的影响,得出微悬臂梁结构引入不同形式特征SCR后所产生的测量性能的变化规律,分析灵敏度与测量带宽及测量范围的取舍原则。对基于微悬臂梁的高灵敏度微传感器...
关键词：微悬臂梁 高灵敏度 应力集中区域 有限元仿真 
用于扫描刻蚀加工的微悬臂梁优化设计被引量：1
《传感器与微系统》2012年第10期109-112,共4页王海 童云华 夏小品 周荣荻 
国家自然科学基金资助项目(50605061;51175001);安徽高校省级自然科学研究基金资助项目(KJ2012A033);安徽省自然科学基金资助项目(11040606M144)
扫描刻蚀加工是一种基于并行探针驱动、集成微小等离子体刻蚀原理的新型微纳米加工手段。特种悬臂梁是扫描刻蚀加工系统中的核心器件,其性能直接影响到系统的可靠性。该特种悬臂梁为集成压电陶瓷驱动薄膜的多层复合梁,在加工工艺过程中...
关键词：多层悬臂梁 残余应力 有限元法 优化设计 
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